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1、旋转小臂VEXTA 日本东方步进电机 5 相 相序（黑 白 蓝 棕 红）0.75A 8 0.72/STEPENCODER 500P/R DC5V 0.08A 输出 0-400mv 脉冲白 +5V 黑 0V红 A绿 B 减速器 速比 1:16总速比 1:16 臂长：111.3*111.3*60 mmL=2*111.3*COS(90-)旋转大臂VEXTA 日本东方步进电机 5 相 相序（黑 白 蓝 棕 红）0.75A 8 0.72/STEP KAMO 减速器 速比 1:9COPAL RE30D-500 接触式增量编码器 输出 0-400mv 脉冲RED 5-12VBLACK OVWHITE AGR
2、EEN BYELLOW Z总速比： 1:18上升系统VEXTA 日本东方步进电机 5 相 相序（黑 白 蓝 棕 红）1.4A 4.6 0.72/STEPmagnetic brake(电磁制动器) DC24V 0.17AROTARY ENCODER MXE302C 250U 编码器 输出 0-400mv 脉冲WHITE +5VBLACK 0VRED AGREEN B丝杆螺距： 10MM总速比： 5:4Sharp GP1A15 槽型开关 4.5-17VYamatake Honeywell FE5F-1MC6 位置传感器 Brown DC10-28V;black NPN OUTPUT;blue 0v
3、SMC SOLENOID VALVE VK332V(电磁阀)Press -101.2KPA-0.1MPA DC 24VCOPAL PRESSURE SWITCH(压力传感器)Red 12-24vBlack common(0v)White switch output(28v 80mA max)Pressure range GAUGE 0-1KG/CM2（98KPa）(0.98Bar) 1 2 3 4 5CN1 电磁制动器 +24V 0VCN2 电磁阀 +24V红 0V黑CN3 小臂电机 蓝 红 白 棕 黑CN4 大臂电机 蓝 红 白 棕 黑CN5 上升电机 蓝 红 白 棕 黑CN6CN7 散热风
4、扇 +24V红 0V黑CN8 压力传感器 +24V红 0V黑 输出 白CN9CN10 位置传感器 +24V棕 OV蓝 输出 黑CN11CN12 小臂编码器 +5V 白 0V黑 A 红 B 绿CN13 小臂槽型开关 +5V红 0V黑 蓝 黄CN14 大臂编码器 +5V红 0V黑 A 白 B 绿CN15 大臂槽型开关 +5V红 0V黑 蓝 黄CN16 上升编码器 +5V白 0V黑 A 红 B 绿CN17 上极限槽型开关 +5V红 0V黑 蓝CN18 下极限槽型开关 +5V红 0V黑 黄CN19CN20CN21项目名称：多轴直接驱动晶圆输送真空机器人 (2007至今) 项目来源：国家重大专项，上海市
5、科委，企业委托 负责人：刘品宽 项目金额：3000 万 最新进展：研制了基于磁力耦合器真空机械手原型样机；设计了基于真空大间隙直驱电机的四自由度真空机械手。 项目介绍 以面向大规模集成电路前端装备，如等离子刻蚀机、等离子注入机、CVD、PVD 等整机装备中的核心部件，即以多轴直接驱动晶圆输送真空机器人系统的关键技术突破与原型系统产业化为目标。重点突破以下四个关键技术：a)磁力耦合动态密封技术；b)多轴同轴直接驱动与定位技术；c)高真空与高洁净环境下精密伺服控制技术；d)机械臂新构型的研究。研究内容 磁力耦合动态密封技术； 多轴同轴直接驱动与定位技术； 高洁净度和高真空机械臂的新构型的研究； 开
6、发一套新型的多轴直接驱动的真空机器人原型系统，并进行性能测试评估； 高真空与高洁净环境下精密伺服控制技术的研究。关键技术 结构场、磁场、涡流场和应力场等多物理场耦合的磁性联轴器分析与优化设计； 多组磁性联轴器间磁场的耦合影响下多轴的精确、实时控制技术； 基于直接驱动的多轴真空机器人同轴布局的轴系设计； 适用于半导体行业的高真空高洁净环境的系统搭建。 承担相关课题：真空晶圆输送机械手的关键技术和系统研发（上海市科委科技攻关计划，200万）；多轴直接驱动真空晶圆输送机器人系统的研究（浦江人才计划，25 万）；磁力耦合关键部件及单轴真空机器人原型系统的研发（与中微半导体公司合作项目，10 万美金）。
