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1、TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. Ag合金线合金线 SEA型号型号 Tanaka Denshi Kogyo K.K. Technical Department 2 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO
2、K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential 半导体市场的发展趋势 小型化 微间距低线弧的运用 缩减成本 降低材料成本低成本 提高生产力UPHMTBA参数范围 简单的参数设定 半导体市场的发展趋势 小型化 微间距低线弧的运用 缩减成本 降低材料成本低成本 提高生产力UPHMTBA参数范围 简单的参数设定 客户的要求 : 低价格材料高生产力 客户的要求 : 低价格材料高生产力 LED Device市场的发展趋势 小型化 低线弧短弧长 缩减成本 降
3、低材料成本低价格材料 提高生产力UPH参数范围 简单的参数设定 高亮度 高反射率 LED Device市场的发展趋势 小型化 低线弧短弧长 缩减成本 降低材料成本低价格材料 提高生产力UPH参数范围 简单的参数设定 高亮度 高反射率 客户的要求 : 低价格材料高生产力高性能 客户的要求 : 低价格材料高生产力高性能 背景背景 3 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO
4、 K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential Yes (气体配件) No资金总额 Yes (N2-H2) No混合气体 芯片损伤 第一焊点参数 生产力（UPH etc） 反键合 第二焊点参数 材料成本 铜线金线项目 背景背景 Ag 为主的键合线Ag 为主的键合线 Yes (气体配件) Yes (气体配件) Yes (N2) Yes (N2) 银线银线 Au, Cu, 和 Ag 合金线的比较Au, Cu, 和 Ag 合金线的比较 (坏坏)(好好
5、) 材料成本 / 接合性材料成本 / 接合性 4 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential TANAKA新新Ag合金线的命名合金线的命名 命名：命名：S E A 1. 材料成
6、本低以银为主，低材料成本的键合线材料成本低以银为主，低材料成本的键合线 2. 键合性键合性SEA 型号能在金线打线参数下打线型号能在金线打线参数下打线 3. 微间距 微间距 SEA 的压着球真圆度良好的压着球真圆度良好 SEA 型号的特点型号的特点 Silver的英文首字母的英文首字母 Enhanced的英文首字母的英文首字母 序号序号 5 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI
7、 KOGYO K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential 机械特性机械特性 设备 : 拉伸试验机 UTM- 拉伸速度 : 10mm/min 试料长度 : 100mm 测定数 = 10 键合线 : SEA(Ag 合金线) TCA1(裸铜线) CLR-1(镀钯铜线) GFC(金线) 设备 : 拉伸试验机 UTM- 拉伸速度 : 10mm/min 试料长度 : 100mm 测定数 = 10 键合线 : SEA(Ag 合金线) TCA1(裸铜线) C
8、LR-1(镀钯铜线) GFC(金线) 5 10 15 20 25 30 0.60.81.01.21.41.6 Wire diameter (mil) Breaking Load (gf) SEA TCA1 (Bare Cu) CLR-1 (coated Cu) Au (GFC) 6 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Rights Reserve
9、d.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential 电阻率电阻率 SEA型号的电阻率比金线高 测定方法 根据直流4端子法，通过一定的电流，测定当时的电压。 根据测定值计算电阻。R=V / I(R:电阻V:电压I:电流） 根据右侧公式，计算电阻率。= RS/L （:电阻率 S:横截面积 L:长度） SEA型号的电阻率比金线高 测定方法 根据直流4端子法，通过一定的电流，测定当时的电压。 根据测定值计算电阻。R=V / I(R:电阻V:电压I:电流） 根据右侧公式，计算电阻率。= RS/L （:电阻
10、率 S:横截面积 L:长度） 3.1 2.4 2.3 1.7 5.1 0.0 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0 99%Au99.9%Au99.99%Au99.99%CuAg alloy GPG-2GPHGFCTCA1SEA Resistivity (ucm） 3N4N 7 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Rights Reserved
11、.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential 熔断电流计算公式熔断电流计算公式 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 0.02.04.06.0 Wire Length (mm) Fusing Current (A) 0.7mil 0.8mil 0.9mil 1.0mil 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 0.02.04.06.0 Wire Length (mm) Fusing Current (A) 0.8mil SEA 0.8mil Cu wire 0.8mil A
12、u alloy 0.8mil 4N-Au SEA的熔断电流与金合金线的一样。SEA的熔断电流与金合金线的一样。 在Eugene Loh技术报告中提到的公式 ：IEEE Trans.Comp.,Hybrids,Manu.Tech.,Vol6,no.2,P.209,JUNE1983. 报告的标题是“Fussed-Open Bond Wires 物理分析资料” 在Eugene Loh技术报告中提到的公式 ：IEEE Trans.Comp.,Hybrids,Manu.Tech.,Vol6,no.2,P.209,JUNE1983. 报告的标题是“Fussed-Open Bond Wires 物理分析资料
13、” 8 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confidential FAB形成性气体流量的确认FAB形成性气体流量的确认 1.0 l/min0.2 l/min0.4 l/min0.6 l/mi
14、n0.8 l/min 好好 打线机:UTC-3000 装有气体配件, 保护气体:N2打线机:UTC-3000 装有气体配件, 保护气体:N2 9 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved.All Rights Reserved. Confid
15、ential 0 100 200 300 400 500 600 05101520 Deformation（um） Compression Load（mN） SEA Coated Cu Bare Cu 4N-Au FAB 压缩试验FAB 压缩试验 Flat tool FAB 【FAB 制造条件】 线径：20um FAB：38 打线机 ：Shinkawa UTC-1000 气体 ：N2, 0.6l/min EFO 时间 ：0.36 ms EFO 电流：36mA（银合金） 49mA（镀钯铜） 46mA（4N-金） 【测定设备】 压缩装置 ：MCT-W500(SHIMADZU) 【测定概图】 【测定条件】 压缩速度：23.5mN/sec 最大负荷：400mN 硬度比较硬度比较 软软软软Au wire SEA Cu wire Au wire SEA Cu wire 硬硬硬硬 10 Copyright Copyright Copyright Copyright TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. TANAKA DENSHI KOGYO K.K. All Righ
