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1、一、特气概述一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体CBulkGas)和特种气体(SpecialGas)两种。大宗气体一般是指集中供养且用量较大的气体,涨盖制程用气如:POz、Par、PHz、Phey|伟及非例租用之如|GDAIRaifGN2等。特种气体主要有各种探杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰性气体等。随着各种不同气体的特性,设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。不r二、特气的分类我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照使用时的特性分为五类:1l、易燃性气体(FlammableGas“2、毒性人体Texip.Gag
2、33、腐蚀性气体CCorrosiveGass4惰性气体(InertGas)“5、氯化性气体(OxideGas.ConidontaldomtcopyordetbueCopylgtG08Tanma】g一三、特气管村介绍*目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的料F哽有不峤钢StainlessSteel)、特氟龙CTeflon)、度联乙烯CHSPE)、以及聚偏二氟乙烯(PVDF等。其中在气体传输中-不锈钡管件的应用最为广泛,通常在所有与制程相关的制程气体PHocessGas3的输送方面郡妮应用不锈钢管件。不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件刹毒易燃易爆的危险性气体。所以不锋求在以上儿种不同
3、材质的管件中要求最为严格。.ConpdontaldoretcopyordebutsCopylgtG00STanms8一s萧村分类。不锈钢管EPBA&AP。管材等级。EP级(EleCtrolyticPolished)电解抛光“BA级(Bright-annealed)光辉退火“AP级(AntiealedaadPickied-酸洗彻化=-航对于P级要求(ppb级)的制程气体的输送,均要求采用SUS3I6L材质的EP管材,对于一般非制程气体的输送采用SUS3i6L村质的BA管材。.ConidontaldomtcopyordetbuCopyigtGX08Tanmss四、洁净管道安装之村料接收目的:主要确
4、定箍道在运送过程中包装的定放以及订购重和村顿的征合步骑、材料订购厉在接收前坂好能到原厂抽格1闹件联%做氯气测洗测试以及Faricles的测讳2管件依坚号HeatNe和管子的Size各取一支余探测访3算接头依不吟绍SHie各取一经出水偷林超庞s水国度,Dimesion测法。5、材料到厂处理942途知品保人员格查包装伍泓,在品保人员CQAIQC准评后才可拆缉,拆锴雷非常到箱材-3将所有迷贵单发票及出厂检测报3PipingHrfube的上架,囱尺计的管4316LEPHln6LBA的管休积闹件到厂拆楠吊霸.ConidontaldomtcopyordetbutCopylgtG00STanma维QAQCA
5、品会有不吟的炅号,霜侥朝炉号匹分出来。B寂Classoooo区存放,租入前需在探找干泊8一s五、洁净管道安装之村料检验*月的:主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范。*步骠:。一、材料在移入无小室后淮备取出lo%做检验“二、检验项目:。l外观检验肽测沥面有无凶瘪)、刺倪,佃表面月无伟陷、凹洞、刮伤、残余物。2、粗糙度的检验:利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。-3、管壁厚度及外径的检验:利用光标卡尺做管外径和厚度的检验。.ConidontaldomtcopyordetbusCopylgtG008TanmsP六、洁净管道安装之焊工验证一一1目的:此焊并且可做日J步骠、从每个Group中选
6、一种尺甘的管子做煜接认证,通过后坊其Group范围内的尺寸均可旅工,一动8IGhodp施z院沥颖论务仁Gzdu并且要会更改鸽五、焊接者最后需完成三块试片,-狄t/b(tubeonbead即管子直接焊接,两坡Uttubeomtubej即管对管,对接的试焊。.ConidontaldomtcopyordetbusCopylgtG008Tanms六、洁净管道安装之焊工验证一一2六、完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺寸、等级和焊者的IDNo.并填一份认证表格。七、认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否,合格者才可施工,合格者需经lo天后可再做认证。八、整理出一份合格者名单j传到现场绘QA/QRE心员,以掌控现场施王人古的施工质重;.ConidontaldometcopyordetbueCopylgtG08Tanma镖七、洁净管道安装之焊道检验目的:此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避免日后的泄露或者腐蚀的危险。步骠:素焊道足否有气化的现象?二、焊道是E一s焊逍是铛日曲佩移严重GU4“-2“一1096,3“管以上一5%6四、焊道是否穿孔?五、焊道是否过度凹陷?(CM/4“-2“一lo9%,3“管以上一159%)六、焊道是否过度凸起?(/4“-2“一1o9%,3“算以上一159%6七、焊道覆盖是否适当?60%8o%)rXE0RSRRRarn4RaTHT=
