《脱胶预清洗培训ppt培训课件》由会员分享，可在线阅读，更多相关《脱胶预清洗培训ppt培训课件（18页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、脱胶预清洗培训J_nchutou0626设备概述设备构造介绍工艺介绍设春操作.工序质量控制点u之吴P1第一部分“设备的概述*1本设备是用于硅片加工过程的“脱胺“环节,主要是在硅棒线切割后硅片的预清洗脱胶,单、多晶硅片均适用,本设备从工艺上讲,它主要分为“预清洗“和“脱胶“两个部分。2.设备主要技术参数(1)设备型号QXY06型(2)清洗节拍8-12min(可调)(3)硅棒长度LE660rmmml砬片L25x125ntm156x156mm(4)脱胺机产能3万根/台/年,脱胶机出片产能单晶硅片6600.344=1918片/台/次多晶硅片6600.349=1891片/台/次(5碎片率U/1000口心
2、尽(6)检验参数硅片与胺完全分离。脱胶后,无明显脏污,硅片表面清洁均匀,无明显砂浆斑点。3.设备动能的介绍(1)动力电电源:380V土58,朱用三相五线制。(2)生产自来水的压力0.3Mpa。主要用于喷淋工位,超声工位,脱胺工位的用水,在脱胶工位生产水与乳酸进行配比,根据工艺上来说,目前的工艺配比有以下四种即水:乳酸=11、2:134:1(3)CDA气压力0.4-0.6MpaCDA的主要作用:气动进排水球闻气动磁性开关移动桂盖旬气翟材蜜辜动喷淋.二.设备的构造介绍、此设备为一全自动的处理设备,清洗脱胺过程由PLC控制,主要由以下几部分组成:丶进出料装置进、出料采用装有限位装置的小车,上、下料灵
3、活方便。2.机械手装置机械手左右平移采用伺服电机驱动,由PLC控制,传动方式为齿轮齿条。机械手上下移动采用减速电机驱动,由多椎带带动滚珠丝杠传动。左右平移与上下滑动导轨都采用直线方导轨,定位准确稳定性场,。3.硅棒花篮装置硅棒在篮子上安装后,可调节底部杆与硅棒的间隔保证脱胺后硅片托住,通过调节两侧杆防止硅片左右倾倒,中闵械州挡片防止硅片前后倾倒。攫。4.机架排风装置机架分前后两部分,底架上设有可移动的万向轮及可调水平的支撑脚。整机为移门框架结构,可防乳酸挥发,开装有排风霆菩莲挚器排风装置可靠,防止酸咏溢出,排风风机管路采用定。5.九酸进料装置引政运朴装罪日涛祀沛春仪拐制仪九酶采用意利的气动阶膜砂(造用高英度高腐蚀性液休)自动向胺胺檀内玟皎政余荣标沥河丞闽控制脱胺桂3葛换寻L酸桶实现自动化控制。7.电气控制系统*第三部分“工艺介绍。工预清洗的目的为下一步清洗做预处理。主要是把硅片表面大部分附着的碳化硅、硅粉、金属粉末、油污、悬浮液等杂质去除。2.脱胶的原理脱胶的目的是脱除硅片表面的AB胶,脱胶就是利用热水我加热后的乳酸溶液等浸泡将硅片脱落的过程,脱胶桂的温度根据使用胺水的而定,胶水在一定的温度范围内软化,在砥片上自然脱落的过程。3.药桂药剂的作用加入乳酸使胺水软化时间缩短,同时乳酸对硅片表面起到保护作用,阻止硅片在高温李牵氢化。.G白
