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1、v有角度入射Filter分析1、中心波长偏移1*SINQin=N等效*SINQt nhcosQt=波长/4 N等效=1/(1-NL/NH+(NL/NH)2) （简略值）Qin=ASINN等效*(1-(0度波长/角度波长) 2) 1/2 2.2度0度用软件模拟角度偏移用软件模拟角度偏移软件模拟结果软件模拟结果实测值 为0.46双G-lens双C-lensG+C一、根据工作波长确定干涉腔深度（SPEC要求：1440.0 1640.0 nm）单腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气v100G膜系设计单腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLH
2、LHLHLHL空气二、双腔双腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气单腔双腔虽然双腔比单腔的干涉效 果已好很多，但是透射带不够 平坦，依然无法使用。三、三腔无基材单腔 实际是不可能 存在的。设双腔反射曲线R1,无基材反射曲线R2，则合成后的三腔反射曲线R3: R3=1-T=1-(1-R1)(1-R2)/(1-(R1.R2)0.5)2三腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHL
3、HLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气四、四腔为了提高隔离度 ，需要再加一个腔,。四腔雏形：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气设三腔反射曲线R1,无基材反射曲线R2，则合成后的四腔反射曲线R3: R3=1-T=1-(1-R1)(1-R2)/(1-(R1.R2)0.5)2反射隔离度只有反射隔离度只有7dB7dB透射透射ripple=0.7dBripp
4、le=0.7dB30dBBW=2nm30dBBW=2nm100G目标 值四腔雏形解决方法0.25dB_BW0.4nm1nm增加对数 层HL、增 加腔数30dB_BW15dB7dB四腔雏形：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气修正后四腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHL
5、HLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHL0.66H0.66L空气增加HL对数层可以压缩带宽、提高隔离度；0.66H0.66L是匹配层，可以减少空气失配，降低透射Ripple,提高反射隔离度。修正后修正后 透射透射ripple=0.02dBripple=0.02dB100G目标 值四腔雏形四腔修正0.25dB_BW0.4nm1nm0.45nm30dB_BW15dB7dB26dB真正商用化的100G膜系至少5腔以上五、五腔100G目标值四腔五腔0.25dB_BW0.4nm0.45nm0.
6、51nm30dB_BW15dB26dB18dB五腔五腔 透射透射ripple=0.06dBripple=0.06dB五腔：基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHL0.7H0.56L空气匹配层的作用是减少无基材单腔膜系的空气失配，提 高其透射率与隔离度，更加接近四腔的图形，近而相交于四
7、个点，形成四个透射尖峰，对抑制Ripple立竿见影。BPF的Filter，看其反射隔离度的尖峰数目就可以看得出其腔的数目。一、根据客户要求的隔离度确定对数层HL个数(LH) n是截止类Filter的原始膜系，n表示层数，层数越多，透射隔离度越好 （即反透射拐点愈近），但是透射带波纹以及反射隔离度会愈加恶化，无法使 用。vLPF膜系设计（0.5HL0.5H）N适合做LPF器件； （0.5LH 0.5L）N适合做SPF器件二、通过添加H/2即/8层初步消波纹 波纹明显改善，波纹明显改善， 但还是无法接受但还是无法接受三、添加匹配层，进一步减小通带波纹基材基材1.1581.158L L1.091.0
8、9HH0.5380.538L L0.7220.722HH0.6990.699L L1.1651.165HH1.4771.477L L(0.5 (0.5HLHL0.50.5HH)18)181.4121.412L L1.1151.115HH1.1661.166L L0.9790.979HH0.5320.532L L0.8650.865HH2.1652.165L L空气空气波段ISPippleR1260- 1485nm21.60T1542- 1660nm300.03dB匹配层可以交给软件来计算，将透匹配层可以交给软件来计算，将透 射带波长与目标插损告诉软件即可射带波长与目标插损告诉软件即可 ，但要给
9、出足够的匹配层数。，但要给出足够的匹配层数。如果想把如果想把LPFLPF做得更陡，做得更陡，(0.5HL0.5H)N(0.5HL0.5H)N NN必须不断增加，结果又需要更多的必须不断增加，结果又需要更多的 匹配层去补救透射匹配层去补救透射RIPRIP与反射与反射ISIS，因，因 此，此，FilterFilter价格必然蹭蹭往上涨！价格必然蹭蹭往上涨！匹配层的作用,以较简单的0.5HL0.5H为例小弟辞职后自己买了台镀膜机，混口饭吃，有单就做，不挑剔，希望结交 朋友。镀膜打样免费，只要膜系不是太难。QQ：412548152 SKYPE：jiahao1985312http:/ 来混都不容易，请不
10、要恶评哈。镀膜四线三线三角三线平行粗磨抛光待镀膜端面检查 1、玻璃光纤Pigtail不像跳线对面型的要求那么严格，采用国产中心机 即可；2、采用30um（4min）、3um （4min） 、抛光（6min）3步制程，并在40 倍显微镜下全检。机器配置：1、本底真空3*10-3（分子泵系统，腔体不返油）；2、晶控仪，监控精度0.1nm（=1A）；3、考夫曼离子源，增固，冷镀；膜系设计膜系设计膜系设计膜料（Ta2O5&SiO2）均采用日本浩发的A级品，整个膜层约585nm。膜系设计膜系设计Pigtail测评方法利用平面光纤镀完AR膜系后，RL会从14.5dB提高至25dB的特性，在 每一炉内插镀几根平面跳线，测试其BR便可评测整炉的水平。经实测，1310/1550nm的RL均26dB,所以透射IL0.2%(0.015dB)十颗起售。
