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1、元器件鉴鉴定检验检验 工作程序和 常用可靠性试验试验 方法介绍绍主要内容 鉴定检验 基本流程直接检验监督检验二次检验 常用可靠性检验 方法介绍 一、鉴定检验基本流程直接检验制定 检验检验 计计划编编写 检验检验 纲纲要准备备申请请受理送样样 检验检验出具 报报告检验检验 结结束二次检验检验不合格直接检验直接检验检验 申请资请资 料：协议书协议书检验检验 申请单请单关键键原材料清单单产产品实实物照片（正面、侧侧面、背面（3张张）)产产品结结构图图筛选筛选 合格的工艺记录艺记录鉴鉴定检验样检验样 品监督检验编编写 检验检验 纲纲要检验检验 纲纲要 报报批准备备申请请受理检验检验 实实施出具 报报告
2、检验检验 结结束二次检验检验不合格监督检验协议书协议书军军用电电子元器件产产品鉴鉴定检验检验 申请请表检验纲检验纲 要和检验检验 流程卡产产品实实物照片3张张（正面、背面、侧侧面全貌和标标志 要清晰）产产品结结构图图批次的工艺艺和筛选记录筛选记录鉴鉴定检验检验 日程安排表封存的样样品母体及专专用工装夹夹具申请监请监 督检验检验 所需资资料：现场检验 的流程首次 会议日程 计计划抽样样现场检验现场检验外协试验协试验检验检验 记录记录 整理末次 会议监监督督检验检验 检验纲检验纲 要 样样品对对照表 检验检验 流程卡 检验记录检验记录 （包括外协协） 检测仪检测仪 器计计量证书证书 （包括外协协）
3、 关键键原材料清单单 首末次会议记录议记录 保密协议协议监督检验结 束后交付的资料二次检验用户户参与二次检验检验 方 案签签 订订 检检 验验 服 务务 合 同结果 不合格申 请请 二 次 检检 验验整改：失效分析报报告纠纠正措施报报告验证试验报验证试验报 告 单项单项 加倍加严严、 单组单组 加倍加严严 全项项新鉴鉴定批完成 首次 检测检测 监督检验 重点要素鉴鉴定检验检验 方案 检验实检验实 施单单位 检验检验 方法和流程 使用的仪仪器设备设备 清单单 检验检验 周期 外协项协项 目 质质量等级级要求检验项检验项 目、检验顺检验顺 序和检验样检验样 品数量应应符合详细规详细规 范中鉴鉴定验
4、验程序的规规定。检验纲检验纲 要监督检验 重点要素 鉴鉴定检验样检验样 品的抽样样母体，X品（一个批次），X 谱谱（三个连续连续 批），一般为鉴为鉴 定检验检验 所需样样品数 的2倍，不包含规规定数量的备备份样样品和追加样样品； 不符合上述要求的应进应进 行评审评审 ，并在检验纲检验纲 要中 予以说说明； 检验样检验样 品由鉴鉴定检验检验 机构派人到研制方现场现场 准备备 的母体中随机抽取，剩余样样品封存。抽样样监督检验 重点要素鉴鉴定检验实检验实 施单单位根据确认认的检验纲检验纲 要编编制 检验检验 流程卡的内容应应完整，流程清晰正确，具有可操作 性。鉴鉴定检验检验 必须严须严 格按照检验纲
5、检验纲 要和流程卡的要求 进进 行。检验检验 流程卡检测设备计检测设备计 量证书证书鉴鉴定检验检验 机构和检验实检验实 施单单位应应保证检验证检验 所需的 仪仪器设备齐设备齐 全，功能及精度满满足标标准要求并计计量鉴鉴 定合格，检验检验 在有效期内；监督检验 重点要素检验检验 原始记录记录 一般包括测试测试 原始记录记录 及试验试验 原始记录记录 ，采用统统一规规范的格式具体要求如下： a)检验检验 原始记录记录 要求信息齐齐全、正确，至少应应包含： 检验样检验样 品信息、环环境条件、所用仪仪器设备设备 、检验项检验项 目、详细详细 具体的试验测试试验测试 ）方法和条件、技术术要求 、检验结检
6、验结 果等。检验检验 原始记录记录 一律用黑色墨水书书写，数据清晰，计计算正确并符合修约约要求，数据及记录记录 更改符合规规定 并盖章。 c)检验检验 原始记录须记录须 相关试验试验 、测试测试 、监监督人员签员签 名。 d)检验检验 原始记录记录 按检验纲检验纲 要分组顺组顺 序汇总汇总 装订订成册，封面盖章，不编页码编页码 。检验记录检验记录二、常用可靠性试验方法介绍常用参考标准总规总规 范： GJB597A96 半导导体集成电电路总规总规 范 GJB33A97 半导导体分立器件总规总规 范 SJ20642-97 半导导体光电电模块总规块总规 范实验实验 方法 GJB128A-97 半导导
7、体分立器件试验试验 方法 GJB548B2005 微电电子试验试验 方法和程序可靠性试验 的目的目的 测试元器件在规定的时间内和规定的条件下， 完 成规定功能的能力 筛选筛选 （批次全检） 质质量一致性检验检验 ：（全检 或抽检） A组：电参数测试（每批） B组：机械、环境试验（每批） C组：与芯片有关的检验（周期） D组：与封装有关的检验（周期）筛选(GJB597A-96) 内部目检检 温度循环环（或热热冲击击） 恒定加速度 粒子碰撞噪声（PIND) 编编序列号 中间电间电 参数测试测试 老炼炼 电电参数测试测试 （规规定PDA) 密封（粗检检漏和细检细检 漏） 最终电测试终电测试 外部目检
8、检可靠性试验 的分类（GJB548B)耐湿 盐雾盐雾 温度循环环 稳稳定性烘培 热热冲击击 稳态稳态 寿命 高温寿命 低温寿命 老炼炼 密封 内部水气含量 电电离辐辐射试验试验物理尺寸 恒定加速度 可焊焊性 外部目检检 内部目检检 键键合强度 芯片剪切强度 随机振动动 扫频扫频 振动动 机械冲击击 粒子碰撞噪声环环境试验试验 （34项项）机械试验试验 （35项项）可靠性试验 的分类内内部目检检及机械检检 查查 可焊焊性试验试验 耐湿湿 引线线牢固性试验试验 盐雾试验盐雾试验 芯片剪切强度试验试验 扫频扫频 振动动 内内部水气试验气试验 内内部目检与检与 机械检检 验验 辐辐照试验试验稳态寿稳态
9、寿 命 密封 外部目检检 内内部目检检（封帽前） 老炼炼 粒子碰碰撞噪声声 物理尺寸 低气压试验气压试验 高温寿温寿 命 低温寿温寿 命 温温度循环环破坏性试验试验非破坏性试验试验环境试验温度试验 低温试验试验 ：检验检验 在规规定的低温条件下，器件满满足工作或 储储存要求的适应应能力。（低温工作测试测试 在工作 温度下限温度做试验试验 ，低温贮贮存在贮贮存温度下 限做试验试验 ）。 高温试验试验 ：检验检验 在规规定的高温条件下，器件满满足工作或 储储存要求的适应应能力。（高温工作测试测试 在工作 温度上限温度做试验试验 ，高温贮贮存在贮贮存温度上 限做试验试验 ）。温度试验目的： 测测定器
10、件承受极端高温和极端低温的能力，以 及极端高低温变变化对对器件的影响 所需设备设备 ： 高低温实验实验 箱 实验实验 方法： 两箱法 单单箱法温度循环环温度试验计时计时 ： 转换时间转换时间 （ 1min)样样品从一个极端温度转转移到另一个极端温度所经历经历 的时间时间 保持时间时间 （10min)样样品到达极端温度（15min)后停留的时间时间 循环环次数： 大于10次 中断处处理： 由于电电源或设备设备 故障，允许许中断试验试验 ，但是如果中断次数 超过规过规 定的循环总环总 次数的10时时，必须须重新开始。 失效判据： 外壳、引线线、或封口有无缺陷或损损坏，标标志是否清晰，以 及其他规规
11、定的参数是否合格。温度循环环温度试验目的： 检验电检验电 子元器件在遇到温度剧变时剧变时 其抵抗和适应应能力 的 试验试验 。转换时间转换时间 小于10s. 判据： 主要检验衬检验衬 底开裂、绝缘绝缘 体位移、引线焊线焊 接、封装等 缺 陷。 注意： 必须须在规规定的冲击击温度上下限温度点进进行规规定的冲击击次 数，属于非破坏性的检测检测 ，筛选时为筛选时为 100检验检验 ，质质 量一 致性检测时检测时 也可抽样检测样检测 。在筛选检测筛选检测 中，不合格品 必 须须剔除。热热冲击试验击试验 ：密封目的：确定具有空腔的电电子器件封装的气密性，密封不良会导导致 环环境氛侵入器件内部引起电电性能
12、不稳稳定或腐蚀蚀开路 所需设备设备 ： 氦质谱细检质谱细检 漏（用于检查检查 1Pa.cm3/s10-4 Pa.cm3/s的 漏率） 氟油或乙二醇粗检检漏（用于检查检查 大于1Pa.cm3/s的漏率） 失效判据： 细检细检 ： 测测定漏率 粗检检： 从同一位置出来的一连连串气泡或两个以上大气泡 试验顺试验顺 序： 先细检细检 后粗检检 试验过试验过 程需加压压耐湿 目的：用加速的方式评评估元器件及所用材料在炎热热高湿（典 型热带环热带环 境）下抗退化效应应的能力，本实验实验 可以可 靠的指出哪些元器件不可以在热带热带 条件下使用。为为 破坏性试验试验 。l所需设备设备 ：温湿箱l试验试验 程序
13、l干燥升温保持降温升温保持降温循环环10次低温子循环环(至少5次）耐湿 湿度控制：80100 试验时间试验时间 ：10天左右 失效判据：标标志脱落、褪色、模糊镀层镀层 腐蚀蚀或封装零件腐蚀蚀透引线线脱落，折断或局部分离因腐蚀导蚀导 致的引线线之间间或引线线与外壳搭接辐辐照试验试验 ：射线对线对 物质质的最基本作用是电电离作用，电电离作用与物质质从 射线线吸收的能量有关对对于定量的射线线，物质质质质 量越小， 吸收越密集，影响越大。其关系式如下：射线剂线剂 量物质质吸收能量/物质质的质质量。辐辐照试验试验 ：目的：试验时试验时 ，高能粒子进进入器件，使其微观结观结 构变变化，产产生 附加电电荷或
14、电电流甚至缺陷，导导致器件参数退化、锁锁定、翻 转转或产产生浪涌电电流烧烧坏失效。通过过各种辐辐照效应试验应试验 ， 可确定器件的致命损伤剂损伤剂 量、失效规规律及失效机理，从而 在材料、结结构、工艺艺和线线路上进进行抗辐辐射的设计设计 改进进。 试验试验 方案要依据不同的产产品和不同的试验试验 目的，选择辐选择辐 照的总剂总剂 量或剂剂量率及辐辐照时间时间 ，否则则由于辐辐照过过低或 过过量而得不到寻寻求的阈值阈值 或损损坏样样品。辐辐照试验试验 ： 中子辐辐照试验试验在核反应应堆中进进行 ，测测量半导导体器件在中子环环境的 性能退化的敏感性，是一种破坏性试验试验 ，主要检测检测 半 导导体
15、器件关键键参数和中子注入的关系 总剂总剂 量辐辐照试验试验总剂总剂 量辐辐照试验试验 采用钴钴60放射源以稳态稳态 形式对对器件 进进行辐辐照。为为破坏性试验试验 。主要用来判定低剂剂量率 电电离辐辐射对对器件的作用。辐辐照试验试验 ：试验试验 程序和方法： 按规规范要求，选选定辐辐照类类型、剂剂量或剂剂量率及辐辐 照时间时间 。 记录试验记录试验 前器件相关电电性能参数。 进进行辐辐照试验试验 。 测试辐测试辐 照试验试验 后器件的相关电电性能参数。 比对试验对试验 前后器件的相关电电性能参数值值，若值值差 超过过允值为值为 失效。机械试验恒定加速度： 目的：检查检查 在规规定的离心加速度作
16、用下的适应应能力或评评定其 结结构的牢靠性。为为非破坏性检测检测 ，筛选时为筛选时为 100 检验检验 ，质质量一致性检测时检测时 也可抽样检测样检测 。在筛选检筛选检 测测中，不合格必须须剔除。l所需设备设备 ：离心机l合格判据：器件无损损坏，标识标识 清楚，其他参数测试测试机械冲击击： 目的：检查检查 在规规定的冲击击条件下受到机械冲击时击时 的适应应性 或评评定其结结构的牢靠性。为为非破坏性检测检测 ，筛选筛选 时为时为100检验检验 ，质质量一致性检测时检测时 也可抽样检测样检测 。在 筛选检测筛选检测 中，不合格必须须剔除。有时规时规 定要求在沖 击击中测试测试 ，也可按规规定试验试验 后进进行外观观观观 察和电电 测试测试 后决定是否合格。 所需设备设备 ：冲击击振动动台（提供500g30000g的冲击击脉冲）l合格判据：外壳，引线线的损
