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1、表面光洁度标准讲稿2004/3/61一.定义：表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数 字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大 小，后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子 都称为麻点。规定长与宽的比大于4：1的为划痕；长与宽的比小于4：1的 为麻点。点子划痕2当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，有效直径的 计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其有效直径以 内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外 区域计算的是整体元件的等效直径。划痕点子A区20-10B区80-50如左图元件表面质量要求不同，则在 判定A区是
2、否符合要求时，应取内圆 直径进行计算。而B区则取整个元件 的圆直径3三角的面积为（低高）/2=(a b)/2三角有效直径D长方形面积=长宽=a b长方形的有效直径DD面积=(D/2)2ab美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。ahA区：20-10B区：80-503mm1mm4mm2mm对于长方形元件（当长与宽的比5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。60#划痕长3mm60#划痕长3mm左图是大家看的编号2的样品（图 片是放大的不是实际尺寸）图中的划痕为20#，且长度1/4D。 对于表面质量要求20-10该产品不 合格。但本次样品未提出表面质量 要求，而是要
3、大家自已决定光洁度 等级。因此该产品划痕可判为40# 。63.当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有 级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大 划痕级数的一半。例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为6040，元件上有2条 2mm的60#划痕，3条4mm的40#划痕。它的等效直径为20mm1/4D为1/420=5mm最大划痕的长度和为：2mm+2mm=4mm4mm30；因此，元件不合格。60#划痕长2mm40#划痕长4mm7如左图所示的产品则20#划痕长度0.7mm。10#划痕 长度2mm对于表面质量要求20-10 该产品最大划痕
4、长度1mm60；因此，元件不合格。 左图是大家看的编号3的样品。 （图片是放大的不是实际尺寸）图中有20#划痕长度2.2mm。10# 划痕长度7mm对于表面质量要求 20-10该产品不合格。对于表面 质量要求40-20则该产品所有级 数乘以划痕长度与元件直径之比所 得乘积之和为：202.2/5+107/5=8.8+17=25.825.840。元件符合40-20 95.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有 密集划痕即在元件中任何一个6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条 以上的大等于10#划痕。20mm左图是大家看的编号3的样品。 （图片是放大的不是实际尺寸）图中有
5、5条划痕，该元件直径为 6mm；对于表面质量要求20-10 该产品不合格。对于表面质量要 求40-20则该产品所有级数乘以划 痕长度与元件直径之比所得乘积之 和为：202.2/5+107/5=8.8+17=25.825.840。元件符合40-20例：表面质量指标为20-10，20mm，在如图（1）所示的区或有2条长1mm和2条长0.5mm的10#划痕。它符合5.1.1;5.1.4 （无需考虑5.1.2;5.1.3）但它不符合5.1.5条。元件不合格。106.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形 元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。7.当两条或多条划痕之间间隔小于0
6、.1mm时，划痕合并为1条计算，合 并后的划痕长度从划痕开始到划痕结束。宽度取划痕的外边划痕合并后宽度划 痕 合 并 后 长 度划痕间隔小于 0.1mm右图是放大50倍的间隔 小于0.1mm的三条划痕 。11编号15的样品编号4的样品根据客户谈判定光洁度？12麻点：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷 的实际直径，如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大 宽度的平均值作为直径。（注意：美军标的麻点与划痕不同，麻点是可计量的也即麻 点的大小是确定的，50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点） 点子直径：不规则点子0.255mm0.125mm(0.125+0.255)/2
7、=0.19mm13左图是本次样品的第11号。（ 图片是放大的不是实际尺寸）有1个5#点子，1个3#点子。（ 但然这些点子有可能擦掉就看 不到了这里只是作为例子来说 明）。这产品如果不考虑两点 间距可以判定点子为级数5。 为什么？因为产品只有1个最 大点子5#，而所有的点子之和 为0.05+0.03=0.080.1(5#点子 的两倍），所有点子可判定为 级数5#。144.当麻点质量要求为10或更优等级时，任何两个麻点的间距必须大于1mm 。 例:元件40mm40mm的元件 ，质量指标要求为20-10,有两个5#的点子，点子之间的距离为0.8mm. 0.8mm1mm元件不合格0.05mm的点子距离
8、0.8mm左图是本次样品的第11号。（ 图片是放大的不是实际尺寸）有1个5#点子，1个3#点子。是 上面的例子，刚才将它判定为 5#，但对于5#级数两点间距必 须大于1mm，因此元件不符合 要求，所有本元件的点子只能 判为20#。155.小于2.5um的麻点略去不计。图为放大50倍显微镜观察到2.5um的麻点 (相当于0.12mm比正常10#麻点大一些) 此麻点可略去不计！6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小 。以图中外圆为麻点大小，如果超过表面质量要求 则该元件不合格。光洁度写成两位数据形式时必须按标准写，如产品点子判 为0#，但划痕判为40#，则产品光洁度为40-20而不是40-0。 如果产品点子判为20#而划痕判为0#，则产品光洁度为40-20 而不是0-20。16编号13样品光洁度 ？17气泡和包络：包络当作气泡考虑。依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一 样，单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度 的平均值。 气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区 分开来，单独评价。有灰斑的元件为不合格元件。18
