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1、“微纳电子技术”2008 年第 7 期专家论坛P373-具有核/壳结构的纳米复合高频软磁材料纳米器件与技术P380-射频功率 Trench MOSFET 研制P383-大功率激光二极管阵列正向特性研究纳米材料与结构P387-VO2 热色智能玻璃研究进展P392-静电纺丝制备复合纳米纤维研究进展MEMS 器件与技术P397-芯片上叉指电极介电电泳的模拟与实验研究P403-Parylene 薄膜及其在 MEMS 中的应用P411-基于声表面波技术的数字微流体微加热器研究P416-电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究显微、测量、微细加工技术与设备P419-nA 级电流检测电路和抗干扰技术研究P42
2、3-钝化处理在消除多晶 Si 薄膜缺陷中的应用微电子器件与技术P428半导体激光器焊接的热分析专家论坛P373-具有核/壳结构的纳米复合高频软磁材料钟伟，汤怒江，靳长清，都有为（南京大学 固体微结构物理国家重点实验室，江苏省纳米技术重点实验室，南京210093）摘要：具有核/壳结构的复合纳米材料兼有外壳层和内核材料的性能，由于其结构和组成能够在 nm 尺度上进行设计和剪裁，因而具有许多独特的光、电、磁、催化等物理与化学性 质。 简要介绍了实验室在过渡金属纳米复合高频软磁材料研究方面的最新进展，内容包括：绝缘壳层（如 SiO2、Al2O3、CSiO 2 等）复合材料，能显著改善过渡金属纳米颗粒的
3、热温度性，有效防止氧化和团聚，具有饱和磁化强度高、高频软磁性能优异的特点；半导体壳层（如 ZnO）复合材料，研究了材料的光致发光性能，观测到在 ZnO 材料中较少出现的 700 nm 发光峰；螺旋碳纳米管与 Fe 组成的复合材料，实验结果表明该复合材料具有良好的高频吸波性能，有望成为新一代轻质高频吸波材料。关键词：核/壳结构；复合纳米材料；软磁；高频；螺旋碳纳米管纳米器件与技术P380-射频功率 Trench MOSFET 研制苏延芬，刘英坤，邓建国，胡顺欣，冯彬，董四华（中国电子科技集团公司 第十三研究所，石家庄 050051）摘要：在国内首次研制出了一种采用条状元胞结构、特殊的栅槽刻蚀条件
4、、特殊的栅介质生长前处理工艺及多晶硅栅的射频功率 Trench MOSFET 器件。 该器件漏源 击穿电压大于 62 V、漏极 电流大于 3.0 A、跨 导大于 0.8 S、阈值电压 23 V、导通电阻比同样条件的VDMOS 降低了 19%43%，在 175 MHz、VDS=12 V 下输出功率PO 为 7 W、漏极效率 D 为 44%、功率增益 GP 为 10 dB。关键词：Trench MOSFET；导通电阻；沟道密度；垂直沟道结构；饱和压降P383-大功率激光二极管阵列正向特性研究杨红伟，张世祖，陈玉娟，家秀云（中国电子科技集团公司 第十三研究所，石家庄 050051）摘要：大功率激光二
5、极管阵列的正向特性失效问题严重影响器件的成品率和可靠性。对典型的失效现象进行了分类，确认了主要的失效现象是正向漏电。结合分阶段测试统计和对失效样品的显微分析，确定了造成激光二极管漏电的主要工艺环节以及工艺过程中机械损伤造成二极管漏电的机理。基于分析结果，改进了芯片结构设计和芯片工艺夹具。对改进后的芯片进行了统计实验验证，结果表明，激光二极管阵列的正向漏电问题得到基本解决，正向特性成品率从 60%提高到 90%以上。关键词：大功率激光二极管；正向漏电；解理纹；保护区；成品率 纳米材料与结构P387-VO2 热色智能玻璃研究进展何云富 1，徐刚 2,朱俊 1，陈德明 2，王春平 1(1. 四川大学
6、物理科学与技术学院，成都 610065；2. 中国科学院广州能源研究所可再生能源与天然气水合物重点实验室，广州 510640)摘要：二氧化钒（VO 2）是一种受人关注的热致变色材料，在 68 时发生从半导体相-金属相的转变，且相变可逆。在介 绍智能玻璃在建筑节能中潜在应用的基础上，重点阐述了 VO2纳米薄膜应用于智能型节能玻璃的国内外研究进展。较全面地论述了利用光学减反射技术提高 VO2 智能玻璃可见光透过率的技术现状。总结了 VO2 智能玻璃在实际应用中存在的技术难点：节能效率偏低、薄膜沉积温度高、外观颜色不美观、保温性能上的缺陷等。展望了 VO2 智能玻璃的研究与应用前景。关键词：二氧化钒
7、；热致变色；智能玻璃；节能；减反射技术P392-静电纺丝制备复合纳米纤维研究进展王璐璐，佘希林，袁芳(青岛大学 化学化工与环境学院，山东青岛 266071)摘要：静电纺丝技术近年来在制备纳米纤维领域得到广泛应用，目前已成功制备出多种不同类型的纳米纤维, 尤其在制备复合纳米纤维方面取得了显著成果，被认为是制备纳米纤维最有效的方法之一。总结了静电纺丝技术制备纳米纤维, 特别是制备复合型纳米纤维方面的最新研究报道，如天然高分子复合纳米纤维、聚合物复合碳纳米管纤维、聚合物复合金属纳米纤维、共聚物纳米纤维以及无机复合纳米纤维等。静电纺丝纳米纤维将在生物医药、电子光学、制备复合材料等多个领域得到广泛应用。
8、关键词：静电纺丝；纳米纤维；复合结构；高分子复合；聚合物基复合MEMS 器件与技术P397-芯片上叉指电极介电电泳的模拟与实验研究曹军 a，洪芳军 a，陈翔 b，郑平 a(上海交通大学 a.机械学院微流与热控研究中心; b.微纳米技术研究院，上海 200240)摘要：分析了影响常规介电电泳过程中粒子所受介电电泳力的因素和发生正、负向介电电泳的条件。经过合理的简化和假设，建立了一个芯片微通道中常规介电电泳的二维数学模型。数值计算结果给出了微通道中的电势和电场强度分布，并根据场强分布预测了粒子发生正向介电电泳时最容易被吸附的位置。利用微加工工艺，在硼硅酸（Pyrex）玻璃表面沉 积 了叉指型结构的
9、复合金属电极, 并用聚二甲基硅氧烷 (PDMS)制作了具有微通道的盖片, 两者键合形成芯片。以溶解有聚苯乙烯(polystyrene, PS)粒子的 KCl 溶液为操作悬浮溶液进行了粒子正向介电电泳实验，实验结果与理论分析具有较好的吻合。关键词：微流控芯片；常规介电电泳；微通道；叉指电极；数值分析P403-Parylene 薄膜及其在 MEMS 中的应用王亚军，刘景全，杨春生，沈修成，郭忠元（上海交通大学 微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海 200030）摘要：介绍了聚合物 Parylene，包括其制备工艺和 Parylene 薄膜的图
10、形化。着重介绍了 Parylene 在微流体系统的应用，包括微阀、微泵和微通道；在可植入微系统中的应用，包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明，基于 Parylene 的 MEMS 微器件广泛应用在各种MEMS 微结构、微传感器和微驱动器上，Parylene 在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。关键词：聚对二甲苯；微阀；微泵；微通道；人工耳蜗；视网膜假体；微机电系统P411-基于声表面波技术的数字微流体微加热器研究章安良，刘尉悦，蒋志迪，费景臣（宁波大学 信息学院，浙江宁波 315211）摘要：设计了在 128 旋转 Y 切割 X 传播方向 LiNbO3 基片上研制了数字微流体微
11、加热器。它由压电基片上两个叉指换能器构成，当由功率放大器放大后的射频电信号加到叉指换能器时，其激发的声表面波经微流体后转化为径向表面波，并辐射入微流体达到加温效果。停止加电信号后，微流体能量向外界辐射迅速降温。采用 2 L 的甘油微液滴进行升温实验，结果表明：微流体温度变化由外加电信号强度和持续时间决定，在电信号强度为 19 V 时，微流体的温度上升速率为 1.5 /s，与理 论 6.2 /s 结果基本相符。关键词：声表面波；数字微流体；叉指换能器；微加热器；反射栅P416-电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究曾庆丰 1，邓永和 2（1. 贵州大学 理学院，贵阳 550003；2. 湖南工程
12、学院 数理系，湖南湘潭 411104）摘要：在 WO3 粉体材料中加入一定 质量比的添加剂(Pt、Pd、PtO2、PdCl2、SnO2、SiO2、Al2O3)，恒温 600 烧结 1 h 制成旁热式厚膜乙醇气体敏感元件。采用静态电压测量法，研究了元件的加热电压与元件灵敏度 的关系以及添加剂对元件的响应与恢复时间的影响。实验结果表明：乙醇的气体体积分数为 10-3，WO3 元件掺入质量分数为 0.5%的 PdCl2,在加热功率为 600 mW 下元件的响应与恢复时间分别为 9.0s 和 11.0s，与纯 WO3 元件相比元件的灵敏度提高了约 8 倍。关键词：乙醇气体敏感元件; 灵敏度; 添加 剂
13、; 电化学；响应与恢复时间显微、测量、微细加工技术与设备P419-nA 级电流检测电路和抗干扰技术研究林伟，付昌伟（武汉理工大学 自动化学院, 武汉 430070）摘要：nA 级电流检测电路是扫描隧道显微系统的重要组成部分。为更准确地提取和测量隧道电流信号，设计了一种基于高精度运放的nA 级电流放大和检测电路， 检测电路根据反 馈电流放大型测量原理设计。为减小噪声干扰、提高测量结果的稳定性，采用分散放大倍数的两级放大电路设计，根据所要消除的噪声特点在测量电路中加入了带阻滤波电路，并针对电路板设计和制作过程采用了一些硬件抗干扰措施，同时在软件设计中加入数字滤波算法，以减少高频噪声干扰。实验表明，
14、电路测量精度到达 0.1 nA，测量系统的动态响应特性良好，且具有较强的抗干扰能力。关键词：数字滤波；抗干扰；纳安级电流；I/V 变换；两级放大P423-钝化处理在消除多晶 Si 薄膜缺陷中的应用王侠，张雷，马蕾，彭英才(河北大学 电子信息工程学院，河北保定 071002 )摘要：介绍了消除多晶 Si 太阳电池薄膜中缺陷的各种钝化方法，主要包括利用氢等离子体、SiNx H 薄膜、 Se 单原子层、二元(Al 2O3)x(TiO2)1-x 合金、 SiO2/Si/SiO2 量子阱以及湿法化学反应所实现的对缺陷进行有效钝化处理等方法；基于本研究领域的最新进展，对各种方法的优缺点进行了分析归纳。指出
15、 H 钝化可 获得较好的钝化效果，但在后续热处理过程中，SiH 键会由于温度 过高而断裂，致使氢离子离开表面而使钝化效果变差；SiNx H 氮化物薄膜可以有效阻挡氢的外扩散，保持钝化效果的稳定性，还可以起到对光的减反射作用。研制具有较低的光反射率、非平衡载流子的高收集效率以及低界面态密度的薄膜和提高薄膜的机械强度是当前科学工作者应该关注的课题。关键词：多晶硅；钝化处理；光伏特性；晶粒间界；缺陷微电子器件与技术P428半导体激光器焊接的热分析王辉，王德宏(中国电子科技集团公司 第十三研究所，石家庄 050051)摘要：为了解决大功率半导体激光器的散热问题，利用有限元软件ANSYS，采用稳态热模拟方法，分析了半导体激光器内部的温度分布情况，对比分析了 In、SnPb、AuSn 几种不同焊料烧结激光器管芯对激光器热阻的影响。由模拟结果可见，焊料的厚度和热导率对激光器热阻影响很大，在保证浸润性和可靠性的前提下，应尽量减薄焊料厚度。另外，采用高导热率的热沉材料和减薄热沉厚度可有效降低激光器热阻。在这几种焊接方法中，采用 In 焊 料 Cu 热沉焊接的激光器总热阻最小，是减小激光器热阻的最佳选择。通过光谱法测出了激光器热阻，验证了模拟结果，为优化激光器的封装设计提供了参考依据。关键词：大功率半导体激光器；焊料；热模拟；热阻; 光谱法
