trioptics高精度光学测量系统 - 田贺斌 - 2011-03-16

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1、TRIOPTICS GmbHTRIOPTICS GmbH 高精度光学测量系统高精度光学测量系统 北京全欧光学检测仪器有限公司北京全欧光学检测仪器有限公司 北京朝阳区酒仙桥东路1号M7栋东5层100015北京,朝阳区,酒仙桥东路1号,M7栋,东5层,100015 Tel: (010)8456 6186, Fax: (010)8456 9901, E-mail: tianhebintrioptics- http:/www.trioptics- 1Mar. 25, 2010 Samuel Tian 田贺斌/13552088778田贺斌/13552088778 德国TRIOPTICS GmbH德国TR

2、IOPTICS GmbH TRIOPTICS公司成立于1991年,总部位于德国汉堡,二十多年来一直致力于TRIOPTICS公司成立于1991年,总部位于德国汉堡,十多年来直致力于 光学检测仪器的研究、开发和生产。 公司集中研究和开发高精度全自动电脑控制光学检测仪器其产品在全公司集中研究和开发高精度、全自动电脑控制光学检测仪器,其产品在全 球的光学相关企业和科研院所得到了广泛的应用,并已成为世界的工业标准。 北京全欧光学检测仪器有限公司 TRIOPTICS CHINA 北京全欧光学检测仪器有限公司 TRIOPTICS CHINA 北京全欧光学检测仪器有限公司(TRIOPTICS CHINA)系德

3、国TRIOPTICS GmbH在中国的分公司。GmbH在中国的分公司。 全欧光学主要负责德国TRIOPTICS产品在中国的销售及技术支持。目前, 除传函仪及折射率测量仪外的仪器均由全欧光学负责安装培训及售后事项除传函仪及折射率测量仪外的仪器均由全欧光学负责安装、培训及售后事项。 2Mar. 25, 2010 Samuel Tian 部分客户部分客户 3Mar. 25, 2010 Samuel Tian O iS h i 通用途光学测量系统(测焦仪) 产品目录产品目录 OptiSpheric 通用途光学测量系统(测焦仪) OptiCentric 中心偏差测量仪 OptiSurf 镜面定位仪(透镜

4、中心厚度及空气间隔测量系统)OptiSurf 镜面定位仪(透镜中心厚度及空气间隔测量系统) PrismMaster 精密测角仪 Spherometer 超级球径仪p ImageMaster Universal 科研级高精度传函仪 ImageMaster HR 立式紧凑型传函仪 ImageMaster Pro 产线用快速传函仪 SpectroMaster 折射率测量仪 TriAngle 电子自准直仪 WaveMaster 波前测量系统 AMt非球面面形测量仪AsperoMaster 非球面面形测量仪 OptiSurf 300 纳米级高速表面轮廓测量仪 Phase 泰曼-格林式相移干涉仪Phase

5、 泰曼 格林式相移干涉仪 Optoliner CCD性能测试系统 4Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统(测焦仪)通用途光学测量系统(测焦仪) 功能:功能:功能:功能: EFL、BFL、FFL、轴上MTF、曲率半径等 非接触式测量非接触式测量。 性能:性能:性能:性能: 测量范围: EFL: 5-500mm (可扩展至2000mm) R: 2 400mm (标配)R: 2-400mm (标配) 测量精度: 0.1-0.3%5-25mm 0.03%-0.1%25-500mm 0.05%-0.3%500-1000mm 重复精度: 0 03-

6、0 2%重复精度: 0.03-0.2% 5Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 软件模块软件模块软件模块软件模块 6Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 软件模块软件模块软件模块软件模块 MTF 7Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSph

7、eric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量 8Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量 9Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric

8、 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量 10Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪)OptiSpheric 通用途光学测量系统通用途光学测量系统(测焦仪测焦仪) 人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量人工晶体测量 11Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 功能功能功能功能: - 透射法或反射法测量 单镜片或多镜片镜头组中每表面的中心偏差测量- 单镜片或多镜片镜头组中每一表面的中

9、心偏差测量 - 透镜表面曲率半径测量 - 透镜中心厚度和空气间隔测量 - 镜头外缘打表测量 - 分析单片透镜或多片透镜的光轴与参考轴之间的相对关系(矢量值) - 拟合单片透镜或多片透镜的最佳光轴 - 计算镜头组中每一镜片的三维轴、倾斜及偏离等位置参数,图形显示结果 12Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 性能性能性能性能: 中心偏差测量 : 中心偏差测量 测 曲率半径测量曲率半径测量 测量范围: EFL/R: 5-2000mm 测量精度: 0 2um 或 2” 测量范围: 5-400mm 测量精度: 0 05% 0 3%测量

10、精度: 0.2um 或 2 重复精度: 0.1um 或 1” 测量精度: 0.05%-0.3% 重复精度: 0.03%-0.2% 13Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 单光路中心偏差测量仪单光路中心偏差测量仪 双光路中心偏差测量仪双光路中心偏差测量仪 单光路中心偏差测量仪单光路中心偏差测量仪 双光路中心偏差测量仪双光路中心偏差测量仪 14Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 反射模式测量反射模式测量 透射模式测量透射模式测量 反射模式测量反射模式测量 透射

11、模式测量透射模式测量 15Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 单镜片测量用真空吸附装置单镜片测量用真空吸附装置单镜片测量用真空吸附装置单镜片测量用真空吸附装置 16Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 镜头组测量用气浮轴承转台镜头组测量用气浮轴承转台镜头组测量用气浮轴承转台镜头组测量用气浮轴承转台 17Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 非球面非球面非球面非球面 中心偏差测量中心偏差测量

12、18Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 镜筒外缘测量镜筒外缘测量镜筒外缘测量镜筒外缘测量 19Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 柱透镜中心偏差测量柱透镜中心偏差测量柱透镜中心偏差测量柱透镜中心偏差测量 20Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 镜头组中心偏差测量镜头组中心偏差测量镜头组中心偏差测量镜头组中心偏差测量 21Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCent

13、ric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 软件模块软件模块软件模块软件模块 22Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 全自动定心胶合系统全自动定心胶合系统全自动定心胶合系统全自动定心胶合系统 23Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 全自动定心车床全自动定心车床全自动定心车床全自动定心车床 24Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪OptiCentric 中心偏差测量仪中心偏差测量仪 全自动定心车床

14、全自动定心车床 25Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪 功能:功能:功能:功能: 镜头组中透镜厚度及空气间隔测量 性能:性能: 测量范围(光程): 40mm 200mm 400mm 600mm600mm 800mm 更长可选更长可选 测量精度: +/-1um 26Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪 测量原理测量原理Working principle Low coherent light: interference patterns occur w

15、hen optical path lengths in interferometer arms are a*nglas s lengths in interferometer arms are identical every surface of a specimen reflects a s reference arm (variable length) part of the incoming light beam location of object surfaces can be did fifk a (variable length) determined from interfer

16、ence peak positions object arm 27Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪 软件界面软件界面 28Mar. 25, 2010 Samuel Tian OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪OptiSurf 镜面定位仪镜面定位仪 OiCi 3OptiCentric 3D (OptiCentric + OptiSurf) 29Mar. 25, 2010 Samuel Tian PrismMaster 精密测角仪精密测角仪 功能功能功能功能: - 外角测量 塔差测量- 塔差测量 - 反射模式或透射模式 性能:性能: 测量范围0 360连续测量测量范围: 0-360连续测量 测量精度: 0 2”(多次测量平均)测量精度: 0.2 (多次测量平均) 0.5”(单次测量) 30Mar. 25, 2010 Samuel Tian PrismMast

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