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1、GSD 均匀性表单GSDGSD 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-510-A QC 项目GSD 均匀性检测 设备名称测量设备RS55 注入条件AMU=11DOS=1E14ENGER= 60 KEV STD 规范STD 1.5% GSD频率1 次1 周、及设备 PM 、设备故障 日 期RMAXRMINSTD操作者是否合格GSD 颗粒表单颗粒表单文件编号:JSDG-04-09-511-AQC 项目项目GSD 颗粒测试颗粒测试测量仪器及菜单PRTC02 测试菜单：BARE-0.3UM工艺菜单005规范100 个/片(0.5um)频次1 次/2 周GSD注意事项1.表
2、格要及时填写 2.QC 过程中遇到问题要及时反映 3.“是否通过”一栏通过填“P”，否则填“F” 4.设备维护等后的 QC 备注要标明测试前测试前测试后测试后日期日期测试人员测试人员0.50.5测试前后差测试前后差值值是否合格是否合格超标原因及采取解决措施超标原因及采取解决措施备注备注GSDGSD 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-512-A QC 项目GSD 真空度检测 测量设备自带的热偶规和离子规 规范TC6 120 mtoor G3 5e-6 toor 设备名称频率1 次1 天 、及设备 PM 、设备故障 日 期TC6G3操作者是否合格备注GSD 浓度表
3、单浓度表单GSDGSD 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-513-A QC 项目GSD 浓度检测 设备名称测量设备RS55 注入条件AMU= 11DOS= 1E14ENGER=60 KEV规范R= (550-600) GSD频率1 次1 天、及设备 PM 、设备故障 日 期RMAXRMINMEN操作者是否合格GSD E-SHOWER-primary D 表单表单GSDGSD 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-514-AQC 项目GSD E-SHOWER-primary 检测测量设备自带的计算机测试 规范理论实际差值 3 设备名
4、称频率1 次1 天 日 期理论值实际值差值操作者是否合格1080 均匀性表单均匀性表单10801080 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-515-A QC 项目1080 均匀性检测 设备名称测量设备及菜单RS55 注入条件AMU= 31DOS=1.5E16ENGER=50 KEV STD 规范STD 1.5% 1080频率1 次1 周及设备 PM 、设备故障 日 期RMAXRMINSTD操作者是否合格1080 颗粒表单颗粒表单文件编号:JSDG-04-09-516-AQC 项目项目1080 颗粒测试颗粒测试测量仪器及菜单PRTC02 测试菜单：BARE-0.3
5、UM工艺菜单005规范100 个/片(0.5um)频次1 次/2 周1080注意事项1.表格要及时填写 2.QC 过程中遇到问题要及时反映 3.“是否通过”一栏通过填“P”，否则填“F” 4.设备维护等后的 QC 备注要标明测试前测试前测试后测试后日期日期测试人员测试人员0.50.5测试前后差测试前后差值值是否合格是否合格超标原因及采取解决措施超标原因及采取解决措施备注备注1080 真空度表单真空度表单10801080 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-517-A QC 项目1080 真空度检测 测量设备自带的热偶规和离子规 规范TC6 120 mtoor G
6、3 5e-6 toor 设备名称频率1 次1 天 、及设备 PM 、设备故障 日 期TC6G3操作者是否合格备注1080 浓度表单浓度表单10801080 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-518-A QC 项目1080 浓度检测 设备名称测量设备RS55 注入条件AMU= 31DOS= 1.5E16ENGER=50 KEV规范R= (10-12) 1080频率1 次1 天、及设备 PM 、设备故障 日 期RMAXRMINMEN操作者是否合格1080 E-SHOWER-primary 表单表单10801080 注入机注入机 QCQC 记录表记录表文件编号:JSDG-04-09-519-AQC 项目1080 E-SHOWER-primary 检测测量设备自带的计算机测试 规范理论实际差值 3 设备名称频率1 次1 天 日 期理论值实际值差值操作者是否合格
