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1、http:/,TFT-LCD设计及制作（1）, 净化知识 防静电知识,资料整理：风淋室 风淋室厂家 净化设备 http:/,http:/, 净化知识 防静电知识,http:/,Clean room(净化间、无尘间、净房）,http:/,Cleanroom,http:/,净化间等级,无尘等级数值越小，净化等级越高。其数值代表尘埃浓度，亦称为洁净度，是用单位体积（每立方英尺或者每升）空气中所含的粒径大于等于0.5m的尘埃数量来衡量。亦有0.35m为粒经的标准无尘室。,http:/,http:/,净化间等级,通常无尘室对温度要求在223（ 212） ，湿度要求在555RH% （6010RH% ）。,
2、同时洁净室内的空气压力要比相邻非洁净室高25Pa，洁净度较高的室内压力比洁净度低的室内压力约高1015Pa。, 100级以下的无尘室一般为底回风，1000级以上为侧回风,http:/,一般净化间,http:/,百级净化间,http:/,净化间用品,http:/,脏污分类,http:/,典型脏污来源及举例,http:/,脏污介入和产生的渠道,净化间脏污,装配物料,工具设备,人体移动,工艺过程 残留物,http:/,脏污控制的基本原则,http:/,http:/,http:/,http:/,脏污预防的基本措施,http:/,http:/,http:/,http:/,http:/,http:/,ht
3、tp:/,http:/,http:/,http:/,http:/, 净化知识 防静电知识,http:/,防静电知识,一、静电，静电的产生；二、电子工业中的静电问题；三、静电防护操作要求四、静电防护器材；五、静电防护管理及常用标识,http:/,一、静电，静电的产生,什么是静电（static electricity）？,常见的静电现象：脱衣服时听到噼啪的声音、碰到门把手时手指发麻、梳头时头发飘起来 。,静电是一种处于静止状态的电荷 。,http:/,静 电,物质的组成：物质分子原子原子核电子 在自然状态下，物质处于电平衡的中性状态，即不带电。在静电学中称不带电物体为电的中性体。 在某种状态下，当
4、物质原子中的电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由中性状态改变为带电状态。,http:/,物体呈现带电的现象称为带电现象，它是一种自然现象。按照物体所带电荷的存在与变化状 态可分为动电（流电）相象和静电现象。,静电现象指相对于观察者而言，所带的电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。动电现象则与此相反。,在静电情况下，由于电荷静止不动或其运动非常缓慢，故它所引起的磁场效应较之电场效应来说可以忽略不计。,http:/,静电的产生,在日常生活中，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电 。 当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷如电子转移到另一个物体使其带正电，而另一个体
5、得到一些剩余电子的物体而带负电。 若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。所以物体与其它物体接触后分离就会带上静电。,http:/,摩擦起电: 在日常生活中，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的最普通方法，就是摩擦生电。材料的绝缘性越好，越容易是使用摩擦生电。另外，任何两种不同物质的物体接触后再分离，也能产生静电。,http:/,富兰克林 (Benjamin franklin,1706-1790)。摩擦后的玻璃棒带正电，而树脂带的电为负电。,http:/,为什么流动空气会产生静电呢？,因为气体也是由分子、原子组成，当空气流动时分子、原子也会发生“接触
6、分离”而起电。,所以可以这么说，在人们生活的任何时间、任何地点都有可能产生静电。要完全消除静电几乎不可能，但可以采取一些措施控制静电使其不产生危害 。,http:/,感应起电：,当带电物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电 。针对导电材料而言，因电子能在它的表面自由流动，如将其置于一电场中，由于同性相斥，异性相吸，正负电子就会转移。,http:/,感应静电起电,当带电物体A接近不带电物体C时 在导体C的a端和b端分别感应出负电和正电,A,+ + + + + +,C,a,一 一 一,+ + +,b,_ _ _ _ _,B,http:/,静电的产生,摩擦起电 感应起电 传导
7、起电：针对导电材料而言，因电子能在它的表面自由流动，如与带电物体接触，将发生电荷转移。,http:/,防静电知识,一、静电，静电的产生；二、电子工业中的静电问题；三、静电防护操作要求四、静电防护器材；五、静电防护管理及常用标识,http:/,二十世纪中后期静电危害震惊世界,美国从1960年到1975年由于静电引起的火灾爆炸事故达116起 1969年底在不到一个月的时间内荷兰、挪威、英国三艘20万吨超级油轮洗舱时产生的静电引起相继发生爆炸以后引起了世界科学家对静电防护的关注。 我国在石油企业发生了30多起较大的静电事故，其中损失达百万元以上的有数起。,http:/,工业生产中静电危害的形成,工业
8、发展的高速发展以及高分子材料的迅速推广应用，一些电阻率很高的高分子材料如塑料，橡胶等的制品的广泛应用以及现代生产过程的高速化，使得静电能积蓄到很高的程度。 另一方面，静电敏感材料的生产和使用，如轻质油品，火药，固态电子器件等，工矿企业部门受到静电的危害也越来越突出，静电危害造成了相当严重的后果和损失。,http:/,二、电子工业中的静电问题,集成电路元器件的线路缩小，耐压降低，线路面积减小，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电电场（Static Electric Field）和静电电流（ESDcurrent）成为这些高密度元器件的致命杀手。 同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用，导致产生静电
9、的机会大增。日常生活中如走动，空气流动，搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感，实际上，集成度高的元器件电路都很敏感。,http:/,静电对电子元件的影响,（1） 静电吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响产品的功能与寿命。 （2） 因电场或电流破坏元件的绝缘或导体，使元件不能工作（完全破坏）。 （3） 因瞬间的电场或电流产生的热，元件受伤，仍能工作，寿命受损。,http:/,静电损伤的特点：,1. 隐蔽性 人体不能直接感知静电，除非发生静电放电，但发生静电放电，人体也不一定能有电击的感觉。这是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV。 2. 潜伏性 有些电子元器件受到静电损
10、伤后性能没有明显的下降，但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患，而且增加了器件对静电的敏感性。已产生的问题并无任何方法可治愈。 3. 随机性 电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢？可以这么说，从一个元件生产后一直到它损坏以前所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性。由于静电的产生和放电都是瞬间发生的，及难预测和防护。,http:/,4. 复杂性 静电放电损伤分板工作，因电子产品的精细，微小的结构特点而费时、费事、费钱，要求较复杂的技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器，即使如此有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别，使人误把静电损伤失效当作其它失效，这是对静电放电损害
11、未充分认识之前，常常归咎于早期失效或情况不明的失效 ，从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。 5. 严重性 ESD问题表面上看来只影响了制成品的用家，但实际上亦影响了各层次的制造商，如：保用费、维修及公司的声誉等等。,http:/,ESD是什么意思,ESD是Electro Static Discharge“静电放电”的缩写。Electro Static Damage “静电破坏” 在20世纪中期以后，随着工业技术的迅速发展，ESD问题越来越受到人们的重视,http:/,不同湿度下各种操作时的人体电位,http:/,器件所能承受的静电电压,http:/,器件,人体静电电压,几百到几千伏,几千到几万伏
12、,http:/,生产产所中的静电危害源,http:/,电子工业哪些过程会产生静电危害,元件制造过程：切割、连线、检验 印刷电路版生产过程：储存、装配 设备使用过程：安装、试验 设备维修过程：拆卸、检验,从元件的制造、使用到维修的任一环节， 静电已成为电子工业的隐形的致命杀手。,http:/,小结,任何两个不同材质的物体接触后再分离即可产生静电。 摩擦的实质是一种接触分离过程。 当带电物体接近不带电物体时会感应静电。 大部分器件的静电破坏电压都在几百伏至几千伏，而在干燥的环境中人活动所产生的静电电压可达几千伏到几万伏。,静电危害的特点：隐蔽性、潜在性、随机性、复杂性。,http:/,防静电知识,一、静电，静电的产生；二、电子工业中的静电问题；三、静电防护操作要求四、静电防护器材；五、静电防护管理及常用标识,http:/,三、静电防护操作要求,（一）ESD防护的意义 1、减少损失（美国一年的损失200多亿美金，其中电 子工业的损失超过100多亿美金） 2、提高产品质量和可靠性 3、提高生产效率 4、静电防护回报达1：95以上,http:/,（二）静电防护主要有下列几点,1、尽量减少静电荷的产生 2、对已产生的静电荷尽快予以消除 3、最大限度地减少静电危害 4、严格静电防护管理，以保证各项措施的有效执行,
