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1、目 的 : 使相关人员能了解无尘室环境的基础知识 及无尘室管理规定，进而达成环境清净化 之要求。,无尘室常识及7S管理,课 程 大 纲,认识无尘室 污染防制手法 无尘室日常管理 无尘室进出作业标准 静电防制 常犯问题点说明 7S管理制度及含义,(1)微尘脏污造成ITO蚀刻 (2)微尘造成TP组合异物短路 (3)微尘造成IC短路 (4)微尘造成IC Bonding后变形短路,微尘粒子的影响,认 识 无 尘 室,无 尘 室 之 演 进,1958美国为发展太空科学开始作无尘室之研究 1961完成空军之无尘室规格(100000级) 1963 DEC美国联邦无尘室规格公布(F.S209) 1966 AU
2、G修正F.S 209A 增加设计及测试方法等10项 1973 APR修正F.S 209B气流量及温湿度范围 1977 MAY修正F.S 209B 增加1000级标准 1987 OCT修正F.S 209C 增加10级与1级标准(1M DRAM问市) 1988 JUN修正F.S 209D 标准 1992 DEC修正F.S 209E 采取公制单位(Class M1-Class M7),构成无尘室需具备因素,能有效去除空气中飘浮之微尘粒子 能防止微尘粒子之产生 温度与湿度可以得到控制 各区域之压力可以得到调节 有害之废气可被排出 有害之废水可被排出 建物结构物与隔间具有气密 有静电防制 有电磁干扰之预
3、防 有节省能资源之考虑设计 安全因素之考虑,无 尘 室 之 适 用 范 围,工业用防尘室I.C.R(Industrial Clean Room) 半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天 生化及医药用防尘室B.C.R(Biological Clean Room) 制药、医疗设施、生物实验室,无 尘 室 的 构 造,防尘室的主要结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置 一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器，用这种方式将灰尘及微子粒子去除。 经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入，型成气流 使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口(地板)、回风通道返回空 调机内。室内的压力通
4、过右上部的气压闸来控制调整。,污染防制手法,1.外部异物侵入防止（不带入） 防尘室保持正压(0.5mm Aq 以上) 工程管路不漏气、漏水 原物料搬入前要清洁擦拭 空气滤网适当设置与管理 2.室内发尘源抑止（不产生） 穿防尘衣 生产线自动化人员不聚集 设备发尘位置管理 不使用易发尘材料,3.室内尘埃不积蓄（不堆积） 墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清洁 制程设备四周应留有空间 防尘室要定期清洁与保养 4.产出的异物被排出（排除） 足够的换气次数 污染源直接排出室外 空调的气流速度要适当,无尘室的污染源防止四原则,无尘室日常管理,进入更衣室前需在门口脱鞋方可进入，不允许穿着拖鞋在更衣室内走动（违
5、者每次罚款30元）。 更衣室内地板，柜子顶端不允许随意乱丢手套，口罩等垃圾，违者每次罚款30元。 领取手套，发帽，口罩等物品时，需按顺序排队领取。手套，发帽等物品需以破旧换新方可领取，如无破旧物品换新，则需以手套1元/双，发帽1元/个购买，否则不予发放。,进入更衣室相关规定,更衣室内不允许穿拖鞋,1.进入无尘室之工作人员须穿着合适之连体无尘衣服、鞋子、网帽，不可穿着过宽或过紧之连体无尘衣、鞋、网帽。 2.穿着连体无尘衣、鞋、网帽、口罩等，须依下列顺序进行（见无尘服穿戴步骤彩图） a、戴上口罩（钢丝线朝上，以手指按捏钢丝，使口罩与鼻梁密合(如下图) b、扎好头发，戴上网帽（头发不可露出，如下图）
6、。 c、穿着连体无尘衣（先拉上拉链，最后粘好颈部魔术贴）(如下图)。 d、戴上手套（衣袖口须包住手套口）(如下图)。 e、着装完成照镜检查服装仪容,无尘衣穿戴标准,1.戴上口罩，钢丝线朝上,2.扎好头发，戴上网帽（头发不可露出 ）,3.穿着连体无尘衣（先拉上拉链，最后粘好颈部魔术贴）,4.穿上无尘鞋,无尘衣穿戴流程1.1,5.戴上手套（手套口反卷入衣袖）,OK规范佩带图,NG 错误佩带图,无尘衣穿戴流程1.2,步骤一：轻踩在海绵上沾湿鞋底。,步骤二：沾湿的鞋底在刷子上来回刷三次，清洁鞋底脏污。,清洁鞋底,进入风淋室 、入口和出口的门不可同时打开，进入风淋室以3人为上限（具体如风淋室要求），不得
7、超过。 、空气吹风未停止时，禁止将风淋室的门打开。 、空气淋浴时, 须高举双手并转动身体, 以利灰尘吹除，吹净时间10S以上。 、空气淋浴时，双脚须踩踏脚踏粘垫3次以上，以利清除鞋底灰尘、异物。 、风淋室的吹气口不得任意调整。 、风淋室入口门禁系统拆除，须恢复原始功能，入口门开，出口门须关闭。,不能带入无尘室之物品,1.没有经过清洁之器材设备或测定器等物品 2.瓦楞纸箱、木材、铅笔、普通用纸、橡皮擦、 立可白 3.普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张 4.香烟、打火机、饮料、食品、泡泡糖、化妆品 挥发性油剂或瓦斯罐等,静 电 防 制,任何物质在静止状态呈“电中性”，但当不同带电的两个物体， 彼
8、此接触、摩擦或分离时就会产生静电，例如用布摩擦过的尺， 可以吸起碎纸。若静电过大就会造成静电放电(Electrostatic Discharge简称ESD)， 会引起火花，甚至会引起暴炸。精密的半导体组件只要几百伏特的静电位， 就会造成破坏。,静 电 之 产 生,各种物体经彼此摩擦后，由于电子移转率之不同，所产生之静电荷 也就有大小之分，表中所列之物体，是按“摩擦电”的静电位大小而 排列次序，愈在上位者，愈趋正电性，愈下愈趋负电性，当上、下 两物体摩擦时，顺序差越远则所产生的静电荷越大。,静 电 产 生 之 大 小,(1)破坏电子回路 (2)吸附微尘粒子，造成污染 (3)放电火花易引起灾变 表
9、 2-5 静电之破坏电压,静电之破坏力-以半导体为例,1.物体接地 - 物体如果是导体，将其接地可以使静电流向打大地释出 2.增加环境湿度 - 非导电物体表面吸收水份，可以增加其导电性， 藉以使静电释出，一般湿度应控制在40 60%RH 3.在物体上涂抹带电防止剂 - 在非导电物体表面涂抹，使其成为 有导电性 4.物体在制造时增加导电材料 - 如 IC TRAY盘、静电袋 5.使用静电消除器 - 可以产生正、负空气离子，来中和物体上之静电 6.减少接触次数，动作速度放慢 7.使用防静电之无尘衣 8.穿戴静电手环或导电鞋,静 电 防 制,常 犯 问 题 点 说 明,将食品饮料带入更衣室内 包装纸
10、箱与物品直接进入室内 同时打开传递箱俩侧直接交谈 涂抹化妆品或喷香水在身体上 穿脱防尘衣的动作顺序错误 未定期换洗防尘衣 防尘衣破损或磨耗起毛球未换 没有定期擦拭防尘鞋底 随意调出风口角度及吹气时间 在室内急速行走或奔跑扬尘 在作业现场拉开防尘衣拿东西 穿防尘衣座于地板或踏高台阶上 选用乳胶手套的尺寸不合适 在作业现场脱除乳胶手套 在乳胶手套上书写文字或图像 使用黏胶带后未清洗乳胶手套就作业 清扫过后未清洗乳胶手套就作业 处理破裂玻璃后未清洗乳胶手套就作业 进行药剂(水)调配后未清洗乳胶手套就作业 撕黏着踏垫后未清洗乳胶手套就作业,接触油溶剂后未清洗乳胶手套就作业 混用无尘抹布将脏污加载产品流
11、动区域内 使用有回转功用的椅子 带入非防尘室专用纸张或笔记本 在室内使用铅笔及橡皮擦 在室内有撕纸或搓揉纸张动作 在受热的地方使用非耐热胶带 在设备或工具的驱动部使用胶带固定对象 清扫过程中未依从上而下顺序打扫 选用错误吸尘器清扫大量发尘 接触产品正面 将流程卡放于篮具上 使用空气枪将灰尘吹起 篮具直接放于地板上沾附灰尘 在防尘室内急速行走或奔跑 将防尘颈部黏扣松开 未随手将有机溶剂瓶盖盖上 拿取过多的纸张放于作业现场 随意开启运转中的机台门盖 推车运货时速度太快,人员在无尘室内常犯的缺失,7S管理制度及“7S”活动的含义,一、“7S”活动的含义/起源 “7S”是整理(Seiri)、整顿(Se
12、iton)、清扫(Seiso)、清洁(Seikeetsu)、素养(Shitsuke)、安全（safety）和速度/节约（speed/saving）这7个词的缩写。因为这7个词日语和英文中的第一个字母都是“S”，所以简称为“7S”，开展以整理、整顿、清扫、清洁、素养、安全和节约为内容的活动，称为“7S”活动。 “7S”活动起源于日本，并在日本企业中广泛推行，它相当于我国企业开展的文明生产活动。“7S”活动的对象是现场的“环境”，它对生产现场环境全局进行综合考虑，并制订切实可行的计划与措施，从而达到规范化管理。“7S”活动的核心和精髓是素养，如果没有职工队伍素养的相应提高，“7S”活动就难以开展和
13、坚持下去。,二、“7S”活动的内容 （一）整理 把要与不要的人、事、物分开，再将不需要的人、事、物加以处理，这是开始改善生产现场的第一步。其要点是对生产现场的现实摆放和停滞的各种物品进行分类，区分什么是现场需要的，什么是现场不需要的；其次，对于现场不需要的物品，诸如用剩的材料、多余的半成品、切下的料头、切屑、垃圾、废品、多余的工具、报废的设备、工人的个人生活用品等，要坚决清理出生产现场，这项工作的重点在于坚决把现场不需要的东西清理掉。对于车间里各个工位或设备的前后、通道左右、厂房上下、工具箱内外，以及车间的各个死角，都要彻底搜寻和清理，达到现场无不用之物。坚决做好这一步，是树立好作风的开始。日
14、本有的公司提出口号：效率和安全始于整理！ 整理的目的是：增加作业面积；物流畅通、防止误用等。 （二）整顿 把需要的人、事、物加以定量、定位。通过前一步整理后，对生产现场需要留下的物品进行科学合理的布置和摆放，以便用最快的速度取得所需之物，在最有效的规章、制度和最简捷的流程下完成作业。 整顿活动的目的是工作场所整洁明了，一目了然，减少取放物品的时间，提高工作效率，保持井井有条的工作秩序区。,（三）清扫 把工作场所打扫干净，设备异常时马上修理，使之恢复正常。生产现场在生产过程中会产生灰尘、油污、铁屑、垃圾等，从而使现场变脏。脏的现场会使设备精度降低，故障多发，影响产品质量，使安全事故防不胜防；脏的
15、现场更会影响人们的工作情绪，使人不愿久留。因此，必须通过清扫活动来清除那些脏物，创建一个明快、舒畅的工作环境。 目的是使员工保持一个良好的工作情绪，并保证稳定产品的品质，最终达到企业生产零故障和零损耗。 （四）清洁 整理、整顿、清扫之后要认真维护，使现场保持完美和最佳状态。清洁，是对前三项活动的坚持与深入，从而消除发生安全事故的根源。创造一个良好的工作环境，使职工能愉快地工作。 清洁活动的目的是：使整理、整顿和清扫工作成为一种惯例和制度，是标准化的基础，也是一个企业形成企业文化的开始。 （五）素养 素养即教养，努力提高人员的素养，养成严格遵守规章制度的习惯和作风，这是“7S”活动的核心。没有人
16、员素质的提高，各项活动就不能顺利开展，开展了也坚持不了。所以，抓“7S“活动，要始终着眼于提高人的素质。 目的：通过素养让员工成为一个遵守规章制度，并具有一个良好工作素养习惯的人。,（六）安全 清除隐患，排除险情，预防事故的发生。 目的是保障员工的人身安全，保证生产的连续安全正常的进行，同时减少因安全事故而带来的经济损失。 （七）节约 就是对时间、空间、能源等方面合理利用，以发挥它们的最大效能，从而创造一个高效率的，物尽其用的工作场所。 实施时应该秉持三个观念：能用的东西尽可能利用；以自己就是主人的心态对待企业的资源；切勿随意丢弃，丢弃前要思考其剩余之使用价值。 节约是对整理工作的补充和指导，在我国，由于资源相对不足，更应该在企业中秉持勤俭节约的原则。 三、7S的适用范围 各企事业和服务行业的办公室、车间、仓库、宿舍和公共场所以及文件、记录、电子本档，网络等的管理。 生产要素：人、机、料、法、环的管理；公共事务、供水、供电、道路交通管理；社会道德，人员思想意识的管理。 7S现场管理法: 7S活动起源于日本，并在日本企业中广泛推行，7S是整理(sort)、整顿(
