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1、 我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其 中激光划线机3台（1台1064nm红光；2台 532nm绿光【两台一样】）；激光增透机1 台；激光清边机1台。非晶硅薄膜产品线介绍Date1华工非晶硅产品线介绍 激光划线机（P1为1064nm刻TCO膜、P2 为532nm刻非晶硅膜、P3为532nm刻Al铝 层） 激光增透机（P4为532nm） 激光清边机（P5为1064nm）Date2激光划线机设备机型介绍激光划线机图片仅供参考激光划线机介绍 （P1、P2、P3）Date3激光划线运用P1P2P3Date4激光划线机组成系统组成红外激光器系统、（绿激光器系统）、声 光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦
2、 系统、控制及软件系统、除尘系统.视觉定 位系统.二维高精度工作系统及定位系统和 气动夹紧系统所组成。可根据客户需求配备玻璃翻转机构。（实 现自动化生产）Date5系统的工作原理Date6划线机激光器 激光器1：(P1) 激光波长： 1064 nm 工作频率范围： 1100KHz 平均功率： 20W50kHz 激光脉冲能量不稳定性：90% 晶体： YVO4 光束质量： M2 5W30kHz 激光脉冲能量不稳定性：90% 光束质量： M2 1.1 出口光斑： 0.9mm 远场发散角： 1.8 mrad 偏振方向： 垂直 晶体: YVO4 泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦Date8划线所达到的指标 刻
3、线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘 连短路（检测方式为万用表档） 线宽：0.04mm-0.08mm可调 三条线总宽0.4mm以内Date9光学系统 （采用全封闭光路系统） 1）分光系统：四路同时输出，光束间功率最大 差别小于5，且四条光束的间距可调，调节范围 ：5mm18mm； 2）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统 3）配置2-8 倍扩束系统，保证光束高质量Date10左图所示为四光路分光聚焦系统。二 维平移台可使各自单光路系统在一 定范围内移动，以调节单光路的水 平位置；45度折返组件能将单束激 光分成能量相当的四路激光。聚焦 镜调节组件能方便用户调节激光在 垂方向上的焦点位置。采用单光
4、路 高精度组合聚焦透镜 通过调节聚 焦筒调节聚焦焦距，使之达到划线 效果最好。聚焦筒上标有刻度，方 便调整。 焦距 f=100mm浮动Z轴光点焦平面可精细调节聚焦系统Date11控制及软件系统计算机控制系统是整个激光划线机控制和指 挥的中心，同时也是软件安装的载体。通 过控制声光调制系统、四光路分光系统、 运动工作台（伺服系统）的协调工作完成 对工件的刻线处理。软件系统是采用本公司自己研发的软件（华 工激光专利），本软件操作简单，功能强 大，易于掌握，刻划参数可由软件设定并 保存。并实时显示运动轨迹。Date12软件功能介绍划线软件（华工激光专利、是激光划线机重要技术 支撑点）1）本软件界面友
5、好， 操作简单，易于掌握。 刻划参数可由软件设 定并保存。并实时显 示运动轨迹Date13二维高精度运动系统 采用工作台作二维运动方式。二维运动系统采用大理石底座使运动 的动刚度更好，有利于设备在高速运动平稳，选用进口直线电机和 高精度导轨； 重复定位精度：X轴和Y轴 3m 定位精度：X轴 2m Y轴 2m 平行度： 2m 平面度：0.02 刻线直线度：15m/1400m CCD定位精度：1um 工作行程：1100*1400mm 直线电机：X轴（龙门上激光头运动） 最大推力: 1200 N 持续推力: 586 N Y轴 （设备底座上工作台运动） 最大推力: 1200 N 持续推力:586 N Date14玻璃基板固定夹具Date15激光划线机技术参数 1）红外激光波长:1064nm 2）绿激光波长: 532nm 3）直线电机驱动划线速度：400mm-1500mm/s 4）工作幅面规格：1245mm635mm、1300mm1100mm 1400mm1100mm(工作台可根据客户工件其他规格设计制造) 5）光栅定位 6）气动及弹簧夹紧装置Date16激光在P1层的划线效果Date17激光在P2层的划线效果Date18激光在P3层的划线效果Date19谢 谢！Date20
