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1、光学工程专业毕业论文光学工程专业毕业论文 精品论文精品论文 可见与红外双波段增透膜的可见与红外双波段增透膜的研究与制备研究与制备关键词：军用仪器关键词：军用仪器 光学仪器光学仪器 增透镀膜增透镀膜 镀膜工艺镀膜工艺摘要：本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近 红外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率 大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅 助，调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱
2、ZnS 基 底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。正文内容正文内容本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红 外波段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大 于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助， 调整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控制
3、误差，在多光谱 ZnS 基底上 成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够 承受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜厚控
4、制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监控方法，减少膜
5、厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监控方法，减
6、少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监控方法
7、，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监控方
8、法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改进监
9、控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数，改
10、进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺参数
11、，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。 本研究根据军用光学仪器的使用要求，在多光谱 ZnS 基底上，可见与近红外波 段 4001000nm 及远红外波段 711m，镀制增透膜，要求平均透射率大于 90。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统，通过选择 ZnS 和 YbF3 作为高低折射率材料，利用最新 OptiLayer 软件三大模块的功能辅助，调 整镀膜工艺
12、参数，改进监控方法，减少膜厚控制误差，在多光谱 ZnS 基底上成 功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段 4001000nm 的 平均透射率大于 91，远红外波段 711m 的平均透射率大于 90，能够承 受恶劣的环境测试，完全满足军用光学仪器的使用要求。特别提醒 ：正文内容由 PDF 文件转码生成，如您电脑未有相应转换 码，则无法显示正文内容，请您下载相应软件，下载地址为 http:/ 。如还不能显示，可以联系我 q q 1627550258 ，提供原格式文档。“垐垯櫃换烫梯葺铑? endstream endobj 2x 滌?U閩 AZ箾 FTP鈦 X 飼?狛P?燚?琯嫼 b
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