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1、传感器与检测技术传感器与检测技术自动化教研室自动化教研室 邢航邢航TelTel：13710452509137104525091第一章检测系统的特征与性能指标21.1 检测系统概述 1） 检测的定义检测（Detection）是利用各种物理、化学效应， 选择合适的方法与装置，将生产、科研、生活等 各方面的有关信息通过检查与测量的方法赋予定 性或定量结果的过程。2）工业检测技术的类型和内容 工业检测技术的内容非常广泛，常见的工业检测 涉及的内容有33） 检测系统的基本结构由传感器、模拟信号调理电路、数字信号分析与处理 部分、显示部分以及将处理信号传送给控制器、其他 检测系统或上位机系统的通信接口部分
2、等。数据显示、记录、分析、综合、判断、决策、监控通信接口和总线底层显示分析处理信号调理电路传感器底层显示分析处理信号调理电路传感器4（1）传感器传感器是检测系统的第一个环节，其主要作用是 将感知的被测非电量按一定的规律转化为某一种量值 输出，通常是电信号。由于传感器种类繁多，所以几 乎能检测所有非电量参量。但因传感器输出的电信号 种类多、功率小，故一般不能直接将这种电信号传输 到后续的信号处理电路或输出元件中去，必须经过信 号的调理。 （2）信号调理电路信号调理电路的主要作用有两方面，一是把来自 于传感器的信号进行转换和放大，使其更适合于进一 步处理和传输，多数情况是将各种电信号转换为电压 、
3、电流、频率等少数几种便于测量的电信号；第二方 面是进行信号处理，即对经过信号调理的信号，进行 滤波、调制和解调、运算、数字化处理等。5（3）记录、显示仪器目前常用的显示器有四类：模拟显示、数字显示、图 像显示及记录仪等。（4）信号分析处理它是现代检测系统中不断被注入新内容的一部分，逐 渐成为检测系统的研究重点。它是用来对测试所得的 实验数据进行处理、运算、逻辑判断、线性变换，对 动态测试结果作频谱分析（幅值谱分析、功率谱分析 ）、相关分析等，完成这些工作必须采用计算机技术 。（5）通信接口和总线它是实现由许多测量子系统或测量节点组成的大型检 测系统中子系统与上位机之间以及子系统之间的信息 交换
4、。总线更多的是指一种规范、一种结构形式；而 接口多指完成通信的硬件系统。 61.2 传感器概论 1）传感器的定义 传感器（Transducer/sensor）的定义为：“能感受（或响 应）规定的被测量，并按照一定规律转换成可用输出 信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成” 。2）传感器的组成 敏感元件(Sensing element) 是指传感器中能直接感受被测量的部分转换元件(Transition element) 是指传感器中能将敏感元件输出量转 换为适于传输和测量的电信号部分。信号调理电路：能把转换输出的电信号转换为便于显示、记录和控 制的有用信号的电路。常用电桥、放大器、阻抗变
5、换器等7敏感元件转换元件压 力 作 用 膜片形变（应变）应变片电阻改变敏感元件(Sensing element) 是指传感器中能直接感受被测量的部分转换元件(Transition element) 是指传感器中能将敏感元件输出量转 换为适于传输和测量的电信号部分。信号调理电路：能把转换输出的电信号转换为便于显示、记录和控 制的有用信号的电路。常用电桥、放大器、阻抗变换器等83） 传感器分类传感器的种类繁多。传感器有许多种分类方法。常 用的分类方法有：（1）按被测量分类机械量：位移、力、力矩、扭矩、速度、加速度、 振动、噪声 热工量：温度、热量、流量（速）、风速、压力（ 差）、液位 物性参量：浓
6、度、粘度、比重、酸碱度 状态参量：裂纹、缺陷、泄漏、磨损、表面质量 （2）按测量原理分类按传感器的工作原理可分为电阻式、电感式、电容 式、压电式、光电式、光纤、磁敏式、激光、超声波 等传感器。9（3）按信号变换特征分类结构型：主要是通过传感器结构参量的变化实现信 号变换的。例如:电容式和电感式传感器.物性型：利用敏感元件材料本身物理属性的变化来 实现信号变换。例如:水银温度计,压电测力计. （4）按能量关系分类能量转换型：传感器直接由被测对象输入能量使其 工作。例如:热电偶温度计,压电式加速度计.也称有源 传感器。能量控制型：传感器从外部获得能量使其工作，由 被测量的变化控制外部供给能量的变化
7、。例如:电阻式 、电容式、电感式.也称无源传感器。1011检测装置输入（激励）输出（响应）检测装置输入（激励）输出（响应）1.3 检测系统特性为了保证测量结果的准确性，检测系统各环节的输出 量与输入量之间应保持一一对应和尽量不失真的关系 ，这种关系通常是线性关系，而且必须尽可能地减小 或消除各种干扰。12在工程测试实践中，大多数检测系统属于线性时不变 系统。线性时不变系统的分析方法已形成了完整严密 的体系，即使是一些非线性系统或时变系统，在限定 条件下，它们也遵循线性时不变的规律。故下面重点讨论线性时不变系统的主要性质。 13线性时不变系统： 式中t为时间自变量。系统的系数均为常数。14线性时
8、不变系统具有以下性质：叠 加 性叠加性意味着作用于线性装置的各个输入所产生的 输出是互不影响的.在分析众多输入同时加在装置上所产生的总效果时 ，可以先分别分析单个输入的效果，然后将这些效果叠 加起来表示总的效果。几个输入所产生的总输出是各个输入所产生的输 出叠加的结果。即若：15比例特性测试装置的输入信号扩大a倍，输出信号也扩 大a倍。对于任意常数a，都有 微分特性 系统对输入导数的响应等于对原输入响应的导 数积分特性 如系统的初始状态均为零，则系统对输入积分 的响应等同于对原输入响应的积分16频率保持性 若给测试装置输入某一频率的正（余）弦信 号，则稳态输出必定是与输入相同频率的正 （余）弦
9、信号。 17 已知系统是线性的和其输入的频率，那么 依据频率保持性，可以认定测得信号中只 有与输入频率相同的成分才真正是由该输 入引起的输出，而其它频率成分都是噪声 。进而依据这一特性，采用相应的滤波技 术，在很强的噪声干扰下，把有用的信息 提取出来； 由于信号的频域函数实际上用信号的各频 率成分的叠加来描述的。因此，同频性与 叠加原理相结合，研究复杂输入信号所引 起的输出时，就可以转换到频域中去研究 ，研究输入频域函数所产生的输出的频域 函数频率保持性 18 线性的定常系统的特性中，叠加性和频率 保持性在工程测试中具有重要意义。191.4 检测系统的静态特性与性能指标测试装置的性能分为两种：
10、静态特性和动态特性。静态特性：当被测量是恒定的、或是缓慢变化的物 理量时所涉及的是系统的静态特性问题。这时输出 与输入之间的关系称为测试装置的静态特性。动态特性：指测试装置对于随时间变 化的动态输 入量的响应特性 20定常线性测试装置的数学描述为：在静态测量中，理想的定常线性系统的输入-输出微分方程式变成： 其中斜率S是灵敏度，应是常数。21实际的测量装置并非理想的定常线性系统：非线性原因：(结构原理性原因除外)误差因素检 测 系 统输入 x输出 y = f(x)温 度湿 度压 力冲 击振 动磁 场电 场摩 擦间 隙松 动迟 滞蠕 变变 形老 化外界干扰22理想测试系统的线性关系通常采用静态测
11、量的方法求 取输入输出关系曲线，作为标定曲线。多数情况还需 要按最小二乘法原理求出标定曲线的拟合直线。灵 敏 度测量范围回程误差精确度.非线性度测试装置的静态特性指标23灵敏度 当装置输入一个变化量x时，产生输出的变 化量y；输出的变化量y与输入的变化量 x的比值称作传感器的灵敏度。 定义:表达:但是，一般的测试装置总不是理想定常线性系统，用拟 合直线的斜率来作为该装置的灵敏度注意：灵敏度越高，稳定性越差，测量范围相应越小。 。24非 线 性 度 标定曲线与拟合直线之间的偏离程度。表达:定义:非线性度=B/A*100%B 为标定曲线与拟合直线的最大偏差。 A 为装置的全量程输出范围。标定曲线：
12、表示实际特性，一般是使用高一级仪表反复多次测 量后取得的平均值曲线。拟合直线: 按一定方式拟合的用来代替实际曲线的直线。25目前两种常用的拟合基准直线方法 ： 平均法 最小二乘法0yx拟合直线标定曲线平均法主要是确定拟合直线的系数，使标定曲线和拟合直线之间 的偏差的代数和为零。即：设系统拟合直线为：该方法主要是确定拟合直线的系数，使标定曲线和拟合直线之间 偏差的平方和为零。即：26回程误差 亦称滞后或变差。反映了传感器的输入量在 正向行程和反向行程全量程多次测试时，所 得到的特性曲线的不重合程度。定义:表达:A 为装置的全量程输出范围。27稳定性 稳定性是表示传感器经过长期使用以后， 其输出特
13、性不发生变化的性能。影响传感 器稳定性的因素是时间与环境。漂 移测量装置的测量特性随时间的慢变化，称为 漂移。28分辨率灵敏阈可靠性与检测系统无故障工作时间长短有关的一种描述。能引起输出变化的输入量的最小变化量。又称死区，用来衡量检测起始点不灵敏度的程度。29精 确 度 （ 精 度） 精度反映测试结果与真值的接近程度。与误差大小相对应。与精度有关的指标有三个：精密度、正确度和精确度(精度)精密度：说明测量传感器输出值的分散程度。精密度是随机 误差大小的标志，精密度高，意味着随机误差小。注意：精 密度高不一定正确度高。正确度：说明传感器输出值与真值的偏离程度。正确度是系 统误差大小的标志，正确度
14、高意味着系统误差小。同样，正 确度高不一定精密度高。精确度：是精密度与正确度两者的总和，精确度高表示精密 度和正确度都比较高。（a）正确度高而精密度低 （b）正确度低而精密度高 （c）精确度高30在测量中我们希望得到精（确）度高的结果。 精度在工程应用中，常用精（确）度等级来表示测量结果的可靠程度。 精确度等级以一系列标准百分数值进行分档：0.001，0.005，0.02 ，0.05，1.5，2.5，4.0，.传感器设计和出厂时，传感器精度等级代表的误差指传感器测量的最 大允许误差。 衡量精度的性能指标常用相对误差和引用误差来表示。例：一台精度等级为0.5级、量程范围为6001200 OC的温
15、度传感器，它 最大允许绝对误差是多少？检验时某点的最大绝对误差是4 OC，问此表 是否合格？我国测试仪表的精度等级仍多用引用误差的百分数值来表示。311.5 检测系统的动态特性与性能指标对于测量动态信号的检测系统，要求检测系统在输入 量改变时，其输出量能立即随之不失真的改变。在实际检测过程中，由于检测系统选用不当，输出量 不能良好地追随输入量的快速变化会导致较大的测量 误差。因此研究检测系统的动态特性有着十分重要的意义。32（1）微分方程（2）传递函数（3）频率响应函数 动态特性的描述方法：h(t)H(s)H()S=j拉氏变换傅立叶变换拉氏反变换傅立叶反变换33系统的阶次由输出量最高微分阶次决
16、定。常见为O阶、一阶、二阶系统优点：概念清晰，输入-输出关系明了，可区分暂态响 应和稳态响应缺点：求解方程麻烦，测试装置调整时分析困难（ 1 ） 微 分 方 程动态特性指测试装置对于随时间变化的输入量的 响应特性 式中t为时间变量， 和 均为常数 ，此系统为线性定常系统。34（ 2 ） 传 递 函 数利用拉氏变换，将微分方程转换成为复数域的传 递函数。当系统初始条件全为零时分母中s的幂次n代表了系统微分方程的阶数，也称为传 递函数的阶次。对微分方程作拉氏变换，并将输出和输入两 者的拉氏变换之比定义为传递函数H(s)即：35传递函数的特点1）传递函数表示了系统本身的动态性能与输入量 大小及性质无关。2）相似系统。传递函数不拘泥于被描述系统物 理结构而只反映动态性能。不同的物理系统，可以用 相同的传递函数来描述，称为相似系统。3）传递函数可以有量纲，也可以无
