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1、传感器技术,第1章 传感器技术基础,2018/9/14,光纤光栅位移计,索尼700采用的新型CMOS传感器,2018/9/14,2018/9/14,一 传感器的概念与发展,11 传感器基本概念传感器（transducer/sensor）的定义是：能感受规定的被测量并按一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。其中，敏感元件（sensing element）是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分；转换元件（transducer element）是指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电信号以及其它某种可用信号的部分。,2018/9/14,传
2、感器狭义地定义为：能把外界非电信息转换成电信号输出的器件。可以预料，当人类跨入光子时代，光信息成为更便于快速、高效地处理与传输的可用信号时，传感器的概念将随之发展成为：能把外界信息转换成光信号输出的器件。,2018/9/14,传感器的任务就是感知与测量。在人类文明史的历次产业革命中，感受、处理外部信息的传感技术一直扮演着一个重要的角色。在18世纪产业革命以前，传感技术由人的感官实现：人观天象而仕农耕，察火色以冶铜铁。从18世纪产业革命以来，特别是在20世纪信息革命中，传感技术越来越多地由人造感官，即工程传感器来实现。,2018/9/14,目前，工程传感器应用如此广泛，以至可以说任何机械电气系统
3、都离不开它。现代工业、现代科学探索、特别是现代军事都要依靠传感器技术。 一个大国如果没有自身传感技术的不断进步，必将处处被动。,2018/9/14,现代技术的发展，创造了多种多样的工程传感器。工程传感器可以轻而易举地测量人体所无法感知的量，如紫外线、红外线、超声波、磁场等。 从这个意义上讲，工程传感器超过人的感官能力。有些量虽然人的感官和工程传感器都能检测，但工程传感器测量得更快、更精确。 例如虽然人眼和光传感器都能检测可见光，进行物体识别与测距，但是人眼的视觉残留约为01s，而光晶体管的响应时间可短到纳秒以下；人眼的角分辨率为1，而光栅测距的精确度可达1”； 激光定位的精度在月球距离3104
4、km范围内可达10cm以下；,2018/9/14,工程传感器可以把人所不能看到的物体通过数据处理变为视觉图像。CT技术就是一个例子，它把人体的内部形貌用断层图像显示出来，其他的例子还有遥感技术。 但是目前工程传感器在以下几方面还远比不上人类的感官：多维信息感知、多方面功能信息的感知功能、对信息变化的微分功能、信息的选择功能、学习功能、对信息的联想功能、对模糊量的处理能力以及处理全局和局部关系的能力。这正是今后传感器智能化的一些发展方向。,2018/9/14,随着信息科学与微电子技术，特别是微型计算机与通信技术的迅猛发展，近期传感器的发展走上了与微处理器内微型计算机相结合的必由之路，智能（化）传
5、感器的概念应运而生。传感器技术，则是涉及传感（检测）原理、传感器件设计、传感器开发和应用的综合技术，因此传感器技术涉及多学科交叉研究。,2018/9/14,12 传感器的构成与分类,传感器一般由敏感元件、转换元件、调理电路组成。 敏感元件是构成传感器的核心，是指能直接感测或响应被测量的部件。 转换元件是指传感器中能将敏感元件感测或响应的被测量转换成可用的输出信号的部件，通常这种输出信号以电量的形式出现。 调理电路是把传感元件输出的电信号转换成便于处理、控制、记录和显示的有用电信号所涉及的有关电路。,2018/9/14,图 1-1 为传感器组成框图：,图 1-1 传感器组成框图,电量,2018/
6、9/14,传感器主要按其工作原理和被测量来分类。 传感器按其工作原理，一般可分为物理型、化学型和生物型三大类； 按被测量输入信号分类，一般可以分为温度、压力、流量、物位、加速度、速度、位移、转速、力矩、湿度、粘度、浓度等传感器。 传感器按其工作原理分类便于学习研究，把握本质与共性； 按被测量来分类，能很方便地表示传感器的功能，便于选用。 本书的编排主要是按其工作原理分类，最后安排一章参数检测内容从被测量角度讨论传感器原理应用。,2018/9/14,物理型传感器又可分为结构型传感器和物性型传感器。 物性传感器是利用某些功能材料本身所具有的内在特性及效应感受被测量，并转换成电信号的传感器。在物性传
7、感器中，敏感元件与转换元件合为一体，一次完成“被测非电量一有用电量”的直接转换。 结构型传感器是以结构为基础，利用某些物理规律来感受被测量，并将其转换成电信号的传感器。这里需要加入转换元件，实现“被测非电量有用非电量有用电量”的间接转换。,2018/9/14,按照敏感元件输出能量的来源又可以把传感器分成如下三类：（1）自源型 为仅含有转换元件的最简单、最基本的传感器构成型式。此型式的特点是，不需外能源；其转换元件具有从被测对象直接吸取能量，并转换成电量的电效应；但输出能量较弱，如热电偶、压电器件等。 （2）带激励源型 它是转换元件外加辅助能源的构成型式。这里的辅助能源起激励作用，它可以是电源，
8、也可以是磁源。如某些磁电式和霍尔等电磁感应式传感器即属此型。特点是：不需要变换（测量）电路即可有较大的电量输出。,2018/9/14,（3）外源型 由利用被测量实现阻抗变化的转换元件构成，它必须通过外电源经过测量电路在转换元件上加入电压或电流，在才能获得电量输出。这些电路又称“信号调理与转换电路”。常用的如电桥。放大器。振荡器、阻抗变换器和脉冲调宽电路等。 自源型和带激励源型，由于其转换元件起着能量转换的作用，故谓“能量转换型传感器”，外源型又称能量控制型。 能量转换型传感器中用到的物理效应有：压电效应、磁致伸缩效应、热释电效应、光电动势效应、光电放射效应、热电效应、光子滞后效应等等。,201
9、8/9/14,能量转换型传感器中用到的物理效应有：应变电阻效应、磁阻效应、热阻效应、光电阻效应、霍尔效应、约瑟夫逊效应以及阻抗（电阻、电容、电感）几何尺寸的控制等等。 对传感器的基本要求如下： （1）足够的容量传感器的工作范围或量程足够大；具有一定过载能力。 （2）灵敏度高，精度适当即要求其输出信号与被测输人信号成确定关系（通常为线性），且比值要大；传感器的静态响应与动态响应的准确度能满足要求。,2018/9/14,（3）响应速度快，工作稳定、可靠性好。（4）适用性和适应性强体积小，重量轻，动作能量小，对被测对象的状态影响小；内部噪声小而又不易受外界干扰的影响；其输出力求采用通用或标准形式，以
10、便与系统对接。（5）使用经济成本低，寿命长，且便于使用、维修和校准。,2018/9/14,表1 传感器的分类,2018/9/14,13 传感器技术的发展趋势,（一）传感器的集成化和微型化 所谓集成化，就是在同一芯片上，或将众多同类型的单个传感器件集成为一维、二维阵列型传感器，或将传感器件与调理、补偿等处理电路集成一体化。前一种集成化使传感器在可见光图像传感器、电容指纹传感器中已经实现，并正在向更高密度发展。目前,在红外成像信号检测领域,世界各国都热衷于二维混合红外焦平面阵列IRFPAs(Infrared Focal-Plane Arrays), 结构如图1-2所示。后一种集成化传感器将处理电路
11、集成一体化，极大地方便了使用。目前市场上已有多种中低精度的产品，但高精度集成化传感器仍有待研发。,2018/9/14,图 1-2 二维混合红外焦平面阵列,2018/9/14,（二）传感器的数字化与智能化,为了使传感器与计算机直接相连接，发展数字化传感器是很重要的。数字技术是信息技术的基础，数字化又是智能化的前提，智能式传感器离不开传感器的数字化。 所谓智能化传感器（Smart Sensors）是以专用微处理器控制的、具有双向通信功能的传感器系统。它不仅具有信号检测、转换和处理功能，同时还具有存储、记忆、自补偿、自诊断等多种功能。按构成模式，智能式传感器有分立模块式和集成一体式之分。 预计未来的
12、10年，传感器智能化将首先发展成由硅微传感器、微处理器、微执行器和接口电路等多片模块组成的闭环传感器系统。如果通过集成技术进一步将上述多片相关模块全部制作在一个芯片上形成单片集成，就可形成更高级的智能传感器了。,2018/9/14,新型片式汽车尾气传感器,G系列新型传感器,2018/9/14,2018/9/14,2018/9/14,新型接近开关传感器,2018/9/14,还有两点要特别指出：第一，固态功能材料（如半导体、电介质、超导体等）的进一步开发，以及集成技术、微机械加工技术的不断完善，为传感器的集成化、微型化和智能化开辟了广阔的前景。如今，传感器的发展有一股强劲的势头，这就是正在摆脱传统
13、的结构设计与生产，而转向优先选用硅材料，以微机械加工技术为基础，以仿真程序为工具的微结构设计，来研制各种敏感机理的集成化、阵列化、智能化硅微传感器。这一现代传感器技术国外称之为“专用集成微型传感器技术”ASIM（Application specific integrated microtransducer）。这种硅微传感器一旦付诸实用，将对众多高科技领域特别是航空航天、遥感遥测、环境保护、生物医学和工业自动化领域有着重大的影响。,2018/9/14,第二，微传感器网络正在研究。随着通信技术、嵌入式计算技术和传感器技术的飞速发展和日益成熟,具有感知能力、计算能力和通信能力的微型传感器开始在世界范
14、围内出现。由这些微型传感器构成的传感器网络引起了人们的极大关注.这种传感器网络综合了传感器技术、嵌入式计算技术、分布式信息处理技术和通信技术,能够协作地实时监测、感知和采集网络分布区域内的各种环境或监测对象的信息,并对这些信息进行处理,获得详尽而准确的信息,传送到需要这些信息的用户。传感器网络是信息感知和采集的一场革命。传感器网络作为一个全新的研究领域,在基础理论和工程技术两个层面向科技工作者提出了大量的挑战性研究课题。,2018/9/14,（三）开发新型传感器,鉴于传感器的工作机理是基于各种效应和定律，由此启发人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料，并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器件
15、，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。其中利用量子力学诸效应研制的高灵敏阈传感器，用来检测极微弱信号，是传感器技术发展的新趋势之一。例如：利用核磁共振吸收效应的磁敏传感器，可将检测限扩展到地磁强度的102；利用约瑟夫逊效应的热噪声温度传感器，可测量106K的超低温；以及由于光子滞后效应的利用，出现了响应速度极快的红外传感器，等等。 利用化学效应和生物效应开发的可供实用的生物传感器正在引起关注。生物传感器对信息的高选择性和灵敏度吸引众多科学人员从多方面开展研究。 传感器今后的研发工作主要在开展基础研究、扩大传感器的功能与应用范围两个大方面。,2018/9/14,二 传感器技术
16、基础,21 传感器的特性与指标211 传感器的静态特性静态特性表示传感器在被测输入量各个值处于稳定状态时的输出输入关系，研究静态特性主要考虑其非线性、滞后、重复、灵敏度、分辨力等方面。,2018/9/14,1 线性度,线性度又称非线性，是表征传感器输出输入校准曲线与所选定的拟合直线（作为工作直线）之间的吻合（或偏离）程度的指标。通常用相对误差来表示线性度或非线性误差，即 式(2-1)式中 Lmax输出平均值与拟合直线间的最大偏差；yF。S。理论满量程输出值。,2018/9/14,传感器的输出输入关系或多或少地存在非线性问题，在不考虑迟滞、蠕变、不稳定性等因素的情况下，其静特性可用下列多项式代数方程表示：式（2-2） 式中 y 输出量；x 输入量； 零点输出； 理论灵敏度； 非线性项系数,2018/9/14,各项系数不同，决定了特性曲线的具体形式。静态特性曲线可实际测试获得，在非线性误差不太大的情况下，总是采用直线拟合的方法来线性化。显然，选定的拟合直线不同，计算所得的线性度数值也就不同。选择拟合直线应保证获得尽量小的非线性误差，并考虑使用与计算方便。下面介绍几种目前常用的拟合方法：,
