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1、新興 科技 實習無塵室 課程教授: 熊京民 博士 課程助理: 阿寶學長志欽學長 薄膜技術實驗室:ME301 授課時間: 星期五 3、4節課 授課地點: ME213網路資源機械系熊京民老師的教學網頁 下載實驗課程的PPT檔案以及實驗課程表http:/140.127.6.1/Hsuing/index2.htm學期實驗進度表課程大綱介紹實習課程:真空鍍膜(CAPD)真空濺鍍機(Sputter)雷射(LASER)電化學(平板電極)黃光微影RCA clean授課方式新興科技實習選修人數:30人分為兩組 : A組及B組(每組各15人)第一週 課程介紹第二週 B組上課 A組實驗第三週 B組實驗 A組上課第四
2、週 B組上課 A組實驗第五週 B組實驗 A組上課 .分組方式A、B兩組各分成六小組A組:三組為3人 三組為2人B組:三組為3人 三組為2人PS:於9/25 10點在ME213公佈分組名單1.陰極電弧電漿沉積系統設備介紹2.長晶原理3.製備ZnO薄膜實驗1. 濺鍍設備介紹2. 試片清洗流程3. 操作流程介紹4. ZnO薄膜製備及厚膜量測1. 2雷射機設備與教學2. 雷射實驗步驟與檢測1. 恆電位儀設備及教學2. 開迴路實驗步驟與量測3. 極化曲線實驗步驟與量測1. 實驗目的及原理2. 藥品與儀器3. 實驗流程與步驟4. 實驗結果評分方式1.平時成績 閱讀測驗 30% 點名 10%2. 繳交實驗報告(實驗一實驗三) 30%3. 繳交實驗報告(實驗四實驗六) 30%
