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二次印刷低效片分析,纲 要,二次印刷良率单次印刷良率,二次印刷低效比例,低效片FF低、Rs高,单批中低效片分布情况,典型低效片EL图,低效原因排查(以PE工序为界),注:此数据按照功率高低排序,通过5.23夜和5.26白不同PE机台效率对比数据看出,低效与PE机台无关。,将4#改为单次印刷,5月28日白班由于4#二次印刷良率偏低,将第二道正银印刷关闭,改为单次印刷。其中:清洗、扩散、刻蚀、PE、烧结工艺全部与二次印刷相同。,问题锁定 二次印刷,怀疑PVD2A浆料有问题,使用PVD2A正银浆料进行单次印刷:全部低效,EL图片如下与低效中的一种相似。,以上实验结果表明PVD2A浆料不适合单独做一次印刷浆料使用,二次印刷中出现的低效类似上图的EL图片可能是由于印刷偏移或第一道虚印所致。,第一道虚印使用PVD2A填补,使用16A印刷两道正银(1),使用16A印刷两道正银(2),7月份21号到27号每班的4#机二次印刷平均值:,使用16A印刷两道正银(3),由数据可以看出两道16A良率高于16A+PVD2A; 两道16A的平均功率高于16A+PVD2A; 之后,会连续一个月使用两道16A印刷,观察低效比例。,结 论,通过以上排查低效原因主要锁定在“二次印刷”,