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,晶硅切割液是以聚乙二醇为主体，添加多种助剂复配而成，具有适宜的粘度指标，有良好的流动性和热传导性，对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性和悬浮作用。,Edward,切割液简介,1,碳化硅对硅片的切割PEG起悬浮SIC和带走切割产生的热量在钢线高速运转时进行润滑在硅片表面形成保护膜带走切割产生的大量硅粉,Edward,切割液作用,2,Edward,废浆成分,3,PEG 水份约占1.5%NP.SIC 约占固体 68%SP.SIC 约占固体 10%Fe 粉 约占固体 5%SIC粉 约占固体 17%,Edward,废浆危害,4,PEG是一种难以生化处理的物质分子量越高，越难降解流入水体被微生物分解时消耗大量溶解氧水体严重缺氧，造成水污染,Edward,废浆回收工艺,5,利用沉降离心，化学清洗，絮凝过滤，精馏萃取，旋风分级等原理和方法，将废砂浆中杂质和水份去除，得到合格的切割液和碳化硅微粉，从而实现二次利用,Edward,废砂浆,搅拌,板框过滤（也有用离心分离和袋式过滤器）,废液,废渣,加药,沉降离心,配浆,滤液回用,固液分离,干燥分级,SIC微粉（出售）,一级过滤 （1-25um）,脱色 （活性碳过滤）,精密过滤,清液,离子交换,浓缩脱水,切割液（出售）,加添加剂SIC粉,Edward,回收企业概况,6,
