x射线测厚仪示值误差测量结果的不确定度

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1、X 射线测厚仪示值误差测量结果的不确定度分析射线测厚仪示值误差测量结果的不确定度分析1、 测量方法 X 射线测厚仪的示值误差是用标准厚度板进行检定的。 2、 数学模型X 射线测厚仪的示值误差: Hh 式中:仪器的示值h标准厚度板的实际厚度。H 3、 方差和灵敏系数 Hh 灵敏系数为: ;。ic11hc12Hc令,分别表示,的标准不确定度,则1u2uhH2 222 112ucucuc4、 标准不确定度一览表 表 1标准不确定度分量iu不确定度来源标准不确定度值 umicumucii1u测量重复性0.710.72u标准厚度板H5mm 时:0.4 H5mm 时:1.9-1H5mm 时:0.4 H5m

2、m 时:1.9注:表中 H 未标准板的实际厚度,mm。5、 计算标准不确定度分量5.1、 、测量重复性引起的不确定度分量1uX 射线测厚仪的测量重复性引起的不确定度可以通过二两得到测量列,用 A 类方法 进行评定。选择 9.998mm 标准厚度板,连续测量 10 次,得到测量列(mm) 9.995、9.996、9.996、9.997、9.996、9.995、9.996、9.995、9.997、9.996.。=9.996mm 1011iihnh实验标准差: umnhhsi7 . 012 另选取 0.200mm 和 19.800mm 的标准厚度板,各在重复性条件下连续测量 10 次,每 组测量列按

3、上述方法计算得到单次实验标准差如表 2 所示。表 2标准厚度板厚度(mm)0.2009.99819.800单次试验标准差umsj0.80.70.7合并样本标准差为:psumsmsmjjp7 . 0112 则umsup7 . 015.2、标准厚度板引起的不确定度分量2u标准厚度板引起的不确定度来源于标准厚度板的厚度测量结果的不确定度,可根据证 书给出的不确定度,采用 B 类方法进行评定。标准厚度板的实际厚度 H5mm 时,厚度测量结果的不确定度为 1.0,包含因子为um 2.6,则umumu4 . 06 . 2 0 . 12标准厚度板的实际厚度 H5mm 时,厚度测量结果的不确定度为 5.0,包含因子为um 2.6,则umumu9 . 16 . 2 0 . 526、 合成标准不确定度cuH5mm 时:umumuc8 . 04 . 07 . 022H5mm 时:umumuc0 . 29 . 17 . 0227、 扩展不确定度H5mm 时,取置信因子,则2kumukUc6 . 18 . 02H5mm 时,取置信因子,则2kumukUc0 . 40 . 228、 测量不确定度报告 通过上述测量不确定度评定可知,扩展不确定度有标准不确定度和测量重复性有关,其置信因子为,其值见表 32k表 3标准厚度板厚度 (mm)扩展不确定度 um0.2001.69.9984.019.8004.0

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