传感器及其信号调理技术 教学课件 ppt 作者 徐湘元 第6章(2)

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1、磁敏电阻的基本特性,(1)B-R 特性 该特性一般由无磁场时的电阻 和磁感强度为B时的电阻 来描述。通常情况是: 随元件形状不同而异,约为几十欧姆至几千欧姆,而 随 B 的变化而不同。图6-19 (a) 和6-19 (b) 分别为锑化铟(InSb)磁敏电阻和锑化铟-锑化镍(InSb-NiSb)磁敏电阻元件的 B-R 特性曲线。,(2) 灵敏度 磁敏电阻的灵敏度可用下式表述,(a) InSb的B-R特性曲线,(b) InSb-NiSb的B-R特性曲线,图6-19 磁阻元件的B-R特性图,其中, 为磁感应强度为0.3T时的 值, 为无磁场时的电阻。一般有:,(3)电阻温度特性 半导体磁阻元件的温度

2、特性不好,所以应用时一般需设计温度补偿电路。强磁磁阻元件常用恒压方式,以获得较好的温度性能。,6.2.2 磁敏电阻的应用,1 磁敏电阻元件,制作磁敏电阻时,通常是在一块衬底上做两个相互串联的磁敏电阻,或者四个磁敏电阻组成电桥形式,其线路如图6-20所示。磁敏电阻的阻值通常在几百欧姆至几千欧姆之间,工作电压不超过12V,频率可达MHZ,动态范围宽,信噪比高。,图6-20 磁敏电阻线路结构,下面几种磁敏电阻产品来自日本,并被广泛采用。 MR214A/223A:用强磁性金属薄膜组成,工作在磁性饱和区,常用于检测角位移和线位移。 DM106B:在硅基板上附加强磁体,在8000A/m磁场强度下工作,多用

3、于旋转磁场,,输出电压可达80mV。, FPC/FPA系列:内置有放大器、整形电路等,具有信噪比高、频率特性好等优点,常用来检测位置(含接近开关)和转速等。 M413A/414A:4个磁敏电阻接成电桥形式,可测旋转方向、角度等量。 BS系列(图像识别):可用来识别纸币及磁性墨水印刷品,也可用于磁性物体的位置及角度的测量。,2. 应用,图6-21磁敏电阻位移测量,磁敏电阻的应用主要利用它随磁场的变化,其磁阻也发生变化的特点来进行,其阻值范围一般在几百欧至几千欧之间变动。它可制成无触点开关、压力开关、位移传感器、安培计、交流放大器和振荡器等。下面看一个基于磁阻效应的位移测量例子。 磁阻效应位移测量

4、:如图 6-21 有两块磁阻元件 和 置于磁场中,它们相对磁场产生位,移,于是磁阻元件的阻值发生变化,假如 变小, 变大,由于它们连接在电桥中,于是导致电桥的输出电压与电阻的变化成比例。,6.3 磁敏半导体传感器,6.3.1 磁敏二极管及其应用,1结构与工作原理,磁敏二极管(magneto crystal diode)由锗或硅半导体材料制成,其结构和符号如图6-22 (a) 所示。在高阻半导体芯片(本征型 I)两端,分别制作P、N两极,且使P和N极均为重掺杂区,两区的长度大大小于本征区 I,从而使整个半导体材料形成 P-I-N 结构。与此同时,对 I 区的两侧进行不同处理:前侧打毛,粗糙的表面

5、易于电子和空穴复合,称此面为 r 面(recombination surface),另一侧磨光为光滑面。于是,构成了磁敏二极管。,r 面(复合区),(a)结构与符号,(b)无磁场时的情况,(c)磁场从外向内的情况 (d)磁场从内向外的情况,图6-22 磁敏二极管结构与工作示意图,在磁敏二极管外加正偏压,即P区接正极,N 区接负极,于是大量空穴从 P 区进入I区,同时大量的电子从N区注入 I 区,假如此时未加磁场,则情况如图6-22 (b) 所示;若加入磁场,方向为从外向里,则注入的空穴和电子均受到洛伦兹力作用,而偏向r面,并进行复合而消失,因而电流较小,如图6-22 ( c ) 所示;当磁场方

6、向由里向外时,大量的空穴和电子转向光滑面,因复合率变小而使电流变大,如图6-22 (d) 所示。由此可见,r 面和光滑面的复合率相差越大,磁敏二极管灵敏度越高。,2磁敏二极管的主要特性, 伏安特性:硅磁敏二极管的伏安特性如图6-23所示,当保持电压恒定条件下,随着外加磁场由负转正,电流逐渐变小,并且曲线形状由弯曲向直线演变。, 电压相对灵敏度:在恒流源偏置下,硅磁敏二极管输出电压 随磁感强度 B 改变的相对变化量,如图 6-24。正向灵敏度大于反向灵敏度。当 B 在00.1T时,输出电压与磁感强度呈线性关系,当磁场强度再增加时,输出电压饱和(图中未表示出)。, 温度特性:磁感强度不变时,硅磁敏

7、二极管输出电压随温度的变化特性,见图6-25,它具有正温度系数。,常用的国产磁敏二极管主要有硅材料做成的2DCM系列和由锗材料制成的2ACM系列,其参数如表 6-5。,图6-23 伏安特性,图6-24 电压相对灵敏度,图6-25 温度特性,3. 磁敏二极管的温度补偿电路,磁敏二极管受温度影响比较大,为避免使用中产生较大误差,应进行温度补偿,补偿一般有下列三种形式。 (1)互补式:选用特性相近的两只磁敏二极管,按磁极相反的方向组合,将两管串接在电路中,如图 6-26(a)所示。无磁场作用时的输出电压 取决于两管的电阻分压比,当温度变化时,两管的等效电阻均改变,若其特性相同,则分压比关系不变,所以

8、输出电压 不随温度变。 (2)差分式:按如图 6-26(b)所示接法,则有 ,若输出电压不对称,可通过调节电阻 和 ,使输出得以改善。 (3)全桥式:按如图 6-26 (c) 所示接法,输出电压为,表6-5 2DCM、2ACM系列磁敏二极管的主要参数,该电路有较高的磁灵敏度,它对器件选择要求高,四个磁敏二极管特性越接近越好。它适用于对磁灵敏度要求较高的场合。,(a)互补式,(b) 差分式,(c)全桥式,图6-26 温度补偿电路,4应用,磁敏二极管可用来检测交流和直流磁场,尤其是比较弱的磁场,可制作箝位电流计,也可用作无触点开关、无接触电位计、漏磁探伤仪等。, 无触点开关,图 6-27是一个无触

9、点开关电路,具体由四个磁敏二极管组成桥式检测电路、两个整流稳压电路、继电器、晶闸管VT2、三极管VT1和被控制电路等组成。当无磁场时,磁敏,二级管组成的电桥平衡,无信号输出;当磁铁运行到磁敏二极管附近时,平衡被打破,磁,图6-27 磁敏二极管作为无触点开关的应用,敏二极管组成的电桥有信号加在VT1的基极和发射极之间,并使其导通。由于R1 上的压降升高,导致晶闸管VT2导通,从而继电器线圈k得电,并使常开触头K-1和K-2闭合,指示灯亮,控制电路接通,开始工作。, 漏磁探伤仪,1被探钢棍 2励磁线圈 3铁芯,4放大电路 5探头 6缺陷,图6-28 漏磁探伤仪截面图,利用磁敏二极管可检测弱磁场变化

10、,可制成漏磁探伤仪,其原理见图6-28。设被测件为钢棍,它被磁化的部分与铁芯构成闭合磁路,由激磁线圈产生的磁通通过钢棍局部表面。如果钢棍无缺陷,探头附近无泄露磁通,探头没有电信号输出;如果钢棍局部有缺陷,缺陷处的漏磁通作用于探头上,探头产生输出信号,然后经放大等信号处理,送给监视器或记录仪。探伤过程中,钢棍需不断转动,同时探头和带铁芯的激磁线圈沿钢棍轴向运动,快速检测钢棍的全部表面。,当然,在这个漏磁探伤仪中,其探头和放大部,分还有一些具体的设计与考量,限于篇幅,不能一一细叙。,6.3.2 磁敏三极管及应用,1磁敏三极管的结构与工作原理,磁敏三极管(magneto sensitivity tr

11、ansistor)由锗材料或者硅材料制成,一般是在一块高阻半导体材料 I 上制成 结构,并在发射区一侧用喷砂的方法破坏一层晶格,形成载流子高复合区r,整个元件采用平板结构,发射区和集电区设在上下表层边角,处。磁敏三极管结构和符号如图 6-29 所示。,图6-29 磁敏三极管结构与符号,磁敏三极管的工作原理如图6-30所示。这里分三种情况考虑:一是无外磁场作用时,在横向电场作用下,发射极电流大部分流向基极,小部分形成集电极电流,从而电流放大倍数 ,如图6-30(a)所示;二是受正向磁场的作用(方向向内),如图6-30(b)所示,洛伦兹力使载流子向基极偏转,集电极电流 减小,基极电流 增加。流向基

12、区的电子经过复合区 r 时,被大量复合,使I区载流子浓度大为减少,成为高阻区。高阻区又使发射结上的电压减小,注入 I 区的电子数随之减少,使集电极电流进一步减小,同时流向基区的电子数也减少;三是受反相磁场的作用(方向向外),如图 6-30(c)所示,集电极电流增加,基极电流减小。由此可见,可用磁场方向控制集电极电流的增减,用磁场强弱控制集电极电流的大小变化。,(c)反向磁场下,图6-30 磁敏三极管工作示意图,(a)无外磁场,(b)正向磁场下,磁敏三极管技术特性主要有磁灵敏度和输出特性。磁灵敏度用 表示,它是指当基极电流恒定,无外加磁场的集电极电流 与外加磁场强度是 时集电极电流 相对变化值:

13、输出特性是基极电流恒定时,集电极电流与外加磁场的关系特性。,2磁敏三极管的应用,磁敏的三极管的灵敏度比霍尔元件高得多(12数量级),同时具有响应速度快、无触点、输出功率大、成本低等特点,在生产和实验中得到了广泛的应用。例如,磁力检测、位移测量、转速测量和无损探伤等。磁敏三极管具有广泛的发展前景。, 作电位器使用,图 6-31 是磁敏三极管作为电位器使用的例子。将磁敏三极管置于0.1T的磁场中,通过 改变磁敏三极管的基极电流,电路的输出电压在0.7-15V间连续变化。这相当于一,个电位器,并且无触点,因此可用于变化频繁、调节迅速、噪声要求较低的场合。其中2ACM 是一个磁敏二极管,BGm为磁敏三

14、极管。,图6-31 无触点电位器,图6-32 有源负载接口电路, 有源负载接口电路,图 6-32 是由磁敏三极管构成的有源负载接口电路,可用来检测磁场强度、电流、流量、液位等物理量,还可作为接近开关、限位开关等使用。,图中采用了温度特性较好的4CCM型磁敏三极管组成的有源负载接口电路。其中,VT3、VT4、 和 组成了VT1和VT2的集电极恒流源负载。由于采用了恒流措施,磁敏三极管检测到的由磁场变化引起的集电极电流的变化,将在负载上产生较大的电压输出。,本章小结,霍尔传感器 工作原理:霍尔效应,转换公式:,磁场范围:,主要用途:磁场测量,电流、电压、位置、速度等传感,以及功率、开放、平方等 运算等,磁敏电阻,工作原理:磁阻效应,磁场范围:,主要用途:无触点开关、压力开关、位移传感器、安培计、交流放大器和振荡器等,磁敏半导体传感器,1. 磁敏二极管,工作原理:复合电流的磁场调制,磁场范围:,应用与产品:磁场检测,位置、速度、电流和电压测量等。产品有无触点开关、无 接触电位计、漏磁探伤仪等,2. 磁敏三极管,工作原理:集电极电流或者漏极电流的磁场调制,磁场范围:,应用:磁场检测、位移测量、转速测量和无损探伤等,思考题与习(略),参考文献(略),

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