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1、ELECTRONICS气体性质安全气体性质安全Prepared by: TGCM 2009- 10Prepared by: TGCM 2009- 10MSDSPDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIALAgenda1 产品概述产品概述 2 主要危害主要危害 3 操作注意事项操作注意事项 4 急救措施急救措施 5 消防措施消防措施 6 泄露紧急处理泄露紧急处理 7 储存注意事项储存
2、注意事项 8 运输注意事项运输注意事项PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL1 产品概述产品概述产 品化 学 名 称英 文 名 称 代 名 称外 观 、 嗅 觉 及 状 态其 它产 品化 学 名 称英 文 名 称 代 名 称外 观 、 嗅 觉 及 状 态其 它SiH4硅烷Silane单硅烷无色、无味气体极 易 燃 烧极 易 燃 烧NF3三氟化氮Nitrogen Triflu
3、oride/无色无味气体，有时浓度 很低的不纯气体会有刺鼻 的霉味。高温下分解出腐蚀 性强的F2H2氢气Hydrogen/无毒、无色、无味气体易燃气体CH4甲烷Methane/无毒、无色、无味气体沼气的主要成分GeH4锗化氢Germane锗烷无色、有特殊气味气体剧毒PH3磷化氢Nitrogen磷烷无色、有臭鱼味道剧毒B2H6硼化氢Diborane硼烷无色、有特臭味道剧毒N2氮气Diborane/无色、无味气体惰性气体Ar氩气Argon/无色、无味气体惰性气体PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in in
4、dustrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL2 主要危害主要危害pSiH4pNF3pH2pCH4pGeH4pPH3pB2H6pN2，ArPDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL2 主要危害主要危害原理：原理：原理：原理： nSiH4：在室温下就会在空气中自燃，该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很
5、浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。nNF3：遇水或潮气产生腐蚀性HF，高温下分解出非常活泼的氟。它与周围 的其它物质反应生成有毒的氟化物。nH2：易燃易爆的气体，和氟、氯、氧、一氧化碳以及空气混合均有爆炸的 危险。nGeH4：与O2，空气混合以爆炸，化学性质不如SiH4nPH3：室温条件下空气中自燃。nB2H6：空气中能自燃。nCH4:与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。nN2：窒息性，液态情况下可能造成冻伤。nAr：窒息性，液态情况下可能造成冻伤。PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader
6、 in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL3 操作注意事项操作注意事项操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程，需要穿戴：需要穿戴：(1) 阻燃服阻燃服/防火服防火服; (2)防穿刺安全鞋防穿刺安全鞋; (3)洁净手套洁净手套/；(4)自助式呼吸器自助式呼吸器 SCBA。(1)阻燃服阻燃服FRC(2)防穿刺安全鞋防穿刺安全鞋(3)洁净手套洁净手套(4)SCBAPDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in indu
7、strial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL4 急救措施急救措施/迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。/H2/迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。/如怀疑冻伤，大量温水清 洗，并及时进行医疗处理N2/Ar/迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 人工呼吸，刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务
8、处理。脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。NF3/迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。立即用水冲洗最少15 分钟，水流不要太 快，同时翻开眼睑。 使受难者为“O形眼， 立即寻求眼科处理。用大量的水冲洗最少15分 钟。脱掉已暴露在硅烷中 或被污染的衣服，小心不 要接触到眼睛。如果患者 有持续的刺激感或其他进 一步的健康影响需立即进 行医疗处理。SiH4食入吸入眼睛接触皮肤接触产品PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leade
9、r in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL4 急救措施急救措施迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。嘴对嘴的人工呼吸。用温水用温水(40oC)给受伤给受伤 部位升温，部位升温，立即进行 医疗处理。轻柔地用温水洗眼，轻柔地用温水洗眼， 并立即进行医务处理。B2H6/迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。嘴
10、对嘴的人工呼吸。迅速进行医务处理。脱掉被污染的衣服和 鞋，妥善处理被污染妥善处理被污染 的衣物。的衣物。迅速进行医 务处理。CH4/迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。嘴对嘴的人工呼吸。用温水用温水(40oC)给受伤给受伤 部位升温，部位升温，立即进行 医疗处理。轻柔地用温水洗眼，轻柔地用温水洗眼， 并立即进行医务处理。PH3/ 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。嘴对嘴的人工呼吸。刺激和/或
11、灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。脱掉被污染的衣服和 鞋，用大量温水冲洗 几分钟，并立即进行 药物处理。GeH4食 入吸入眼睛接触皮肤接触产品PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL5 消防措施消防措施从泄漏区疏散所有人。立即从最远的距离喷水，冷却钢瓶。不要去灭火 。 如有火焰偶然被熄灭，可能会发生爆炸或重燃。如没有危险，一
12、边喷水，一边切 断气源。灭火剂：CO2、干粉、水流或水雾。H2消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。切断气源。喷雾状水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水。N2/Ar水或二氧化碳可以帮助冷却现场，限制活性热分解产物(如：氟)的形成。从泄漏区疏散所有人。如果可能且没有危险，从火场移走NF3钢瓶。如有可能，切断通往火场的气源。用水冷却钢瓶直到火被扑灭。灭火剂：二氧化碳或水。NF3消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火切断气源。若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。保持火场容器冷却，直至灭
13、火结束。灭火剂：水、泡沫、干粉、二氧化碳。SiH4消防措施产品站在上站在上风口风口灭火灭火！严禁试图熄严禁试图熄灭灭 正正在燃烧的在燃烧的 SiH4钢瓶钢瓶!PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL5 消防措施消防措施可以与绝大多数灭火介质如水，CO2反应，灭火剂只能选择以N2为载体的蛋白质泡沫灭火剂。如有可能切断气源让火焰自然熄灭B2H6喷水冷却钢瓶直到火被扑灭，用水减少有
14、害蒸汽。PH3从泄漏区疏散所有人。喷水冷却钢瓶直到火被扑灭。灭火剂：雾状水，泡沫GeH4从泄漏区疏散所有人。喷水冷却钢瓶直到火被扑灭。如果可能，从火场移走钢瓶 。营救人员需用自给式呼吸器。灭火剂：使用适合其周围火情的灭火剂。CH4消防措施产品站在上站在上风口风口灭火灭火！PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL6 泄露紧急处理泄露紧急处理泄放及泄漏时应采取的步骤：泄放及泄漏时
15、应采取的步骤：立即撤离立即撤离受受影响影响的的区域区域，对，对该区域加强通风该区域加强通风，检测泄露气体含量检测泄露气体含量。使用适当的防护设备(自助式呼吸器SCBA或防火服)。如有可能，切断气源并将泄漏的钢瓶隔离。若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，则需与供应商联系。若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要泄压并用惰性气体吹扫。PDF 文件以 “FinePrint pdfFactory Pro“ 试用版创建 http:/The world leader in industrial and medical gasesELECTRONICSAIR LIQUIDE -CONFIDENTIAL7 储存注意事项储存注意事项在在通风良好通风良好、安全、安全且且不受不受天气影响天气影响的地的地方竖方竖直直存储存储，存储 温度不可高于125F(52oC),存储区域内不可混存并远离频繁出入处和紧急出口。 对还未使用的气瓶应保持保护阀盖和输出阀的密封完好。将空瓶与满瓶分开存放。 避免
