电子显微镜及其附属设备的结构基本原理第一部分

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电子显微镜及其附属设备 的结构、基本原理、 用途及其使用 方法第一部分 透射式电子显微镜1.透射式电 子显微镜外 形及其基本 结构组成：电子光学系统； 高压系统；数据采集系统 ；电子控制系统；真空系 统等五大部分。电子光学系统 电子枪、电子束 加速线圈、透镜 系统、物镜系统 、 成像系统、消像 散系统、电子对 中系统等真空系统 真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、 真空管道、循环水系统等电子枪镜筒照相室DPIPRP数据采集系统 数据采集系统包括：CCD数据采集系统、 PHOTO采集系统；高压及其电源系统 高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发 射枪、电源等。电子控制系统 电源控制系统、电子束调整系统、电子光 路调整系统、电子成像控制系统、真空控 制系统、模式选择系统等。2.透射电子显微镜的基本工作原理电子光学系统 的工作原理 LaB6灯丝在高电压 的作用下，产生一 束高能电子束。经 过透镜、物镜、消 像散等系统的调整 ，形成一束近似平 行光的电子束，作 用于试样。电子束 与试样将发生各种 各样的作用。主要 形成透过电子、弹 性散射电子、非弹 性散射电子