《高直流电导钽铌酸锂晶片制备技术研究》由会员分享，可在线阅读，更多相关《高直流电导钽铌酸锂晶片制备技术研究（57页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、Ab s tr a c tA b s t r a c tL i t h i u m n i o b a t e c ry s t a l ( L i N b 0 3 ) i s o n e k i n d o f f i n e a r t i f i c i a l c ry s t a l , w h i c h h a s m a n y i m p o r t a n t p r o p e r t i e s , s u c h a s n o n - l i n e a r， e l e c r r o - o p t i c a l ， p i e z o e l e c t r
2、 i c , e l a s t o - o p t i c a l , t h e r m a l - e l e c t r i c , p h o t o r e f r a c ti v e a n d s o o n . L i t h i u m t a n t a l a t e c ry s t a l i s a l s o o n e k i n d o f 血e a r t i f i c i a l c ry s t a l , w h i c h h a s m a n y p r o p e r ti e s l i k e l i t h i u m n i b
3、o a t e , s u c h a s n o n - l i n e a r ， e l e c r r o - o p t i c a l ， p i e z o e l e c t r i c , e l a s t o - o p t i c a l , t h e r m a l - e l e c t r i c ,p h o t o r e f r a c t i v e a n d s o o n . S o t h e y h a v e b e e n e x t e n s i v e l y a n d p o t e n t i a l l y a p p l i
4、 e dL iN b 伪 c ry s t a l a n d L i T a 0 3 c ry s t a l a r e e x t e n s i v e l y a p p l i e d i n s u r f a c e a c o u s t i c w a v e f i l t e r ( S A W) . B e c a u s e L it h i u m L i N b O 3 c ry s t a l a n d L i T a 0 3 c ry s t a l h a v e t h e p y r o e l e c t r i c e f f e c t , s
5、 o t h e r e i s m u c h s t a t i c c h a r g e b e c a u s e o f t h e c h a r g e a c c u m u l a t e d i n t h e S A W d e v i c e f a b r i c a t i o n . Wh e n t h e c h a r g e a c c u m u l a t e s m a s s i v e l y , t h e r e w i l l b ec a u s e w a f e r c r a c k e d , m i c r o e l e c
6、 t r i c d o m a i n r e v e r s e d , e l e c t r o d e d a m a g e d a n d s o o n .L i N b 伪 a n d L i T a O 3 w a f e r s w e r e r e d u c e d i n t h e v a c u u m , i n e r t g a s , w a t e r v a p o rw i t h t h e d i ff e r e n t r e d u c t i o n t e m p e r a t u r e a n d r e d u c t i
7、o n t u n e . W e f i n a l l y c h o s e t h ev a c u u m a t m o s p h e r e t h r o u g h m e a s u r i n g t h e a b s o r p t i v i t y o f t h e w a f e r s r e d u c e d .W e m e a s u r e d t h e e l e c t r i c c o n d u c t i v i ty o f L i N b 0 3 a n d L i T a O 3 w a f e r s r e d u c e
8、 d . T h e m a x i m u m e l e c t r i c c o n d u c t i v i t y o f t h e f N b O 3 w a f e r s r e d u c e d w a s 1 .8 3 9 x 1 O( Q c m ) “ r , w h ic h w a s fi v e o r d e r s o f m a g n it u d e h i g h e r t h a n th a t o f c o n g r u e n tp u r e L i N b 伪.T h e U V V i s i b l e a b s o
9、r p t i o n s p e c t r a o f t h e L i N b 伪 w a f e r s r e d u c e d s h o w e d t h a t t h e r e w a s a n a b s o r p t i o n b a n d i n t h e 5 0 0 n m w a v e l e n g t h . T h e U V - V i s i b l e a b s o r p t i o n s p e c t r a o f a l l o f t h e L i N b 0 3 a n d L iT a O 3 w a f e r
10、 s r e d u c e d s h o w e d t h a t t h e a b s o r p i t i v i t y o f w a f e r s r e d u c e d w a s i n c r e a s e d w i t h i n c r e a s i n g d e g r e e o f t h e r e d u c t i o n .Wh e n t h e L i N b 0 3 w a f e r s r e d u c e d w e r e o x i d i z e d i n a i r , t h e y b e c a m e c
11、 o l o r l e s s a n dt r a n s p a r e n t a g a i n . T h e d i f f e r e n t i a l t h e r m a l a n a l y s i s s p e c t r u m o f t h e w a f e r s s h o w e d t h a t t h e w a f e r o x i d i z e d h a d t h e s a m e d i f f e r e n t i a l t h e r m a l a n a l y s i s s p e c t r u m w i
12、t h t h e w a f e ru n r e d u c e d .Ab s t r a c tK e y w o r d sli t h i u m n i b o a t e , li t h i u m t a n t a l a t e , U V Vis i b l ec o n d u c t i v i t y , d i ff e r e n t i a l t h e r m a l a n a l y s i s .s p e c t r a , e l e c t r i cI I I南开大学学位论文版权使用授权书本人完全了解南开大学关于收集、保存、使用学位论文的
13、规定，同意如下各项内容:按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子版本;学校有权保存学位论文的印刷本和电子版，并采用影印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文;学校有权提供目 录检索以及提供本学位论文全文或者部分的阅览服务;学校有权按有关规定向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版;在不以赢利为目的的前提下，学校可以适当复制论文的部分或全部内容用于学术活动。学 位 论 文 作 者 签 名 : 碳o 询。 7 年 s 月 汀日经指导教师同意，本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。指导教师签名:学位论文作者签名:解密时间:年月日各密级的最长保密年限及书写格式规定如下:内部 5 年 ( 最长
14、5 年， 可少于5 年)秘密*1 0 年 ( 最长1 0 年， 可少于1 0 年)机密*2 0 年 ( 最长2 0 年，可少于2 0 年)南开大学学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，进行研究工作所取得的成果。除文中已 经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均已 在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学 位 论 文 储 签 名 : 冰 M f ) A “ 7年 丁 月 ) 4 日第一章 绪论第一章绪 论互 1 . 1 银酸锉
15、晶体的研究背景和主要应用夸 1 . 1 . 1 妮酸锉晶体的简介妮酸 铿( L i N b 伪， L N ) 晶 体是集电 光、声光、 弹光、非线性、光折变 及激光 活性等效应于一身的多功能人工晶体材料。 这种晶体自 身机械性能稳定、易加 工、耐高温、抗腐蚀;生长这种晶体的原材料来源丰富、价格低廉、并易于生 长成大尺寸 优质单晶; 它是现在已 知居里点 ( T c ) 最高 ( 1 2 1 0 V ) 和自 发极化最 大( 室 温时 约0 .7 0 G m ) 的 铁电 体， 人工 单畴 化 方便， 从室 温到T c 范围内 无 相 变，晶 体在使用过程中不会出现退极化问题，可反复使用;在晶体
16、中掺入不同的杂质后，妮酸铿晶体会呈现出各种各样的特殊性能，在声表面波器件、光波导器件、 电光调制器、倍频转换、光参量振荡器、延迟器、光存储、光放大、光开关、 窄带 滤波等许多 方面都有 着广泛的 应用前景 1 .2 1芍 J . 1 . 2 妮酸锉晶 体的主要应用1 9 2 8 年， Z a c h a r i a s e n 首次 报道了L N晶 体3 1 , 1 9 6 5 年， B a l l m a n 采用提拉法 成功地生 长出L N 单晶0 ， 提拉法能够在较短的时间内 生长出 高质量的 大尺寸I N 晶体，因此，I N晶体的研究进入了新的阶段。 几十年来，人们对I N晶体的生 长及其特性进行了 不断的研究，目 前全世界每年妮酸铿及其相关产品的工业使 用量己 经 超过了4 O X 1 0 6 吨， 广泛的 应用在军事和民 用领域.( 1 ) L N晶体 作为一 种非线 性光学晶 体， 在光通信 领域 应用广泛， 代表着主 要的应用方向， I N晶体适合制作光的各种控制祸合和传输器件， 如红外探测器、 光开关、 光参量振荡器、光隔离器件、集成光学元件等。随着近几年来
