京东方洁净技术培训

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1、京东方集团 B3 QA,洁净间管理,目录,基本概念 洁净技术 Clean room 基本概念 洁净室的分级 洁净室的类型和高效空气过滤 洁净室内的服装要求 惰性粒子的来源与传播 不同洁净级别的服装选择 洁净服的面料 洁净服的清洗和更换 口罩和手套 洁净室的清洁 洁净室的清洁方法 清洁效果测试 Smock room 出入行为规范 Smock room 出入的一般规定 Smock room 入室/出室顺序 无尘服穿戴顺序 Clean room 内禁止事项,Line Patrol,* Line Patrol概述 * Line Patrol中的基本概念 * Line Patrol Flow * NCR

2、 发行流程 * Line Patrol标准,基本概念-什么是洁净室技术？,凡是能将空气悬浮粒子（气溶胶）计算浓度保持在一定范围的房间，或在必要时，将空气微生物的数量保持在一定范围内的房间，可称作洁净室或洁净房 (如)手术室， 制药厂,半导体,电子材料制造厂, LCD制造厂等 粒子？粒子是固体、液体、多相物质或微生物，大小为0.005100微米。现在对洁净室分级时，一般以0.10.5微米的下限粒径粒子为准。肉眼可见的粒径大约 50m。,基本概念-Clean Room是什么?,粒子？,人发直径 100m,可见粒子 50m,0.5m的粒子 你看见了吗？,基本概念-洁净室分级标准,洁净室分级标准 19

3、61年美国空军于颁布第一个专为洁净室撰写的标准称为“技术手册（T.O.）00-25-203”。 1963年 发明单向流理念的圣地亚公司 撰写了第一个FS209 标准，成为包括ISO 14644-1在内的大多数国际标准的基础。 1999年国际标准化组织出版了洁净室的系列标准ISO 14644-1。 美国在2001年废纸FS 209E开始实施ISO 标准，俄罗斯 于2000年开始实施ISO 标准。,尘埃浓度是衡量洁净效果的最直接、最重要的参数，通常称为洁净度。它是指单位体积的空气中含有大于0.5m规定为直径的尘埃数量。,基本概念-洁净室的分级,洁净室内的服装要求,1-惰性粒子的来源与传播途径： 人

4、员散发的粒子数量人与人之间差异很大，但人的活动越大散发的粒子就越多；还要看所穿着的服装。 散发粒子的范围一般是大于等于 0.5m的粒子几十万（活动状态）千万（剧烈活动）/分钟。 人大约每天脱落613g 粒子，一年约3.5kg。,人员散发的粒子及带微生物粒子的来源于途径,洁净室内的服装要求,粒子的来源与释放机制 皮肤：人体皮肤每天大约脱落10E9个皮肤细胞，皮肤细胞大小约33m *44m，以完整的皮肤细胞或细胞破损碎片形态脱落，大量皮细胞会散布到空气中，构成主要的悬浮污染源。,皮肤表面照片，线是细胞边缘轮廓，液滴是汗,棉布料显微镜照片（放大100倍） 表面有很多天然纤维断裂的片段,洁净服下的穿着

5、：天然纤维制作的服装（棉衬衣/棉衬裤/毛衣等）由于天然纤维短且易断裂会散发大量粒子。合成纤维制作的服装比天然纤维制作的服装少散发粒子 90%或更多.,洁净服：洁净服都是用聚酯、尼龙这样的合成纤维制造，不易断裂列，散发的粒子数量仅占人员散发的粒子数量的5%。,质量不佳的洁净服面料（线间当量孔径为80m100m），其阻止粒子穿透的功能甚微。因为单丝直径大且面料纺织不密实。,嘴与鼻子： 打喷嚏、咳嗽、说话时有粒子散发出来。,洁净室内的服装要求,洁净室内的服装要求,不同级别洁净室内服装的选择标准,Array/Cell line 应用,2-1-洁净服,2-1-1面料： 不易破损（起毛） 对洁净服下污染的

6、过滤能力 （可测量 空气穿透率、粒子滞留情况、微孔孔径） 最常用聚酯纤维，一次性洁净服使用高密度聚乙烯无纺合成纸面料。,单长丝聚酯纤维纺织面料,服装制作： 为防止面料的布边起毛，要包边或锁边或烫边或用激光剪彩。 为使污染达到最小，还要包缝。 为使污染达到最小，缝线应使用长的合成线。 为使掉落的粒子最少，拉链、扣子、鞋底不应破碎、断裂或被腐蚀，且要经受得住多次洗涤或消毒。 为防止尘埃聚集，服装上不得有口袋、折褶、尖褶、或尼龙粘扣。 为使污染达到最小，松紧袖口或紧袖口都不应包容粒子或有粒子从中脱落,用于较高标准的洁净室,洁净室内的服装要求,2-1-2洁净服的清洗和更换,多次使用的服装要在洁净室洗衣

7、房中实施，顺序如下：,洁净洗衣房流程图,在脏衣区分类,送入洗衣机 干洗或DI水洗,在转筒式干机中干燥,检验是否有小洞或破损,放入洁净袋中密封,包装发货,灭菌消毒（按要求选择性实施）,灭菌方法：加热、熏蒸、辐射 压力釜会使面料产生大量皱纹并使服装退化 气体（环氧乙烷）-毒性气体残留，须脱气处理。 伽马射线会使服装变色、损坏。 消毒剂会有微生物残留。,一般在叠衣区检验洁净工艺的有效性，使用美国材料测试学会（ASTM）的F61标准或滚筒式干燥机测试。可参考推荐准则IEST RP-CC-003,洁净室内的服装要求,换洗频度,一般生产工艺对污染越敏感，服装换洗频度越高。但在半导体工业的洁净室的条件最高，

8、洁净服可以一周换洗一次或一周换洗两次，而不会产生不良影响。 一般清洗40次后应该报废（BOEOT 26次）。面料经高压滚压，将面料压光，减少孔径，受压越重洗涤过程中越可能变松。 高压滚压面料清洗40次后 孔径从17.2m增加到25.5m； 受挤压轻的面料洗40次后 孔径从21.7m增加到24.6m。,洁净服抗静电要求： 在生产洁净服面料的时候，在面料内纺织夹有导电材料做成的连续导线。 选择面料的测试方法 测量电阻率或导电率电阻越低，面料越好，静电容易传导。 测量电压的衰减衰减时间越短，效果越好。 测量人员穿着洁净度活动时产生的电压,洁净室内的服装要求,2-2-口罩和手套口罩：人在大喷嚏、咳嗽、

9、说话时从嘴里喷出大量唾液沫；成分有盐分和细菌。必须戴口罩加以控制。最喷出的唾液粒子的粒径大小不一，从1m1000m。其中2m100m粒子及唾液占全部的95%。每毫升唾液一般含有不少于10E7个细菌，但并非喷出的所有唾液沫中都含有细菌。由于重力作用大粒子会迅速沉降，小粒子会变干汇入空气循环过程。 含水粒子的沉降时间 100m 的粒子沉降1米需要约3秒 10m 的粒子沉降1米需要约5分钟 粒子的干燥时间 1000m的含水粒子，水分蒸发需要3min 200m的含水粒子水分蒸发约7sec 100m的含水粒子水分蒸发约1.6sec 50m的含水粒子水分蒸发约0.4sec,洁净室内的服装要求,手套： 人的

10、手掌有成百万个皮肤粒子和细菌，还有油脂和盐分，为防止污染应戴手套。 洁净室的手套上不应有粒子、油脂、化学物质或微生物等。 手套使用过程中不应有破损 1mm的孔可透过大量细菌洗过的手2000 ea未洗过的手7000ea 对化学药品的耐受性和兼容性 使用低应变原的手套或带衬里的手套，降低人员对乳胶蛋白质的过敏可能性。 抗静电特性 湿手套的表面离子状况 接触转移特性 手套屏障的完整性 液体的穿透性 耐热性 排气特性 手套类型： 聚氯乙烯（PVC）手套-广泛应用在电子洁净室，但灭菌不理想。 乳胶手套-经纯水洗涤后可在ISO3/4级中使用。耐受性好可灭菌，贵。 其他聚合物手套-聚乙烯手套、氯丁橡胶手套、

11、聚氨酯手套、聚乙烯醇手套、高太克斯（Gore tex）手套等。 手套测试： 粒子测量 非挥发性残留物测量 粒子测量 对化学品的耐受性和兼容性测试 屏障材料强度试验 参见 IEST RP-CC005 推荐准则,打喷嚏时喷出的粒子,加速老化试验 静电放电试验 耐热试验 对液体穿透力的耐受实验 经表面接触的转移试验，放气试验。,洁净室的清洁 可参照美国环境科学与技术协会推荐准则 RPCC018：洁净室管理-运行和监测程序,- 要有下列意识：如果能够看到洁净室内有尘埃，则它就既不是一个洁净的室也不是洁净室，所以必须进行清洁。 我们所要清除的粒子和微生物肉眼是看不见的。即时洁净室看上去是洁净的，仍需对它

12、进行系统的彻底清洁。 对洁净室进行清洁时会产生很多粒子。为使清洁过程中产生的污染最小，空调系统要全部开动。 清洁人员应与生产人员穿戴同一标准的服装和手套。 清洁工作应该进行的比家里慢，这样可以使粒子的扩散最少，保证清洁效果。,- 粒子为什么会滞留在物体的表面？伦敦-范德威尔力，分子间的作用力； 静电吸附力-不同的洁净室其大小也不同，并于洁净室中使用的建筑材料息息相关。 第三种力是 湿法清洁后残留在物体表面的粒子会干燥，清洗液干燥后的残留物质会将干燥后的粒子站在物体的表面。,- 洁净室常用清洁方法：真空法（湿法或干法）； 湿擦拭（拖擦或湿擦拭）；（细纤维做成的抹布或拖布比块状固体材料的抹布清洁效

13、率更高。） 用粘轮粘。 （清洁效率取决于表面粘力的大小，良好的表面柔性可是粘轮与粒子表面接触的更好，提高效率。）,干法真空吸尘： 在一个布满粒子的玻璃表面，使用工业用真空吸尘器，大多数100m以上的粒子被清除了，但10m的粒子的去除率只有25%左右。,真空吸尘法：,干真空法的效率图,洁净室的清洁,湿擦拭： 使用拖布或抹布拖布应该使用不易破损的材料制成，例如 PVA/带孔发泡聚乙烯/聚氨酯纤维，这些材料对溶剂、消毒剂、灭菌的兼容性要测试，因为有的材料可能不合适。使用拖布的桶式拖地方法如下图所示。抹布（wiper）：对抹布的选择要根据洁净室的污染情况而定，现在还没有能清除表面上所有污染的完美麻布。

14、吸水性即吸水量和吸水速度，产生粒子量低和边缘状态好，“浸出物”少，主要注意 金属离子，其他特性纺织品强度/耐磨性/静电特性（干擦）/灭菌可参照IEST RP-CC004 标准测试,擦地板用拖布,粘轮：,擦墙用拖布,清洁方法:,将抹布折叠并蘸湿,用麻布擦拭表面，每一下擦拭过的地方要与上一下擦过的地方有重叠,在折叠抹布露出洁净的表面继续擦拭,用洁净水擦拭和（或）用真空吸尘器吸,对关键区域的清洁方法,对“外区”与“普通”区的例行清洁,用 真空吸尘消除大粒子/纤维/碎屑,将拖布浸入清洁液中,用拖布拖过表面，前后两次拖过的地方要有重叠,将拖布清洗后再浸入清洁液中然后再拖擦,清洁工作要从距离出口最远的地方

15、开始，避免再次污染,洁净室的清洁,清洁效果的测试方法,检查洁净室入口的粘垫 使用黑抹布或者白抹布擦过洁净室中给定的面积 用紫外线灯照射，可以发现发荧光的粒子和纤维。洁净服上的纤维即可被发现。 在黑暗的房间内，用强烈的灯光以某一适当的角度照射表面，可以看到小的粒子和纤维。 使用粘胶带粘在表面上再取下来，然后用显微镜测量参照美测试材料协会（ASTM）E 1216-87 使用粒子计数器 用直径为47mm的不带支撑栅格的膜与计数器相连，将给定面积之表面的粒子用真空吸起并加以计数。,更加详细的测试方法可以参考 美国环境与科学技术协会的 推荐准则 IEST-RP-CC018,洁净室的清洁,二次风淋,Arr

16、ay/Cell Clean Room Detail 入室方案,* Array/Cell Line对洁净度要求高(10/100/1000级),Smock Room管理B3计划采用二次风淋方式,并加强对洁净服的管理。,Array/Cell Clean Room Detail出室方案,穿手套,脱手套,* Module Line对洁净度要求较低(1000/10000级),Smock Room管理B3采用和B1 相同的管理方案.(一次风淋),入室,退室,Module Clean Room 出入室方案,Smock room 出入行为规范,说明：摘自公司文件S852-5001 QA line patrol

17、specification 和S838-5001,1.1 Smock Room 出入时的一般规定 1.1.1 出入Smock Room的人员要服从更衣室管理人员的安排，并应遵守更衣室的各项守则。 1.1.2 出入Smock Room 的职员应对个人物品的整理整顿及清扫上多加注意，以保持洁净室的整洁。 1.1.3 要保持对每个人洁净服的管理/清洁。 1.1.4 进入清洁室人员应注意个人卫生和公共卫生，脚有异味者，更衣室管理人员有权拒绝其进入。 1.1.5 发生异常状态时应报告给更衣室管理人员，以便迅速采取措施。 1.2 Smock Room 入室规定 1.2.1 把粘在鞋上的土、灰尘等污染物质去

18、除后才能入室。. 1.2.2 必须在 Smock Room 外脱掉鞋后入室。 1.2.3 鞋必须要放到自己的鞋柜里保管。 1.2.4 把鞋放整齐后必须关闭鞋柜门。 1.2.5 个人物品要保管在指定的地方，防止丢失。 1.2.6 换成容易穿 Smock的方便服后，工作服等衣物要挂到Hanger上。 1.2.7 不能在保管一般工作服的地方保管和穿戴 Smock, Headcover等Clean Garments 1.2.8 找到自己的无尘服后按 mask, head cover, 无尘服, 无尘鞋等顺序穿戴。( 参考 SMOCK 穿戴顺序 ) 1.2.9 穿戴时请参考穿戴无尘服的注意事项。 1.2.10 穿戴完后要在镜子前最后再确认一下穿戴状态。 1.2.11 进入风淋室前应先用DI水清洗手套，风干后才能进入。 1.2.12 通过风淋（Air shower）后进入 Line。1.2.12.1 遵守风淋室的定员及秩序。1.2.12.2 风淋时要去掉无尘服上的灰尘及所带入物品上的灰尘。,