传感器与检测技术——第六章 压电式传感器

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1、第六章 压电式传感器,第一节 压电效应第二节 压电材料第三节 压电元件常用结构形式第四节 等效电路与测量电路第五节 压电式传感器的应用举例第六节 压电式传感器的误差,第一节 压电效应,当某些物质沿某一方向施加压力或拉力时,会产生变形,此时这种材料的两个表面将产生符号相反的电荷。当去掉外力后,它又重新回到不带电状态,这种现象称为压电效应。有时人们又把这种机械能转变为电能的现象,称为“顺压电效应”。反之,在某些物质的极化方向上施加电场,它会产生机械变形,当去掉外加电场后,该物质的变形随之消失,这种将电能转变为机械能的现象,称为“逆压电效应”。,第一节 压电效应,压电晶体的压电效应可用下面的一般关系

2、式表达,压电元件的坐标系表示法,第一节 压电效应,各平面的电荷密度,第一节 压电效应,压电系数矩阵,石英晶体的压电矩阵为,第一节 压电效应,其它压电常数: (一)压电常数g,(二)压电常数h,(三)机电耦合系数K,第二节 压电材料,一、压电材料简介1压电晶体2压电陶瓷3压电材料的主要特性指标压电系数d:表示压电材料产生电荷与作用力的关系。一般为单位作用力下产生电荷的多少。单位为C/N。刚度H: 压电材料的刚度是它固有频率的重要参数。介电常数:这是决定压电晶体固有电容的主要参数,而固有电容将影响传感器工作频率的下限值。电阻R:它是压电晶体的内阻,它的大小决定其泄漏电流居里点:即压电效应消失的温度

3、转变点。,第二节 压电材料,第二节 压电材料,二、 石英晶体的压电特性,第二节 压电材料,三、 压电陶瓷四、其它压电材料,第三节 压电元件常用结构形式,(一)厚度变形(TE方式),(二)长度变形(LE方式),(三)面剪切变形(FS方式),(四)厚度剪切变形(TS方式),(五)弯曲变形(BS方式)(六)体积变形(VE方式),第三节 压电元件常用结构形式,(七)双晶片或多晶片,第四节 等效电路与测量电路,一、等效电路,第四节 等效电路与测量电路,二、测量电路(一) 电压放大器(阻抗放大器),第四节 等效电路与测量电路,第四节 等效电路与测量电路,(二) 电荷放大器,放大器输出端的电压为,又因(1+A)CFCC+C0,故,第五节 压电式传感器的应用举例,一、压电式加速度传感器,二、压电式压力传感器,第五节 压电式传感器的应用举例,第五节 压电式传感器的应用举例,三、压电式流量计,第五节 压电式传感器的应用举例,四、微重力压电晶体生物传感器,第六节 压电式传感器的误差,一、环境温度的影响二、湿度的影响三、横向灵敏度和它所引起的误差四、电缆噪声五、接地回路噪声,总结,

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