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1、第六章 电子探针分析原理一. 微束分析技术及其发展历史微束分析技术：以聚焦电子束为激发源，进行物质成分、结构和形貌分析的物理分析测试手段。Cameca SX100型电子探针JEOL JXA8100型电子探针JEOL JXA8800型电子探针电子探针人物谱：(1) 1895年11月8日德国物理学家Wilhelm Conrad Rntgen 发现X射线。Wilhelm Conrad Rntgen (1845 -1923)获得1901年第一个Nobel 物理学奖(2) Carles G. Barkla在1909年发现电发现电 子轰击纯轰击纯 元素可以产产生特征X射线。C.G. Barkla (187
2、7-1944)获获得1917年Nobel 奖电子探针人物谱：(3) Max Von Laue在1912年发现发现了X射线在晶体中的衍射现象。Max von Laue (1879- 1960)获获得1914年Nobel 奖电子探针人物谱：(4) Bragg父子在1913年获得了第一个X射线光谱。Bragg父子获获得1915年Nobel 奖电子探针人物谱：(5) Henry G.J. Moseley得出了元素的原子序数与X射线能量之间的关系(Moseley定律)。电子探针人物谱：(6) G.C. von Hevesy第一次提出了利用X射线荧光光谱发展电子探针的概念 。Georg Charles v
3、on Hevesy (1885-1966)电子探针人物谱：(7) Hiller在1947年提出电子束可以产生X射线。(8) “电子探针之父”Raymond Castaing(1921-1999) 系统提出了电子探针分析的理论及应用。1958年第一台商用电子探针在Paris诞生。电子探针人物谱：Raymond Castaing在1977年获得 美国矿物学会Roebling大奖。Outstanding contributions to Mineralogy:Inventor of the electron microprobe and pioneering work on theory of qu
4、antitative analysis; development of ion beam microprobe.电子探针人物谱：电子探针技术：19491958年：实验室研制阶段19581973年：电子探针性能初步定型前商品化阶段19731985年：电子探针性能综合发展阶段19852000年：电子探针分析计算机化阶段2000年开始： 电子探针网络化阶段电子探针分析的特点 ：1、微区、微量2、简便、快速3、使用范围宽4、分析形式多样化5、不损坏样品电子探针的主要分析功能 ：1、图像功能二次电子像(SEI, Secondary electron image)背散射电子像 (BEI, Back-sca
5、ttered electron image)SEIBEI背散射电子像:单斜辉石中的斜方辉石出溶2、定性分析陶瓷材料的定性分析3、定量分析AbAbKfsKfs SiO267.3868.4764.4963.23Al2O320.4920.2919.4219.43P2O50.210.350.230.79Na2O11.1111.210.150.12K2O0.160.1515.1515.89 CaO0.090.22bdlbdl BaObdlbdlbdl0.02 total99.43100.6899.4499.474、线分析镀 硼 钢 材 表 面 线 分 析FeB Fe2B Fe5、面分析崂山A型花岗岩中的锆石石榴子石：Y面分析石榴子石的 面分析图像环带锂电气 石的面分析 图像6、相分析Y-Ba-Cu-O体系超导材料的相分析
