硅片插片机使用说明

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1、 清洗培训插片机亿晶光电科技有限公司2012年清洗工序小组主要内容:插片机的主要构成插片机操作插片机注意事项 机台插片机结构 篮具插片机主要构成插片机操作点击此按钮开机1、开机开机请点击“开机复位 ”2、装片插片机篮具每台机配2个,篮具中有两层垫片。在使用篮具前认真检查篮具四面的挡板是否完 好,尤其检查挡板与底板连接的螺丝处是否有裂 痕。1、打开硅片盒,粗检硅片边缘是否有崩点、崩边 等不合 格品; 2、测量硅片尺寸; 3、以100片为单位,将硅片放入篮具中,每篮具 放片以400片为限 。3、加料1、一手拿着篮具挡板。一手拖住篮具底板, 整个篮具向身体的方向倾斜,避免由于篮具突 然损坏造成摔片。

2、2、准备加料:将篮具底板一边先放在插片机 台面上,向里推,平放3、双手同时提起篮具上料挡板,放入上料位 ,使得篮具下小孔与上料位定位销重合,左右 晃动,检查篮具是否放稳。4、装载小花篮双手握住小花篮两边,先装前,后装后花篮边缘务必要贴紧定位挡板5、插片开机复位后,警示灯黄灯亮,绿灯闪。确认两侧小花篮均已放好,点 击“自动启”或者同时按下插片机台面上的两个绿色按钮,此时花篮 位置下降到下位,警示灯黄灯灭,绿灯闪。待两个花篮均已装满时,即绿灯亮,黄灯亮,蜂 鸣器响。操作者可将花篮拿下来放在小车上,检查是 否有双片、破片、隐裂片,是否有硅片插斜等异常现 象,若无,即可准备上花篮夹。5、关机插片结束后

3、,进行关机操作。点击“加料”,使得上料位处 于下位,即可按PLC下方的“停止”按钮,进行关机。自动插片时的紧急情况处理在自动启动状态下插片时常有花篮堵片、拖片、破 片等不良状况,此时操作者需按“急停”按钮,常 出现如下状况: 点击触摸屏上“回 放”即可。回放操 作可将吸盘上的硅 片自动放入上料篮 具中,以便继续装 片。1、硅片堵塞若出现如左图的硅片堵塞情况 时,首先操作者应及时按下触 摸屏下方的“急停”红色按 钮。待设备处于停止状态时, 将急停按照顺时针方向松开其次,观察吸盘上是否有硅片,若有,请按“回放”, 然后将堵塞的硅片取出放回上料篮具中,即可点击“续 装”继续装片。2、掉片报警 出现此

4、报警经常由于硅片厚薄或是应力而导致硅片分离较 差,吸盘无法吸住硅片处理方法: 1、判断来料硅片是厚薄还是应力,若是厚薄,可点击“ 加料”,将篮具取出,旋转180,放入点击“续装”即可。 若是应力,拿出手动插片。 2、若硅片既不是厚薄也不是应力,即通知机修或技术员。3、上料位有阻挡物报警 若出现此报警,是由于吹气分片太高,阻挡感应器接收到信 号所致。处理方法:点击“加料”,将篮具取出,旋转180翻放入继 续装片。 若无改善及时通知机修或技术员。注意事项:1、各班交接时,要仔细检查插片机篮具、插片机玻 璃条是否完好。2、自动状态下,插片时,若发现变形的花篮要及时 做上“”的标记。3、在插片前,要检查小花篮是否放好4、在插片时,避免硅片倒角与小花篮相撞5、在插片时,注意观察拖片、碎片、卡片等异常, 并及时进行操作6、加料时注意检查篮具是否有损坏

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