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1、第三章 电容式传感器,以电容器为敏感元件,将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。,电容式传感器,变间隙型,变面积型,变介质型, 极板间介质的介电系数; 0 真空的介电常数,0 =8.85410-12 F/m; r 极板间介质的相对介电常数,对于空气介质,r 1。,3.1 电容式传感器的工作原理及特性,3.1.1 基本工作原理,平行极板电容器的电容量为:,3.1.2 电容式传感器的类型和特性,1. 变极距型电容传感器,极板2上移:,设动极板未移动时极板间距为0,初始电容量为:,电容的相对变化量为:,略去高次项,得:,所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足0的条件。且一般只能在极
2、小的范围内变化。,非线性误差与/0有关。其表达式为:,传感器的灵敏度为:,差动式变间隙型电容传感器,动极板上移时:,初始位置时,,提高一倍,减小,略去高次项:,电容量的相对变化为 :,非线性误差为:,灵敏度:,2. 变面积型电容传感器,(角位移变面积型),板状线位移变面积型,板状线位移变面积型,线性,当其中一个极板发生x位移后,改变了两极板间的遮盖面积S ,电容量C同样随之变化。,初始电容C0为:,当内筒上移x时,内 外筒间的电容C1为:,D1,D0,L,x,与x成线性关系,3. 变介电常数型电容传感器,(a) 单组式平板形厚度传感器,设固定极板长度为a、宽度为b、两极板间的距离为;被测物的厚度和它的介电常数分别为x和,x,单组式平板形线位移传感器,设极板宽度为b,板间无介质2 时,传感器的电容量为:,插入介质2 后的电容量为:,1,CB,l,d2,d1,2,x,CA,所以,(c) 液位传感器,圆筒式液位传感器,首先,与被测液位hx成线性关系。,