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1、技 术 参 考+81-3-5638-8228+81-3-5638-6550光機 中文 黄版 光 機 1702玻璃材料的特性8人造熔融石英记号 “SFS”在紫外波长区被广泛采用的一种光学玻璃材料。热膨胀系数非常小(只有BK7的1/10)，是高精度反射镜基板的理想材料。在生产过程中，熔融石英玻璃中会含有羟基 ，因此，它在1.38m，2.22m，2.72m有吸收带。在紫外和可视波长区，有较高的透过率。气泡和杂质少，材质非常均匀。可在超过800的很宽的温度范围使用。在紫外区域的荧光少。非常硬，不易划伤，所以很容易清洁。BK7记号 “B”BK7 是一种硼硅酸盐光学玻璃。用于小尺寸的反射镜的基板和透过型光
2、学件。化学特性稳定，表面不易变质，变色。和其他光学玻璃相比，相对较硬，不易擦伤。气泡和杂质少，材质非常均匀。在3502000 nm波长范围内，都有较高的透过率。价格低廉，适于大批量生产。技术参考1. 玻璃材料的特性派来克斯玻璃(高硼硅氧硬质玻璃)记号 “PX”和BK7相似，派来克斯玻璃也是硼硅酸盐玻璃的一种，被广泛用于科学研究领域。热膨胀系数较小(BK7的1/2)，常用于中尺寸的反射镜基板。派来克斯玻璃不是光学玻璃，它经常含有气泡，不纯物和纹路(不均质)。容易研磨，不容易划伤。因此，方便使用和清洁。B270-超白(白玻璃)这是一种低价格，高透明度的冕牌玻璃，其透过特性类似于BK7。容易采购。白
3、玻璃仅适用于低精度的光学元件。无羟基石英玻璃记号 “NQ”等离子制造方法可以防止产生羟基， 减少了在红外区域的吸收带。在制造过程中需要使用大量电力，所以价格相对较高。适用于透过型光学元件的基板。其他光学玻璃/特殊光学玻璃常采用高折射率玻璃 LaSFN9和中折射率玻璃 SK2作透镜材料，因为它们在制造过程中具有良好的化学和机械特性。* BK7，LaSFN9和SK2是肖特股份有限公司的产品 * B270-超白是SCHOTT DESAG AG公司的注册商标玻璃材料的特性9http:/www.sigma- 术 参 考准分子激光级熔融石英玻璃记号 “SFSK”BK7和人造熔融石英的光学特性(参考数据)通
4、过控制玻璃中的羟基含量而制造的准分子激光级熔融石英玻璃，在准分子激光照射时，具有很好的耐久性。西格玛光机公司生产采用了准分子激光级熔融石英玻璃的透镜系列产品。它适用于248nm波长的准分子激光。如果您计划用于193nm波长的话，请与我公司的业务部联系。在强紫外光照射下，透过率会减低，或者变色，因此，有必要定期更换光学元件。照射激光强度重复频率照射时间检测标准ArF （193 nm） 人造熔融石英ArF准分子激光10 mJ/cm2100 Hz17分无荧光KrF （248 nm） 人造熔融石英KrF准分子激光50 mJ/cm225 Hz2分无荧光透过率02040608010020015030025
5、04003502.01.53.02.54.03.5BK7 人造熔融石英 无羟基石英玻璃 YAGdVISVUVHe-CdN2Xe*BrYAGfKr*FKr*ClAr*FXe*ClXe*FUVNIRMIRLDHe-NeLD折射率20040060080010001200140016001800200022002400260028003000320034001.401.411.421.441.461.481.501.521.541.561.431.451.471.491.511.531.551.571.58UVVIS.NIRMIRBK7 人造熔融石英技 术 参 考+81-3-5638-8228+81-
6、3-5638-6550光機 中文 黄版 光 機 1702玻璃材料的特性10折射率(n)和透过率(T)BK7和人造熔融石英的光学特性(参考数据)波长 （nm）人造熔融石英BK7光源记号光谱范围nT（%）T（%）n165166167168169170173175180185.4190193.5200210220230240250260270280290300313.2325334.2337.1351.1355363.8365398.8404.7435.8441.6457.9465.8472.7476.5480486.1488496.5501.7514.5532546.1587.6589.31.56
7、11.5481.5401.5341.5231.5151.5091.5021.4971.4931.4891.4861.4841.4831.4801.4801.4761.4761.4751.4751.4701.4701.4671.4661.4651.4641.4641.4641.4641.4631.4631.4621.4621.4611.4611.4601.4581.458020354650758084858687889091919292929292929292929393939393939393939393939393939393939393939393931.5481.5451.5431.54
8、11.5391.5391.5361.5361.5311.5301.5271.5261.5251.5241.5231.5231.5231.5221.5221.5221.5211.5201.5191.5191.5171.5170153858727685889090909292929292929292929292929292929292He-Cd 激光N2激光Ar 激光YAG(3)Ar 激光HgHgHgHe-Cd 激光Ar 激光Ar 激光Ar 激光Ar 激光CdHAr 激光Ar 激光Ar 激光Ar 激光YAG(2)HgHeNaihgFFedDVUVVUVVUVVUVVUVVUVVUVVUVVUVVU
9、VVUVVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUVUV紫色紫色蓝色蓝色蓝色蓝色蓝色蓝色蓝色蓝色蓝色绿色绿色绿色绿色绿色黄色橙色(基板厚度10mm)技 术 参 考http:/www.sigma- 激光CdHRUBY 激光HeGaAIAsCsGaAs 激光Hg激光1.5151.5151.5141.5131.5131.5101.5101.5091.5081.5071.5071.5051.5041.5041.5031.5031.5011.5001.4991.4971.4971.4951.4931.4921.4921.4911.4901.4871.4851.4841.
10、4831.4831.4821.48192929292929292929292929292928891919191888583817371707265595540302319901.4571.4571.4561.4561.4551.4521.4521.4521.4501.4491.4491.4481.4471.4471.4461.4461.4451.4431.4421.4411.4401.4381.4371.4351.4341.4341.4331.4311.4301.4281.4271.4261.4261.4251.4241.4221.4191.4171.4141.4121.4091.40763
11、2.8643.9656.3694.3706.5830852.19041014106411001200130013501380140015001600170018001900200021002200222022502300240025002600265027002720275028002900300031003200330034003500360037003800390040004100420043009494949494949494949494939391838793949494949492675664808773582000004065757881807061502521231540红色红色
12、红色红色红色NIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRNIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIRMIR波长 （nm）人造熔融石英BK7光源记号光谱范围nT（%）T（%）n(基板厚度=10mm)技 术 参 考+81-3-5638-8228+81-3-5638-6550光機 中文 黄版 光 機 1702玻璃材料的特性12用于红外的锗玻璃，它从可见光到红外，都有很好的透过率。并 有足够的化学耐久性。特性折射率CORNING
13、 9754 (参考数据)0.301.302.303.304.305.306.301.531.541.551.561.571.581.591.601.611.621.631.641.651.661.671.681.691.701.711.721.731.74波长(m)折射率和波长的关系 CORNING 9754玻璃光学性能温度性能软化温度874退火温度735变形温度697最高使用温度650平均线膨胀系数(25300)6.2106/比热(25)0.13 cal/g密度(25)3.51 g/cm3截止波长T50%330 nm时(厚度 1.346 mm)T50%5.3m时(厚度1.346 mm)折射率
14、486.1 nm1.6702589.3 nm1.6601656.3 nm1.6563.5m1.617分散46.5透过率0.30.40.50.61234560102030405060708090100波长(m) 注意图中波长尺度的变化CORNING 9754玻璃的透过率 厚度为1.346mm， 含表面损失透过率这是一种由SHOTT GLAS公司(德国)生产的结晶玻璃。在高温下一旦把玻璃融化，在以后的热处理中使其结晶而成。特性ZERODUR(参考数据)光学性能等透过波长范围0.42.5m折射率486.1 nm1.5491587.6 nm1.5424656.3 nm1.5394表面反射损失单面4.6
15、% (587.6 nm)比重2.53平均热膨胀系数00.10106/K (050)热膨胀系数-0.8-0.6-0.4-0.20.80.40.20.009001002003004005006007008000100热膨胀系数.温度K透过率0.20.30.40.60.8123450102030405060708090100透过率波长m5mm 25mm* ZERODUR是SCHOTT DESAG AG公司的注册商标技 术 参 考http:/www.sigma- (参考数据)热膨胀率604020020406080100120140160180 604020020406080100120140160Temperature L/L （107）CLEARCERAM-Z Regular光学性能等透过波长范围0.42.5m折射率587.6 nm1.546表面反射损失单面4.
