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1、1,精密機械振動診斷與改善,王永鵬 南台科技大學 機械工程系,2,大綱,前言 振動來源 振動診斷實務 振動改善實務 實例介紹,3,前言,影響精密製程良率之因素: 設備、製程、材料、環境 例:某產品需多套設備共同完成,若每套設備良率為99%, 總良率85%(16套) 總良率72%(32套) 環境條件: 空氣潔淨度、氣流特性、溫度、濕度、振動、噪音、靜電、EMI,4,Microvibration Control Area,14/11/2004,5,Vibration Criteria of Sensitive Equipment,6,前言,7,前言,8,前言,9,前言,10,振動來源,廠外振源 建
2、築、土木施工 道路交通 高速鐵路 地震 廠外運轉設備 聲音、風,11,振動來源,12,振動來源,13,振動來源,14,振動來源,廠內振源 廠內施工 附屬運轉設備(Fan、Pump) 管路振動 人員走動 自動傳輸機構 聲音(75 dB) 空氣脈衝,設備振源 運動組件 Fan、Pump 管件,15,振動診斷實務,現象研判 選擇振動量測位置及方向 格子樑、基座、XYZ方向 振動量測 1/3 Octave Band 判斷是否大於允許值 Narrow Band 判斷振源 振源判斷 共振 寬頻激振源(交通、工事、人員、台車、移動件) 固定頻率 轉動設備,16,振動改善實務,振動之產生與傳遞 Source
3、Path Receiver 改善對象 Source:降低振動產生 Path :隔振 Receiver :吸振、設備強化、基座強化 改善對策:時效性、經濟性、改善程度,17,振動改善實務,交通振動之改善 主要廠房距馬路50 m以上 去除障礙物、道路平坦 防振道路之鋪設 交通管制 水池 人員、台車振動改善 高架地板吸振 台車避振 人員走動限制,18,振動改善實務,Sound Induced Vibration 噪音源改善 噪音源隔音罩 設備隔音罩 管路振動 流線改善 加適當之支撐 管路隔振 管路吸振,19,振動改善實務,附屬運轉設備 動平衡 吸振 基座共振 加強剛性 增加阻尼 隔振(主動式、被動式
4、) 吸振,20,振動診斷與改善實例(一),現象:某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測:格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷:設備基座共振 改善:強化基座,21,振動診斷與改善實例(一),22,振動診斷與改善實例(一),現象:某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測:格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷:設備基座共振 改善:強化基座,23,振動診斷與改善實例(一),24,振動診斷與改善實例(一),25,振動診斷與改善實例(一),26,振動診斷與改善實例(一),27,振動診斷與改善實例(一),現象:某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測:格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷
5、:設備基座共振 改善:強化基座,28,振動診斷與改善實例(二),現象:某廠生產機台振動過大,不符振動標準,影響生產 量測: 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷: 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善: 清除風車扇葉結晶,動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振,29,振動診斷與改善實例(二),30,振動診斷與改善實例(二),31,振動診斷與改善實例(二),風車之預估隔振效率,32,振動診斷與改善實例(二),現象:某廠生產機台振動過大,不符振動標準,影響生產 量測: 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷: 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善: 清除風車扇葉結晶,動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振,33,振動診斷與改善實例(二),34,振動診斷與改善實例(二),35,振動診斷與改善實例(二),36,振動診斷與改善實例(二),