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1、一、实验目的解扫描电镜的工作原理及构造。步学习Sirion200场发射扫描电镜濑作方法.j二次电子像对断口形貌进行观粹弯字鸟心一、扫描电镜的构造形应:*景深长、图像富有立体感;*图像的放大倍率可在大范围内连续改变,而东分辨率高;*样品制备方法简单,可劣范围大,便F观察;*样品的辐照损伤及污染程度较小;四垂觉多功能分析。二、扫描电镜的构造劣成:“电子光学系描线圈等;机械系统,“真空系统;*样品所产生统,包括电子枪、电磁透镜和扫包括支撑部分、样品室;信号的收集、处理和显示系统。二、扫描电镜的构造二、扫描电镜的构造图2扫描电子星循簪构造示意图(a)系统方框图D853J2z“一/芸-eraa丨aE一4
2、3rtssFsnsxk二、扫描电镜的构造第一最小交叉戳面30um4FAI12zlumn4emmm固定光阅一一一第一沥光镇一一-第二最小交叉截面=Sym4图2扫描电子星循缨柄cn埕孕水1其电子光路图竹一一第三再小又教面=0.3om4E未光陆FA孔径100um4电子探针0nn4二、扫描电镜的构造电子光学系统外招“电子枪*电磁棍光镜*扫描线国*光阑组件丈_扫描电镜的构造“的工行为了获得较高的信号强度和扫描像,电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。的电子枪有三种,普通热阴极三殴电子枪六砍化镧阮极电子枪和场发射电子枪,其性能如表1所示。二、扫描电镜的构造表1“几种类型电子枪性能比较振二晓顺李w7李&fte冉&acEEW张押(坤2001时J1|的Sxlol的5xioi的SxiolEEL的Sxolor为寸EIT0-0m-am育炎阮25166-68|66-68|a-6561i0n7IhaKTag一g酮吴EE芒动的5驯-刑-100矩闵隔交庞11吴T02招一aHfWR128702nini中IHnIoxIox1E2_EE殓废寞鬓衢慵!荃羞趸史|88fr-八籍ED梁闻转|俊闻林|战庞70
