微电子工艺实验报告

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1、为了适应公司新战略的发展,保障停车场安保新项目的正常、顺利开展,特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划微电子工艺实验报告实习报告专业:微电子学年级:XX级姓名:xx学号:xxxxxxxxxxxxx微电子学是研究在固体材料上构成的微小型化电路、电路及系统的电子学分支。微电子专业主要研究电子或粒子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它来实现一定的信号处理功能。微电子是一门综合性很强的边缘学科,包括半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;涉及电磁学、量子力学、热力学与统计物理学、固体物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试和加工、化学等诸

2、多领域。自摩尔定律提出以来,微电子领域一直如神话般按其所预言的规律不断发展。微电子行业的进步使计算机的计算能力成倍增加,硬件成本大幅度降低,极大地推动了信息产业和工业的发展,是现代信息业和工业的基础。微电子专业主要培养掌握集成电路、微电子系统设计、制造工艺及设计软件系统,能在微电子及相关领域从事科研、教学、工程技术及技术管理等工作的高级专门人才。德才兼备的大学生不仅需要广泛的通识教育、扎实的专业理论功底,更需要理论与实践相结合的正规化训练。学校和学生个人都有义务和责任将大学生培养成为既有理论知识、又有实际动手能力的综合型人才。实习是绝大多数大学生必须参与的一项实践教学环节,通过或长或短的实习,

3、学生可以更深入地了解本行业各岗位的工作性质,及该领域的发展状况和发展方向,以便能结合自己的能力特点和兴趣爱好,尽早寻找到适合各人的工作定位,为自己制定更长远、更细致的职业规划。另外,学生在实践过程中也更易于懂得如何将理论知识与具体实际相结合,做到学以致用,不断提升自己的创造能力。在大学生活接近尾声的时候,我们也迎来了本专业的毕业实习,实习地点为北京,共历时三日。在学院教师与辅导员的带领下,我们班同学于5月25日下午抵达北京。短暂的休息后,次日正式开始实习。5月26日上午,参观北京京东方半导体有限公司。据悉,该公司为京东方科技集团股份有限公司的集团企业之一。京东方科技集团股份有限公司前身为北京电

4、子管厂,经多年的努力,京东方现已发展成为中国知名的显示技术、产品与解决方案的题供商,中国大陆显示领域最具综合实力的高科技企业,营销和服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要地区。京东方的主要业务包括显示器业务、显示系统业务、能源与环保业务、电子材料业务、科技商务园区业务。而北京京东方半导体有限公司的主要经营范围为大、小功率高频晶体管,半导体零件,金属零件,功放模块等,覆盖民用、商用、军用多个等级。工作人员分批次带领同学们参观晶体管测试区,为同学们讲解晶体管测试的工序及不同等级要求的差异。首次参观半导体公司,同学们兴趣盎然,大家都踊跃提问。5月26日下午,参观北京燕东微电子有限公司。燕东微电子公司是一家

5、专业化的半导体器件芯片设计、制造、销售的高科技企业。该公司是生产半导体芯片的前道工序生产厂家。此次参观,我们从介绍人员处学习到二极管的生产工艺,二极管生产工艺包括焊接、酸洗、模压、印字、外拣、刷检、包装等,每一道工序又包含多道操作流程。焊接工艺目的是利用焊片通过一定温度,使芯片与金属引线连接,形成欧姆接触角;酸洗工艺是利用各种酸和水,对芯片P-N结周围边缘表面进行化学腐蚀,以改善机械损伤,祛除表面吸附的杂质,降低表面电场,使P-N结的击穿首先从体内发生,以获得与理论值接近的反向击穿电压和极小的表面漏电流;模压工艺使管芯片与外界环境隔离,避免有害气体侵蚀,并使表面光洁和具有特定的几何形状,起到保

6、护管芯、稳定表面、固定管芯内引线,提高二极管机械强度;印字工艺先辨别极性,再将电性分类,标示信号和商标;外拣将外观不良品捡出,防止电性合格而外观不合格的产品流入客户处;刷检则是对二极管电性做再次确认,提高器件的可靠性;包装工艺按标准或要求对经过分类包装的产品进行产品包装,起到便于储存和运输的作用。在工作室的实际操作中,一些工序由机器自动完成,工序之间需要人工操作,而某些工序也由机器自动完成工序间的衔接,如刷检与包装工艺。5月27日上午,参观中国科学院半导体研究所。半导体所在半导体科学的基础研究和高新技术研究与产业化方面,取得了大量的重要成果,培养了一批又一批优秀科技人才,为我国科技事业的发展、

7、国民经济和国防建设做出了重要贡献。研制出中国第一只锗晶体管、硅平面晶体管、半导体固体组件;研发出第一根锗单晶、硅单晶、砷化镓单晶;制造出第一台硅单晶炉、区熔炉;取得一系列重大原创性成果。改革开放后,半导体所逐渐发展成为集半导体物理、材料、器件及其应用于一体的半导体科学技术的综合性研究机构。在这里我们了解到半导体的研究前沿和科学巨匠,也实际观看了砷化镓晶体的拉晶过程,以及一些先进的半导体工艺设备。5月27日下午,参观中国科学院微电子研究所。中科院微电子所的前身是成立于1958年的中国科学院109厂,1986年中国科学院半导体研究所微电子学部加入,合并为中国科学院微电子中心,XX年正式更名为中国科

8、学院微电子研究所。主要研究方向有硅器件及集成技术、微细加工与新型纳米器件集成、微波电路与化合物半导体器件、集成电路设计与系统应用等。在五十多年的发展历程中,中科院微电子所先后为我国第一台锗晶体管计算机、我国第一台硅晶体管计算机、我国第一颗人造卫星“东方红”提供了半导体晶体管。取得丰硕的成果,为中国微电子技术的进步与产业的发展做出了重要贡献。此参观期间给我留下深刻印象和具有深远影响的是陈宝钦研究院的一场持续两小时的报告。陈教授在微光刻与电子束光刻技术方向整整工作了四十年,他告诉我们:“做好每一件简单的事,就是不简单;做好每一件平凡的事,就是不平凡”。陈教授几乎终身专注于微光刻与电子束光刻技术,但

9、他也对很多事物都充满兴趣。从陈教授的报告中很容易感受到他对工作和生活都充满激情,他以身践行“做好每一件简单事则不简单”的人生哲学。5月28日上午,参观北京晨晶电子有限公司。北京晨晶电子是七星华创股份有限公司的子公司,主要生产和研发各类型的石英晶体谐振器、振荡器和滤波器,产品广泛应用于载波通讯、导航控制、卫星通讯、数字仪表和计算机等各种航天及国防电子设备和仪器中。晶振从功能上可分为无源晶振和有源晶振,无源晶振只是个石英晶体片,使用时需要匹配相应的电容、电感、电阻等外围电路才能工作,精度比有源晶振低,但它不需要电源供电,一般为二管脚封装;有源晶振内部含有石英晶体和匹配电容等外围电路,精度高、输出信

10、号稳定、不需要设计外围电路,一般为四管脚封装。石英晶振是利用石英片的压电效应,石英片的机械形变振幅较小,晶体振动频率比较稳定,当外加交变电压的频率和晶体的固有频率相等时,机械振动的振幅急剧增加。石英晶体以机械强度高、物理化学性能稳定、内损耗低等优点被广泛用于频率控制和频率选择电路中。石英晶体谐振器由石英片、电极、基座、上盖、导电胶组成。石英晶片的制作一般需经过如下工艺流程:定角、切断、粗磨、角度分频、大方片切割、细磨、线切割、尺寸研磨、浸蚀、频率分频、最终检验。5月28日上午,参观完晨晶电子,随后又参观了七星华创电子股份有限公司旗下的微电子分公司。七星电子是一家以集成电路制造工艺技术为核心、以

11、大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主管业务,集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。七星电子是中国电子专用设备协会理事会长及中国电子元件协会副理事长单位,具备一流的生产环境、加工手段和检测仪器,是中国最大的电子设备生产基地和高端电子元器件制造基地。七星电子拥有世界上较为先进的千级净化厂房和百级装配室,具有国际水平的美国MKS、DHI等系列标准,现在,公司产品已广泛应用于半导体、真空、太阳能、TFT、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空、电力等行业。二十一世纪是信息时代,微电子学无可厚非是信息产业的基础,微电子的迅猛发展带给人类巨大的便利,也带来了巨大的经济利益。虽

12、然基于经典计算的计算机芯片很快就要达到物理极限、传统的摩尔定律就快要失效,但微电子对人类生产力、推动科学技术发展所起的重要作用将被后人永远铭记。在此次短暂的实习中,我学习了解到晶体管、二极管的生产工艺、直拉法生产单晶硅的工序、石英晶片的制造及检测工艺等。也见到一些先进的工艺设备,如直拉单晶炉、电子束光刻机等。我了解到半导体行业的工作环境和工作职责,通过与工作人员的交流,我也意识到掌握扎实的理论知识在科技创新中的重要性,踏实工作、注重掌握先进技术对一位优秀的工作人员至关重要。最后要感谢学校和相关单位能为我们提供这次宝贵的实习机会,感谢带队的老师、辅导员以及各公司细心讲解的员工。实验一加工方法及加

13、工装备的归纳与调研一车削加工1.车削概述在车床上,工件做旋转运动,刀具做平面直线或曲线运动,完成机械零件切削加工的过程,称为车削加工。其中工件的旋转为主运动,刀具的移动为进给运动。车削适合加工回转零件,其切削过程连续平稳,可以加工各种内外回转体表面及端平面。所用刀具主要是车刀,还可以用钻头,铰刀,丝锥,滚花刀等。图车削加工主要应用范围车削加工的尺寸精度较宽,一般可达it12it7,精车时可达it6it5。表面粗糙度ra数值的范围一般是2.车床的组成车床的种类有很多,主要有卧式车床,立式车床,转塔车床等。我们这次实验主要调研了ca6140a型卧式车床图卧式车床基本机构1-床头箱;2-进给箱;3-

14、变速箱;4-前床脚;5-溜板箱;6-刀架;7-尾架;8-丝杠;9-光杠;10-床身;11-后床脚图卧式车床基本机构12-中刀架;13-方刀架;14-转盘;15-小刀架;16-大刀架车床的基本结构如图所示。车床附件主要有三爪卡盘,四爪卡盘,顶尖,中心架和跟刀架等。二铣削加工1.铣削概述在铣床上用铣刀加工工件的工艺过程叫做铣削加工。铣削时,刀具作快速的旋转运动为主运动,工件作缓慢的直线运动为进给运动。铣削主要用于加工各种平面,沟槽和成形面等,还可以进行分度工作,以及钻孔和镗孔。图铣削加工的应用范围铣削可分为周铣和端铣,用端齿刀的端面刀齿加工平面称为端铣法,用圆柱铣刀的圆周刀齿加工平面称为周铣法,周

15、铣又有逆铣法和顺铣法之分。逆铣时,铣刀的旋转方向与工件的进给方向相反;顺铣时,则铣刀的旋转方向与工件的进给方向相同。铣床的加工精度一般为it9it8;表面粗糙度一般为m。3.铣床的组成铣床种类很多,常用的有卧式铣床、立式铣床、龙门铣床等。我们这次实验主要调研了xk6125型卧式万能铣床图卧式铣床基本机构1-床身2-电动机3-变速机构4-主轴5-横梁6-刀杆7-吊架8-纵向工作台9-转台10-横向工作台11-升降台铣床的基本结构如图所示,工作台可沿横,纵,垂直三个方向移动。主轴可根据需要通过机械结构转变为垂直于工作台。铣床的附件主要有分度头、平口钳、万能铣头、和回转工作台等。三磨削加工1.磨削概述在磨床上用砂轮作为切削工具,对工件表面进行加工的方法称为磨削加工。磨削加工是零件精加工的主要方法之一。它的应用范围很广,可以磨削难以切削的各种高硬超硬材料。外圆常用的方法有纵磨法、横磨法和综合磨法。平面磨削常用的方法有周磨和端磨。2.磨床的组成磨床可分为万能外圆磨床,普通外圆磨床,内圆磨床,平面磨床等。我们这次实验主要调研了m7120卧轴矩台平面磨床。图平面磨床基本结构1驱动工作台手轮2磨头3滑板4横向进给手轮5砂轮修整器6立柱7行程挡块8工作台9垂直进给手轮10床身篇二:工艺实验报告贵州大学实验报告微电子工艺实验报告实验课程名称:微电子工艺实验日期:X

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