硅片电镀线切片:断线分析

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1、电镀线切片断线分析,LOREM IPSUM DOLOR,一、金刚线主要参数,金刚石颗粒选择,电镀钻石线主要参数要求,电镀钻石线使用要求,二、切割过程中的断线情况分析及处理,断线原因的归纳,断线原因,断线形式,放线断线,收线断线,现网断线,断线原因的归纳,钢线 强度偏低 原因: 钢线在生产过程中热处 理工艺出现波动。 断口:过载径缩断, 检测未使用 的钢线发现强度在标准范围外,断线原因的归纳,钢线 钢线夹杂物 原因:在钢线生产过程中混入杂质 断口:有夹杂颗粒存在,断线原因的归纳,钢线 钢线表面缺陷-裂丝 原因:在钢线生产拉拔过程中对钢线表面损伤 断口:表面裂纹或分层 钢线表面缺陷-凹坑 原因:钢

2、线在搬运过程中磕碰生产钢线表面损伤 断口:表面凹陷,断线原因的归纳,钢线 工字轮变形 原因:工字轮强度不足以支撑钢丝压力引起变形, 并造成钢线排线松动或夹丝 特征:过载颈缩断, 放线侧工字轮靠近法兰边处排线松动, 严重时工字轮明显变形。 解决方案:在切割前仔细检查工字轮是否变形, 切割过程中要注意跟踪钢线的跳动是否有异常,断线原因的归纳,钢线 压线 原因:钢线厂家排线过程中偏差或运输途中外力造成放线压线断线。 特征:过载颈缩断, 通常容易伴随切割线痕, 切割后废线呈卷曲状。 解决方案:使用前认真检查放线轮排线情况。,断线原因的归纳,钢线 钢线夹杂物 原因:字轮上有凿伤痕迹或有毛刺,放线时钢丝被

3、刮在其上引起断丝(收线侧工字轮若有毛刺则会引起收线侧断丝) 特征:位置出现在放线侧(或收线侧)过载颈缩断或斜切式断裂,断线原因的归纳,设备 导轮系统故障 原因:收放线轮导线轮磨损过大或被切透;放线轮和收线轮随动性不佳(控制系统故障)张力检测设备故障(张力臂摆动异常) 断口:过载颈缩断或不规则断口。 解决方案:消耗性物品应在每刀切割前检查是否需要更换, 定期检查测试收放线轮随动性, 切割前检查压 缩空气是否正常, 编织完线网后加上张力, 正反转动几圈, 查看是否有异常, 定期检查各个传感器是否有问题。,断线原因的归纳,设备 收线轮排线质量 原因:收线端排线质量呈桶形引起收线张力急剧跳动。 断口:

4、过载颈缩断或不规则断口。 解决方案:调整收线排和线器的工艺参数, 检查排线器是否出现机械故障 。,断线原因的归纳,工艺 机台参数 原因:切割工艺中设定的线速与台速不匹配,使钢线在切割过程中线损较大导致强度下降或线弓过大造成钢线过载而断线。 断口:过载颈缩断或不规则断口。 解决方案:根据机台本身性能及经验调整切割工艺,使线速与台速匹配。,断线原因的归纳,操作 粘胶或硅棒对接质量 原因:粘胶不当, 四周去胶不干净硅棒对接垂直度。 解决方案:将晶棒四周残余的胶水去除干净, 晶棒粘完后检查对接是否平行。 导轮槽或导线槽有异物 原因:设备内部及浆料循环系统内混入硬质异物如碎片等, 或者在导线槽导轮槽内有未清理干净的碎硅渣等, 对钢线造 成刮伤。 断口特征:不规则断口, 但在使用后的钢线表面可观察到刮痕。 解决方案:切割前仔细清理设备包括导轮槽、各挡板、线网等。,断线原因的归纳,操作 跳线 原因:原因钢线在线网上因导轮槽磨损、导轮槽中有杂质、硅棒拼接等原因跳线, 导致某些导轮槽内有多根钢线互相压住引起断线。 断口特征:表面有刮痕或竹节钢线特征。 解决方案:切割前检查导轮是否需要重新开槽并仔细清理导轮槽, 检查导线滑轮是否需要更换,断线后处理措施,三、其他,三、其他,谢 谢,

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