自动检测技术 第3版 教学课件 ppt 作者 马西秦 第5章 压电传感器

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1、第五章 压电式传感器,压电式传感器:当外力作用于某些晶体时,发生压电效应,在晶体表面产生电荷,通过检测发电电荷量的大小测出作用力的大小。 可制成力、压力、加速度等传感器。 体积小、轻便、频带宽、灵敏度高。,第一节 压电式传感器原理,压电效应:某些晶体在一定方向上受到外力作用时,内部产生极化现象,相应在晶体的两个表面上产生符号相反的电荷。当外力除去时,电荷消失;当外力反向时,电荷极性也反向。被称为压电效应。,一、压电效应,二、石英晶体的压电效应,石英:二氧化硅单晶, 六角棱柱体, X、Y、Z三个晶轴。,晶体切块,1、X向应力-纵向压电效应,电荷计算:,2、Y向应力横向压电效应,压力,拉力,压力,

2、拉力,分别为两个方向的压电系数。,且:,关于压电效应的 解释:,硅离子,硅离子,硅离子,氧离子,氧离子,氧离子,石英晶体 在X-Y平面 离子分布,X方向受力,Y方向受力,Z方向受力 将不产生压电效应!,三、压电陶瓷的压电效应,压电陶瓷:多晶铁电体,具有电畴(分子自发形成的电场区域)结构的压电材料。正常状态下对外不呈现电荷。 在一定温度下,对压电陶瓷加强电场进行极化处理,内部电畴的排列被人为地规则化,当强电场撤消后,压电陶瓷就具有了压电特性。,多晶铁电体,在强电场中极化,电畴排列规则化,电荷计算:,为纵向压电系数。,取压电材料的极化方向为Z轴,Z受压,Y受压,电荷计算:,极化面面积,受力面面积,

3、且:,第二节 压电材料及压电元件,一、压电材料,要求:1)压电常数大; 2)机械强度高; 3)电阻率大,介电常数大; 4)引起压电效应破坏的温度点(居里点)高; 5)时间稳定性好。,(一)石英晶体 (二)水溶性压电晶体 (三)铌酸锂晶体 (四)压电陶瓷(钛酸钡、锆钛酸铅、铌酸盐、铌镁酸铅) (五)压电半导体 (六)高分子压电材料,二、压电元件,并联 Q=nQ U=U C=nC,串联 Q=Q U=nU C=C/n,第三节 压电传感器的测量电路,一、压电式传感器的等效电路,压电式传感器可以等效为电荷源和压电元件电容器的并联电路;也可以等效为电压源和电容器的串联电路。,其中电容器为:,压电元件极板面积,元件厚度,相对介电常数,二、压电式传感器的测量电路,由:,得:,电缆长度会影响灵敏度!,(一)电压放大器,(二)电荷放大器,忽略三个电阻的影响,输入到运放的电荷:,又,及,(1),将 、 代入(1)式,得:,灵敏度:,第四节 压电式传感器的应用,(一)压电式力传感器,(二)压电式压力传感器,(三)压电式加速度传感器,基座,基座,压电片,质量块,m,压簧,壳体,

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