《生产设备定期检修规范2010》由会员分享，可在线阅读，更多相关《生产设备定期检修规范2010（23页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、前处理车间 生产设备定期检修规范 一、真空镀膜机 1、检修项目：初抽阀、前级阀 检修方法：在真空设备停机时，将阀体总成取下。1.1、观察其阀板密封圈是否有脱落或损坏，发现脱落将其复位，若有损坏，立即更换；1.2、将气缸上端盖取下，观察活塞和缸体两端密封圈是否有损坏，若有损坏，立即更换；1.3、气缸与法兰连接处密封件是否有损坏，若有损坏，立即更换。1.4、将活塞外缘和缸体内壁涂少许扩散泵油，装复气缸和阀体。1.5将阀体内壁及阀板密封装配时用酒精擦拭干净，保持清洁。 检修周期：六个月 2、检修项目：高阀 检修方法：在真空设备停机时，将阀板提起。2.1、观察阀板密封圈是否有脱落或损坏，发现脱落将其复
2、位，若有损坏，立即更换；2.2、将气缸上端盖取下，观察活塞和缸体两端密封圈是否有损坏，若有损坏，立即更换；2.3、气缸与法兰连接处密封件是否有损坏，若有损坏，立即更换。2.4、将活塞外缘和缸体内壁涂少许扩散泵油，装复气缸。2.5将阀体内壁及阀板密封装配时用酒精擦拭干净，保持清洁。 检修周期：六个月3、检修项目：真空室和抽空管路 检修方法：在真空镀膜机完全停机后，切断水源、电源、气源，3.1将真空室内表面和过渡件等用高负压烟净化器进行彻底抛光清理，能够明显的观察到金属光泽，然后用酒精再擦拭干净、晾干。3.2将大门板上的传动装置进行拆解，用柴（煤）油将轴承清洗干净，吹干后，对轴承进行检查，若因磨损
3、松旷或有拉伤、缺口、裂纹等现象，应立即更换；观察骨架密封圈是唇口是否有损坏、缺口，若有损坏，立即更换。3.3把所有抽空管路进行拆解，用汽油或稀料将管路内部油污、结晶体清理清洁，然后用酒精擦拭干净，待完全晾干或吹干后，仔细检查连接处的密封圈是否有损坏，确认可以使用后再进行组装，组装时在密封圈表面涂摸均匀的真空密封脂。3.4待完全检查后，将所有零部件装置组装连接，将真空度抽至1.52.010-2Pa以上时，用针管+液体注射器汲取95%的乙醇，往真空室和抽空管路的各法兰连接处、密封点及大小门板等，进行挤出检漏，若复合真空计显示数值有明显变化时，说明有漏气点，应立即仔细查找找出漏气点进行修补；3.5检
4、漏完毕，停止所有真空泵工作，进行真空保压试验，要求漏气率2Pa/小时。 检修周期：一年4、检修项目：供气管路及气动元件检修方法：在真空镀膜机正常生产时，对供气管路和气动元件（电磁换向阀、油水分离器、气用快速接头等）进行检查，发现有漏气、串气现象，停机进行修复或更换；将真空镀膜机停机后，对气动元件进行拆卸、清洗，通过手动检查发现损坏或启闭不灵活的进行修复或更换。检修周期：六个月5、检修项目：滑阀真空泵 检修方法：根据泵的结构图，按下述步骤进行。5.1、在滑阀真空泵停车后，将油箱内的真空油放出，然后拆除防护罩和两侧的皮带轮、平衡轮。5.2、拆除两端轴承盖，取下密封圈，观察密封件有无出现老化、破损、
5、变形等，若有应立即更换。5.3、用柴（煤）油将轴承清洗干净，吹干后，对轴承进行检查，若因磨损松旷或有拉伤、缺口、裂纹等现象，应立即更换。5.4、将上油箱从泵体取下，清理泵内腔和滑阀及滑阀导轨体组件，仔细观察滑阀及滑阀导轨体组件和偏心轮表面有是否划痕、拉伤、压坑等现象，比较轻微的，要用细油石进行打磨修复；若比较严重，影响到机械性能时，要立即更换。5.5、拆除排气阀阀盖，取出阀体，用柴油清洗干净并吹干，观察排气阀压缩弹簧是否有断裂、疲劳等现象，若有应立即更换；5.6、将各零部件表面擦拭干净，按拆卸相反的次序进行装配，装配后按试车程序进行试车，要求泵运转平稳、无噪声，各方面性能达到规范要求。(清理、
6、疏通水路和油路) 检修周期：三个月6、检修项目：罗茨真空泵 检修方法：根据泵的结构图，按下述步骤进行。6.1、在罗茨真空泵停车后，拆除电动机和联轴器，松开螺钉取下左右端盖。6.2、仔细观察传动齿轮啮合面有无磨损，齿部有无崩齿、缺口等现象，若有应立即更换。6.3、对轴承进行检查，若因磨损松旷或有拉伤、缺口、裂纹等现象，应立即更换。6.4、检查罗茨泵轴套和密封件，若轴套表面磨损严重，应立即修复或更换；若密封件出现老化、破损、变形等，应立即更换。6.5、将旁通阀从泵体上取下，观察阀板密封圈是否有脱落或损坏，发现脱落将其复位，若有损坏，立即更换；将气缸上端盖取下，观察活塞和缸体两端密封圈是否有损坏，若
7、有损坏，立即更换；旁通阀与泵体连接处密封件是否有损坏，若有损坏，立即更换。6.6、通过旁通阀口将转子表面擦拭、清洗干净，仔细观察和触摸8字轮表面是否有压坑、划痕、拉伤等现象，比较轻微的，要用浸泡后的细油石进行打磨修复，若影响到机械性能时，应立即更换。6.7、将各零部件表面擦拭干净，按拆卸相反的次序进行装配，装配后按试车程序进行试车，要求泵运转平稳、无噪声，各方面性能达到规范要求。(清理、疏通水路和油路) 检修周期：六个月 7、检修项目：高真空油扩散泵 检修方法：在真空设备停机后，油锅里的扩散泵油完全冷却至常温后，提起高阀，将扩散泵油放净后把扩散泵和冷井整体移至宽敞位置，7.1、把泵体内的扩散塔
8、逐层取出来，用酒精将内壁和底部油渍清理擦拭干净、吹干。7.2、用角磨机将扩散塔表面积碳积灰彻底抛光清理，然后用酒精把泵体表面擦拭干净。7.3待完全晾干后，按拆卸相反的次序进行装配，要求泵芯是否与泵体底面垂直，若不垂直，进行调整、修复。7.4、打开扩散泵进出水阀门，用压缩空气和水检查循环水路是否畅通，若有堵塞或水流不畅，应立即清理或修复。7.5用静水压力试验对冷井铜管检漏，若有漏点立即进行修复，并将表面用酒精擦拭干净。装配完成后开机进行试验，抽空能力达到设计要求。(清理、疏通水路和油路) 检修周期：一年8、检修项目：电器系统检修方法：在真空镀膜机完全停机后，切断控制柜电源，然后对电器控制柜内部元
9、件和所有电源、线路进行检修，压线紧固可靠良好，再用吸尘器或吹干风机清理清洁，保持控制柜内干净卫生，内部排线规范，线码标识清晰、明确，电器元件无损坏，外部电源线保护层无破损、漏电等，若电源线出现破损或控制柜内异常，进行检查和及时更换。检修周期：三个月9、检修项目：直流供电系统（溅射电源）检修方法：在真空镀膜机完全停机后，切断直流控制柜电源，9.1、对控制柜内部元件和所有电源、线路进行检修，用吸尘器或吹干风机清理清洁，保持控制柜内干净卫生，内部排线规范，线码标识清晰、明确，电器元件无损坏，外部电源线保护层无破损、漏电等，若电源线出现破损或控制柜内异常，进行检查和及时更换。9.2、将直流电源变压器上
10、盖和两侧打开，用吸尘器或吹干风机清理清洁，保持控制柜内干净卫生、干燥。检修周期：三个月二、供气系统1、检修项目：空气压缩机（活塞式） 检修方法：在空气压缩机完全停机时，1.1、将空压机防护罩进行拆除，检查三角带是否出现断裂或拉长，若有应立即进行调整或更换。1.2、将活塞环和气缸拆除，仔细观察是否有磨损，若活塞环径向厚度磨损1/4时应立即更换；若气缸内腔表面出现明显拉伤、划痕和磨损严重，应立即修复或更换。1.3、将放油嘴打开，放少许润滑油，检查润滑油是否变质，若有应立即清洗曲轴箱，并更换润滑油。1.4、将进气消音器从机体上拆除，检查滤芯有无沾污和阻塞，若有应立即使用毛刷等工具进行清理或更换。 检
11、修周期：三个月2、检修项目：冷冻式干燥机检修方法：在冷冻式干燥机工作时进行检查，2.1、用肥皂水检查连接管路密封性能是否良好，有无泄漏，若有应立即检查修复。2.2、检查冷却器外表面及风扇罩、扇叶处是否有灰尘，若有应立即清理，周期三个月。2.3、将冷媒剂储罐与压缩机接头连接，读取冷媒压力，若压力过低，应立即补充，若压力过高，则应及时释压。2.4、在冷干停机时，对电子式排水阀进行拆卸，若内部有污物、堵塞等，应立即清理或更换。检修周期：参照说明书3、检修项目：空气压缩机（螺杆式）检修方法：将空气压缩机关停，必须待空压机系统内的压力都已完全释放，并与其它压力源已隔开，主电路上的电源开关已经断开，且已做
12、好不准合闸的安全标识后，进行检修，3.1、将冷却器从空压机上拆除，检查冷却器外表面及风扇罩、扇叶处是否有变形和灰尘，若有应立即检查和清除。3.2、将空气过滤器滤芯和油过滤器滤芯从过滤器上拆除，检查滤芯有无沾污和阻塞，若有应立即使用毛刷等工具进行清理或更换。3.3、将空压机专用油从放油嘴处放少许，经油样分析或已确知被污染，应立即进行更换。检修周期：参照说明书三、冷却系统1、检修项目：冷却塔 检修方法：在冷却塔完全停机后，1.1、检查扇叶有无发生变形，表面有无污迹，若有应立即清除或修复。1.2、将轴承座从冷却塔上拆除，取出轴承和密封件，对轴承进行检查，若因磨损松旷或有拉伤、缺口、裂等现象，应立即更
13、换；对减速机油位油质检查，若油位偏低进行补加，油质老化则进行更换；对密封件进行检查，观察密封件有无出现老化、破损、变形等，若有应立即更换。1.3、检查传动轴有无磨损，若磨损严重，应立即修复或更换。1.4、将零部件清洗干净，吹干后，轴承涂抹适量油脂，然后按顺序进行装配，完毕进行试车，各方面性能达到规范要求。 检修周期：一年四、预抽真空装置1、检修项目：滑阀真空泵检修方法：同真空镀膜机滑阀真空泵。检修周期：三个月2、检修项目：供气管路和气动元件检修方法：同真空镀膜机的供气管路和气动元件。检修计划：一年3、检修项目：电器系统检修方法：同真空镀膜机电器系统。检修周期：三个月注明：定期检修规范是依据各个
14、设备日常维修记录和数据，总结和统计运转周期状况而定，由目前的事后故障维修逐步过渡到预知维修，减少和杜绝维修次数，提高设备运转完好率。实施要求：检修前，结合生产车间先对真空镀膜机要检修的项目状态确认，如属完好，则以清理清洁和保养稳固为主，如有异常，则按照检修规范进行逐项检查修复，保证完好。电沉积车间 生产设备定期检修规范 一、立镀生产线 1、检修项目：初级屏蔽水平度 检修方法：在进行周期性换液时，将镀液打出镀液槽，用光学水平仪（精度0.02）置于初级屏蔽上面，检测其水平度，若水平仪显示数值0.1/1000时，进行调整水平，恢复至要求范围内。 检修周期：一个月 2、检修项目：导电棒水平度 检修方法
15、：在进行周期性换液时，将光学水平仪（精度0.02）置于导电棒轴向上面，检测其水平度，若水平仪显示数值0.2/1000时，进行调整水平，恢复至要求范围内；分别对各级导电棒检修（水平度包括横向和纵向）。 检修周期：一个月 3、检修项目：导电棒弯曲度 检修方法：在进行周期性换液时，将导电棒匀速、平稳转动，采用导电棒测量装置（精度0.01百分表）分别对导电棒左、中、右三个点进行检测，若百分表跳动示值0.05时，对导电棒进行更换、修复；分别各级主、从导电棒检修。 检修周期：一个月 4、检修项目：导电棒间距 检修方法：在进行周期性换液时，用普通钢尺（精度1mm）测量导电棒中心距尺寸，若导电棒间距1时，对导电棒座进行调整、修复。 检修周期：一个月 5、检修项目：对角线长度 检修方法：在进行周期性换液时，用普通钢尺（精度1mm）测量导电棒对角线尺寸，若导电棒对角线长度2时，对导电棒座进行调整、修复
