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1、 SJ6000 激光干涉仪激光干涉仪 产品产品解决解决方案方案 联联 系系 人：人： 联系电话：联系电话：400-852-8988、0755-83318988 公司地址：公司地址：深圳市南山区西丽学苑大道 1001 号智园 B1 栋二层 公司网址：公司网址： 深圳市中图仪器股份有限公司 目录目录 1. 简介 . - 1 - 1.1. 产品简介 . - 1 - 1.2. 产品配置 . - 2 - 2. 静态测量 . - 3 - 2.1. 线性测量 . - 3 - 2.2. 角度测量 . - 7 - 2.3. 直线度测量 . - 9 - 2.4. 平行度测量 . - 11 - 2.5. 垂直度测量
2、 . - 13 - 2.6. 平面度测量 . - 14 - 2.7. 回转轴测量 . - 16 - 3. 动态测量 . - 17 - 3.1. 动态测量概述 . - 17 - 3.2. 动态测量应用 . - 18 - 4. 产品功能特点 . - 20 - 5. 技术指标 . - 22 - 6. 配件与证书 . - 25 - SJ6000 激光干涉仪 - 1 - 1. 简介简介 1.1. 产品简介产品简介 激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000 激光干涉仪集光、机、电、计算机等技
3、术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达 50000 小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高 4m/s 的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000 激光干涉仪外观图激光干涉仪外观图 SJ6000 激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线
4、度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 SJ6000 激光干涉仪 - 2 - 1.2. 产品配置产品配置 SJ6000 激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、组、自动精密转台自动精密转台。 主要主要镜组镜组图图
5、 其中，线性镜组线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 SJ6000 激光干涉仪 - 3 - 2. 静态测量静态测量 2.1. 线性测量线性测量 线性测量原理线性测量原理 迈克尔迈克尔逊干涉原理逊干涉原理 线性测量的光路原理构建图 (1) 从 SJ6000 激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）； (2) 两束激光分别经由角锥反射镜 A 和角锥反射镜 B 反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相
6、同且相位差恒定，即满足干涉条件； (3) 角锥反射镜 B 每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。 线性测量配置线性测量配置及使用方法及使用方法 线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由 SJ6000 主机、主机、EC20 环境补偿单元、环境补偿单元、线性线性镜组、镜组、SJ6000 静态静态测量软件测量软件等组件构成，可满足 080m 范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。 SJ6000 激光干涉仪 - 4 - 线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路，如下图： 水平轴
7、的线性测量示意图 垂直轴的线性测量示意图 SJ6000 静态测量软件可以将线性测量结果生成指定的误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值， 运动控制系统制造商允许通过修改指定运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。 线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式， 普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供 SJ6000 测量软件进行当前点的数据采集。 线性测量线性测量应用应用 SJ6000 激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、机床、三
8、坐标、机器人、3D 打印设备、自动化设备、线性位打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。 SJ6000 激光干涉仪 - 5 - 机床 线性导轨 三坐标 激光切割机 线性测量线性测量附件附件 轻型线性轻型线性镜组镜组 特殊场合的应用特殊场合的应用 轻型线性镜组包括缩光镜和小角锥反射镜，其中小角锥反射镜的重量仅为 8g，可以直接吸附在被测物体上，最大限度地降低线性反射镜的重量影响。 轻型线性镜组的光路原理构建图 SJ6000 激光干涉仪 - 6 - 主要应用场合： (1) 线性反射镜的重量可能影响到被测轴系的机械性能或精度； (2) 线性反射镜的尺寸遇到较为困难的装夹场合； (3) 负载敏感的动态测量。 轻型线性镜组 轻型线性镜组附件应用实例： 螺纹综合测量机的测杆校准 可调转向镜可调转向镜 斜轴的测量斜轴的测量 可调转向镜本质是可实现旋转调节的平面反射镜， 通过旋转镜面可将光束偏转 25 90 的角度，通常用于斜轴的测量。 可调转向镜及其光路原理
