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1、深圳培训网 IC半导体封装测试流程修订日期修订单号修订内容摘要页次版次修订审核批准2011/03/30/系统文件新制定4A/0/更多免费资料下载请进：http:/好好学习社区批准：审核：编制：IC半导体封装测试流程第1章 前言1.1 半导体芯片封装的目的半导体芯片封装主要基于以下四个目的10, 13：l 防护l 支撑l 连接l 可靠性引脚金线芯片塑封体（上模）环氧树脂粘合剂载片台塑封体（下模）图1-1 TSOP封装的剖面结构图Figure 1-1 TSOP Package Cross-section Structure第一，保护：半导体芯片的生产车间都有非常严格的生产条件控制，恒定的温度（23
2、03）、恒定的湿度（5010%）、严格的空气尘埃颗粒度控制（一般介于1K到10K）及严格的静电保护措施，裸露的装芯片只有在这种严格的环境控制下才不会失效。但是，我们所生活的周围环境完全不可能具备这种条件，低温可能会有-40、高温可能会有60、湿度可能达到100%，如果是汽车产品，其工作温度可能高达120以上，为了要保护芯片，所以我们需要封装。第二，支撑：支撑有两个作用，一是支撑芯片，将芯片固定好便于电路的连接，二是封装完成以后，形成一定的外形以支撑整个器件、使得整个器件不易损坏。第三，连接：连接的作用是将芯片的电极和外界的电路连通。引脚用于和外界电路连通，金线则将引脚和芯片的电路连接起来。载片
3、台用于承载芯片，环氧树脂粘合剂用于将芯片粘贴在载片台上，引脚用于支撑整个器件，而塑封体则起到固定及保护作用。第四，可靠性：任何封装都需要形成一定的可靠性，这是整个封装工艺中最重要的衡量指标。原始的芯片离开特定的生存环境后就会损毁，需要封装。芯片的工作寿命，主要决于对封装材料和封装工艺的选择。1.2 半导体芯片封装技术的发展趋势l 封装尺寸变得越来越小、越来越薄l 引脚数变得越来越多l 芯片制造与封装工艺逐渐溶合l 焊盘大小、节距变得越来越小l 成本越来越低l 绿色、环保以下半导体封装技术的发展趋势图2,3,4,11,12,13：DIPSOPLCCPGAxSOPPBGABGAMCM/SIPFBG
4、A/FLGAQFN高效能1970s1980s1990s2000sQFP小型化图1-2 半导体封装技术发展趋势Figure 1-2 Assembly Technology Development Trend时间引脚数1970s1980s1990s2000s1010010002005s图1-2（续） 半导体封装技术发展趋势Figure 1-2(Continue) Assembly Technology Development Trend注：1. xSOP是指SOP系列封装类型，包括SSOP/TSOP/TSSOP/MSOP/VSOP等。2. 3D是目前用于简称叠层芯片封装的最常见缩写。TSOP封装技
5、术出现于上个世纪80年代，一出现就得到了业界的广泛认可，至今仍旧是主流封装技术之一。TSOP是“Thin Small Outline Package”的缩写，意思是薄型小尺寸封装。其封装体总高度不得超过1.27mm、引脚之间的节距0.5mm。TSOP封装具有成品率高、价格便宜等优点，曾经在DRAM存存储器的封装方面得到了广泛的应用14。从本世纪初开始，国外主要的半导体封装厂商都开始了叠层芯片（3D）封装工艺的研究，几乎涉及到所有流行的封装类型，如SIP、TSOP、BGA、CSP、QFP，等等。2005年以后，叠层芯片（3D）封装技术开始普及。2007年，我们将看到两种全新的封装类型，PiP（P
6、ackage in Package）及PoP（Package on Package），它们就是叠层芯片（3D）封装技术广泛应用的结果。1.3 叠层芯片封装技术概述叠层芯片封装技术，简称3D，是指在不改变封装体的尺寸的前提下，在同一个封装体内于垂直方向叠放两个或两个以上的芯片的封装技术，它起源于快闪存储器（NOR/NAND）及SDRAM的叠层封装。叠层芯片封装技术对于无线通讯器件、便携器件及存储卡来讲是最理想的系统解决方案。近年来，手机、PDA、电脑、通讯、数码等消费产品的技术发展非常快，这此行业的迅猛发展需要大容量、多功能、小尺寸、低成本的存储器、DSP、ASIC、RF、MEMS等半导体器件，
7、于是叠层芯片技术于近几年得到了蓬勃发展1。3D封装技术的有以下几个优点：l 多供能、高效能l 大容量高密度，单位体积上的功能及应用成倍提升l 低成本例如，DRAM/NAND，为了增大单个器件的存储容量，一个通常的做法就是减小芯片的线宽、采用集成度更高的工艺，使得单芯片的容量增长。不过，减小线宽，一是带来晶圆带来生产成本的上升，二是技术难度也会相应加大。如果提高封装密度，即采用叠层芯片封装技术，同样可以将单个器件的容量成倍提升，但是生产成本的上升、工艺难度都比前者低，这就是为什么需要发展叠层芯片封装工艺的根本原因。在一个封装体内放入两个芯片就可以将单个器件的容量提高一倍，这种方法要比我们提高集成
8、度要简单得多。举个例子，假如采用57nm工艺的单芯片的容量是1G，如果提升到2G则需要使用45nm的集成度，但是，目前市场上有大量的2G SD卡出售并未采用45nm的工艺，这就是得益于叠层芯片封装技术，即在一个器件内封装入两个芯片。当然，如果将提高芯片的集成度结合叠层芯片技术，则就能得到更高的单个器件容量。1.4 TSOP叠层芯片技术研究和重要性和意义TSOP封装曾经广泛应用于早期的动态随机存储器（DRAM）中。由于TSOP封装的信号传输长度较长、不利于速度提升，容积率只有TinyBGA的50%，在DDR/DDRRII内存封装中被TinyBGA所取代。但是，随着NAND快闪存储器的兴起，它了重
9、新焕发了生机。根据IC Insight所公布的报告，2005年NAND快闪存储器的增长率达64%，其增长率是整个半导体市场4%的增长率的16倍。2006年 NAND快闪存储器的增长率虽然放缓，但仍高达30%左右，是2006年整个半导体市场的增长率8%的3倍多。根据市场调查机构 DRAMeXchange的最新的2007年第三季NAND Flash营收市场占有率报告， NAND Flash品牌厂商在2007年第三季整体营收表现抢眼，逼近39亿美元，比第二季成长36.8%。NAND的市场增长率远大于整个半导体市场的增长率，所以与NAND相关的主要封装类型TSOP及SiP的会继续高速增长。正是基于强劲
10、的市场需求，所以大力发展TSOP叠层芯片封装就显得十分重要。对NAND而言，其两大主流封装形式是SiP及TSOP。SiP的优点是一次成形，封装完成即是成品，不需要SMD。和SiP相比，TSOP则更具有柔韧性，因为TSOP可能通过SMD制作成SD卡、Mini SD卡、CF卡或是集成到MP3/MP4、SDRAM中，而SiP则不具有这种特点，SiP一旦完成组装，它就是成品了、不能再根据市场需求来进行调整。和另一种同样可以通过SMD组装的PBGA封装形式相比，TSOP具有非常明显的成本优势。正是因为TSOP的成本优势，半导体业的巨头Intel将它的NAND/NOR PBGA封装转成了TSOP封装。而且
11、，Intel还通过和Micron的合资公司IMFT(IM Flash Technology)，大力推进NAND TSOP的生产。据称，苹果电脑公司目前在iPod 中使用的 NAND闪存芯片占全部 NAND闪存芯片产量的20%。作为闪存定单，苹果电脑公司已经同意支付5亿美元平分给英特尔公司和美光科技公司，2007年合资公司生产的25%的NAND闪存将提供给苹果电脑公司。TSOP封装的封装材料成本大概占总成本的55%，如果采用叠层芯片封装，封装成本增加主要是金线和环氧树脂芯片粘合，因此只需要增加少量成本就能将单位封装体积上的功能及应用成倍提升，不光如此，它还带来后序工序的成本降低。叠层芯片技术是一
12、项非常重要的技术，它的兴起带了封装技术的一场革命。因此，TSOP叠层芯片封装技术的研究有十分深远的历史及现实意义。第2章 单芯片TSOP封装技术介绍芯片封装工艺分为两段，分别叫前道（Front-of-line，FOL）和后道（End-of-line，EOL），前道（FOL）主要是将芯片和引线框架（Leadframe）或基板（Substrate）连接起来，即完成封装体内部组装。后道（EOL）主要是完成封装并且形成指定的外形尺寸7。2.1 前道生产工艺第九步，检查键合后的质量。第八，引线键合。第七步，烘烤。第六步，贴片。第五步，再次检查芯片的质量。第四步，划片，将晶圆上的芯片彼此分离。第三步，装片
13、。第二步，磨片结束后，对芯片进行质量检查。第一步，磨片。第三次光学检查To EOL磨片装片划片贴片烘烤引线键合第二次光学检查晶圆光学检查下面，用示意图来简单介绍主要的加工工艺：1晶圆(wafer)：图-3展示了一个从晶圆厂(Wafer Fab)出来的晶圆，上面布满了矩形的芯片，有切割槽的痕迹。图2-1 晶圆示意图Figure 2-1 Wafer2磨片(Backgrinding)：晶圆出厂时，其厚度通常都在0.7mm左右，比封装时的需要的厚度大很多，所以需要磨片。图-4是磨片工艺示意图，晶圆被固定在高速旋转的真空吸盘工作台上，高速旋转的砂轮从背面将晶圆磨薄，将晶圆磨到指定的厚度。通常，TSOP单
14、芯片封装的晶圆厚度为0.28mm左右。高速旋转的砂轮真空吸盘工作台图2-2 晶圆背面剪薄工艺示意图Figure 2-2 Backgrinding Process3装片(Wafer Mount)：压力滚轮粘性蓝膜固定铁环晶圆工作台蓝膜固定铁环晶圆图2-3 装片工艺示意图Figure 2-3 Wafer Mount Process图-5 装片工艺，上图展示了如何将晶圆粘贴到粘性蓝膜上。首先将晶圆正面朝下固定在工作台的真空吸盘上，然后铺上不锈刚晶圆固定铁环（Wafer Ring），再在铁环上盖上粘性蓝膜(Blue Tape)，最后施加压力，把蓝膜、晶圆和铁环粘合在一起。图-5 下图展示了将晶圆固定在铁环上以后的情况：中央的晶圆被固定在蓝膜上，蓝膜被固定在不锈钢铁环上，以便后续工序加工。4划片(Die
