气体工业名词术语

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1、气体工业名词术语1. 特种气体特种气体 (Specialty(Specialty gases)gases) ：指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯 气、高纯气 或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、 标准气、环保 气、医用气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属 冶炼、热力工 程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2. 电子气体电子气体 (Elect(Elect ronron icic gases)gases) ：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分 为纯气、高纯 气和半导体特殊材料

2、气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体 主要用作稀释气 和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为 电子级、L S I (大 规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和 UL S I (特大规模集成电路)级。3. 标准气体标准气体 (Standard(Standard gases)gases) ：标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好 稳定和量值 准确的测定标准, 它们具有复现、保存和传递量值的基本作用, 在物理、化学、生物与工程 测量领域中用于校 准测量仪器和测量过程, 评价测量方法的准确度和检测实验室

3、的检测能力, 确定材料或产品 的特性量值, 进行量 值仲裁等。大型乙烯厂、合成氨厂及其它石化企业, 在装置开车、停车和正常生产过程中需 要几十种纯气和几 百种多组分标准混合气, 用来校准、定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品 质量的仪器。标准 气还可用于环境监测, 有毒的有机物测量, 汽车排放气测试, 天然气 BTU 测量, 液化石油 气校正标准, 超临界流体 工艺等。标准气视气体组分数区分为二元、三元和多元标准气体; 配气准度要求以配气允差 和分析允差来表征; 比较通用的有 SE2M I 配气允差标准, 但各公司均有企业标准。组分的最低浓度为 10- 6 级,组分数可多达 20

4、余种。 配制方法可采用重量法, 然后用色谱分析校核, 也可按标准传递程序进行传递。4. 外延气体外延气体 (Cp(Cp itaxitax ialial gases)gases) ：在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD) 的方 法生长一层或多层 材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有 4 种, 即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯 化硅, 主要用于外延硅 淀积, 多晶硅淀积, 淀积氧化硅膜, 淀积氮化硅膜, 太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀 积。外延生长是一种单 晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5. 蚀刻气体蚀刻气体 (Etch(Etch inging

5、gases)gases) ：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、 金属膜等蚀刻 掉, 而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来, 这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的 基本要求是, 图形边缘 整齐, 线条清晰, 图形变换差小, 且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方 式有湿法化学蚀刻和干 法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、三氟化 氮、六氟乙烷、全氟 丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基 片损伤和沾污, 所以 其应用范围日益广泛。1. 特种气体特种气体 (Specialty(Speci

6、alty gases)gases) ：指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯 气、高纯气 或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、 标准气、环保 气、医用气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属 冶炼、热力工 程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2. 电子气体电子气体 (Elect(Elect ronron icic gases)gases) ：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分 为纯气、高纯 气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体 主要用作

7、稀释气 和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为 电子级、L S I (大 规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和 UL S I (特大规模集成电路)级。3. 标准气体标准气体 (Standard(Standard gases)gases) ：标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好 稳定和量值 准确的测定标准, 它们具有复现、保存和传递量值的基本作用, 在物理、化学、生物与工程 测量领域中用于校 准测量仪器和测量过程, 评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力, 确定材料或产品 的特性量值, 进行量 值仲裁等。大型乙烯厂

8、、合成氨厂及其它石化企业, 在装置开车、停车和正常生产过程中需 要几十种纯气和几 百种多组分标准混合气, 用来校准、定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品 质量的仪器。标准 气还可用于环境监测, 有毒的有机物测量, 汽车排放气测试, 天然气 BTU 测量, 液化石油 气校正标准, 超临界流体 工艺等。标准气视气体组分数区分为二元、三元和多元标准气体; 配气准度要求以配气允差 和分析允差来表征; 比较通用的有 SE2M I 配气允差标准, 但各公司均有企业标准。组分的最低浓度为 10- 6 级,组分数可多达 20 余种。 配制方法可采用重量法, 然后用色谱分析校核, 也可按标准传递程序

9、进行传递。4.外延气体外延气体 (Cp(Cp itaxitax ialial gases)gases) ：在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD) 的方法 生长一层或多层 材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有 4 种, 即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯 化硅, 主要用于外延硅 淀积, 多晶硅淀积, 淀积氧化硅膜, 淀积氮化硅膜, 太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀 积。外延生长是一种单 晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体蚀刻气体 (Etch(Etch inging gases)gases) ：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜

10、、 金属膜等蚀刻 掉, 而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来, 这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的 基本要求是, 图形边缘 整齐, 线条清晰, 图形变换差小, 且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方 式有湿法化学蚀刻和干 法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、三氟化 氮、六氟乙烷、全氟 丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基 片损伤和沾污, 所以 其应用范围日益广泛。6 掺杂气体掺杂气体(Dopant(Dopant Gases)Gases)：在半导体器件和集成电路制造中, 将某种或某些杂质掺入半导

11、 体材料内, 以使材料 具有所需要的导电类型和一定的电阻率, 用来制造 PN 结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的 气体掺杂源被称为掺杂气 体。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氯化硼和乙硼烷 等。通常将掺杂源与运 载气体(如氩气和氮气) 在源柜中混合, 混合后气流连续流入扩散炉内环绕晶片四周, 在晶 片表面沉积上化合物掺杂剂, 进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅。7.熏蒸气体熏蒸气体(Sterilizing(Sterilizing Gases)Gases) ：具有杀菌作用的气体称熏蒸气体。常用的气体品种有环 氧乙烷、磷烷、溴甲烷、 溴甲醛、环氧丙烷等。其灭菌原理是利

12、用烷化作用, 使微生物组织内维持生命不可缺少的物 质惰化。最经常使用的是 以不同比例配制的环氧乙烷和二氧化碳的混合气, 根据用途不同, 环氧乙烷的含量可以是 10 %、20 %和 30 %等。也可 采用环氧乙烷和氟利昂 12 的混合气,环氧乙烷与氟利昂 11 和氟利昂 12 的混合气等。杀菌 效果与各组分浓度、温度、 湿度、时间和压力等因素有关。熏蒸气体可以用于卫生材料、医疗器具、化妆品原料、动物 饲料、粮食、纸钞、香辣 原料、塑料容器、衣料、书籍等的杀菌。8.焊接保护气体焊接保护气体(Welding(Welding Gases)Gases)：气体保护焊由于具有焊接质量好, 效率高, 易实现自

13、动 化等优点而得以迅速发展。 焊接保护气体可以是单元气体, 也有二元、三元混合气。采用焊接保护气的目的在于提高焊 缝质量, 减少焊缝加热作用带宽度, 避免材质氧化。单元气体有氩气、二氧化碳, 二元混合气有氩和氧, 氩和二氧化碳,氩和氦, 氩和氢混合气。三 元混合气有氦、氩、二氧化碳混合气。应用中视焊材不同选择不同配比的焊接混合气。9.离子注入气离子注入气( ( GasesGases forfor IonIon Implantation)Implantation)：离子注入是把离子化的杂质, 例如 P + 、B + 、As+加速到高能量状态, 然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制 V th

14、(阈值电压) 方面应用得最为广泛。注 入的杂质量可通过测量离子束 电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气, 有磷系、硼系和砷系气体。10.非液化气体非液化气体(Nonliquefied Gases)：压缩气体依据于一定压力和温度下在气瓶中的物理状态和沸点范围 可以区分为两大类, 即液化气体和非液化气体。非液化气体系指除溶解在溶液中的气体之外, 在 2111 和罐装压力下完全是气态的气体。也可定义为在正常地面温度和 1378917237kPa 压力下不液化的气体。11.液化气体液化气体(Liquefied Gases )：在 2111 和罐装压力下部分液化的气体。或定义为在正常温度和 17

15、214217237kPa 压力下在气瓶中液化的气体。压缩气体(Compressed Gases)压缩气体是指在 2111 下, 在气瓶中绝对压力超过 27518kPa 的任何气体或混合物; 或与 2111 下的压力无关, 于 5414 下绝对压力 超过 717kPa 的任何气体或混合物; 或于 3718 下气体绝对压力超 27518kPa 的任何液体。12. 稀有气体稀有气体(Rare Gases)：元素周期表最后一族的六种惰性气体中的任何一种气体, 即氦、氖、氩、氪、 氙、氡。前五种气体均可以空气分离方法从空气中提取。13.低压液化气体低压液化气体(Low P ressu re L ique

16、f ied Gases) ：临界温度大于 70的气体。区分为不燃无毒和不燃 有毒、酸性腐蚀性气体; 可燃无毒和可燃有毒、酸性腐蚀性气体; 易分解或聚合的可燃气体。此类气体在 充装时以及在允许的工作温度下贮运和使用过程中均为液态。包括的气体品种有一氟二氯甲烷、二氟氯 甲烷、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷、三氟氯乙烷、四氟二氯乙烷、五氟氯乙烷、八氟环丁烷、六氟丙 烯、氯、三氯化硼、光气、氟化氢、溴化氢、二氧化硫、硫酰氟、二氧化氮、液压石油气、丙烷、环丙 烷、丙烯、正丁烷、异丁烷、1- 丁烯、异丁烯、顺- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氯乙 烷、二甲醚、氨、乙胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、甲硫醇、硫化氢、氯甲烷、溴甲烷、砷烷、1, 3丁 二烯、氯乙烯、环氧乙烷、乙烯基甲醚、溴乙烯。14.高压液化气体高压液化气体(H igh P ressu re L iquef iedGases) ：临界温度大于或等于- 10且小于或等于 70的气 体。