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1、1 各場所消防安全設備設置標準部分條文修正草案總 明 各場所消防安全設備設置標準（以下簡稱本標準）於七十八七月三十一日訂定發布，業經八次修正。鑑於積體電製造業、半導體封裝及測試業等高科技產業廠房之潔淨區，其建築物使用型態、構造及危險性特殊，適用本標準確有困難，爰擬具本標準部分條文修正草案，增訂潔淨區消防設計及消防安全設備專編，其修正要點如下： 一、明定適用本編規定之產業別場所。 （修正條文第二百三十三條之一） 二、本編用語定義。 （修正條文第二百三十三條之二） 三、潔淨區應設置二氧化碳滅火器、室內消防栓、自動撒水設備、火警自動警報設備、標示設備。 （修正條文第二百三十三條之三至第二百三十三條之
2、七） 四、潔淨區符合規定者，得免設置排煙設備。 （修正條文第二百三十三條之八） 五、潔淨區特定區域得免設置消防安全設備。 （修正條文第二百三十三條之九） 2 各場所消防安全設備設置標準部分條文修正草案條文對照表 修 正 條 文 現 條 文 明 第四編之一 潔淨區消防設 計及消防安全設備 本編新增。 第二百三十三條之一 積體 電製造業 、 半導體封裝及 測試業 、 液晶面板及組件製 造業、發光二極體製造業、 太陽能電池製造業生產 、 製 造、研發、封裝測試之潔淨 區 ， 依本編規定設置消防安 全設備。 潔淨區內製程設備 （包 含自動物搬運系統） 之消 防安全防護或動設計 入本標準檢討範圍。 本編
3、未規定者 ， 適用本 標準各編之規定。 一、本條新增。 二、照政院主計總處 業標準分 ， 明定積體電 製造業 、 半導體封裝及 測試業 、 液晶面板及組件 製造業 、 發光二極體製造 業 、 太陽能電池製造業生 產、製造、研發、封裝測 試之潔淨區 ， 適用本編規 定。 第二百三十三條之二 本編 用語定義如下： 一、潔淨區（Clean Zone） ： 相關產業之生產製造 區域中空氣中子濃 控制可符合國際標 準組織 （ISO） 第 14644 號規定等級1 （Class 1） 至等級 9（Class 9）之 區域 。 僅限於主要生產 製造機台設備所處位 置及結構內潔淨氣 循環所經之區域 ， 包 含
4、化學房 、 實驗室與其 他支援生產設施區域。 二、潔淨室（Cleanroom） ： 主要生產機台設備所 處位置之潔淨區。 三、上回風層（Air Plenum） ：潔淨室上方 層經建築檢討計入 地板面積區域。 四、下回風層（Return Air Plenum） ：潔淨室下方 層。 五 、 格子板 （Waffle Slab） : 一、本條新增。 二、明定本編用語定義。 3 於結構板施作開口 以達潔淨區氣循環 目的。 、 高 架 地 板 （ Raised Floor） ：自結構地板 面使用裝修支撐材 施作之地面 ， 以達調整 氣循環與支撐生產 製造設備設施之目的。 七 、 卻 乾 盤 管 （ Dry
5、 Cooling Coil） ：調整控 制潔淨區循環氣溫 濕之設備。 八、管橋（Bridge） ：通 分屬棟建築潔淨區 間之橋式通道以提供 生產製造作業續性 (人員、原物、中間 產品、在製品)之需求 且該區環境屬潔淨區。 九、回風豎井（Return Air Shaft） ：潔淨區循環氣 之垂直通道。 十、氣室（Air Shower） ： 人員經該室通道空 間透過氣吹去除 粉塵後始可進入潔淨 區 ， 可避免污染潔淨區 潔淨。 十一、風機過器（Fan Filter Unit） ：結合送風 機與網之設備 ， 提供 潔淨區潔淨氣循環 與維持潔淨。 十二、自動物搬運系統 （Automated Mater
6、ial Handling System） ：提 供潔淨區內生產機台 間製程需求之運輸系 統 ， 可透過其系統設備 如軌道(Railway) 、 升 設備(Clean Lifter)進 傳輸作業並將物儲 放 於 儲 設 備 (Stocker)或塔式儲4 設備(Tower Stocker)等 內。 十三、本編所提之潔淨室、 上回風層 、 下回風層與 回風豎井 ， 係為產業常 設計配置 ， 但限於 此。 第二百三十三條之三 潔淨 室、上回風層、下回風層與 管橋應設置二氧化碳滅火 器 ， 其設置準用第三十一條 規定。 一、本條新增。 二、為避免潔淨區之汙染 ， 照 潔淨區消防安全設備 設置指導綱 規範
7、，明 定應採用氣體之二氧化 碳滅火器。 第二百三十三條之四 潔淨 室、上回風層、下回風層與 管橋應設置室內消防栓設 備 ， 其設置準用第三十二條 至第三十八條規定。 一、本條新增。 二、照 潔淨區消防安全設 備設置指導綱 規範， 明定應設室內消防栓設 備。 第二百三十三條之五 潔淨 室、上回風層、下回風層、 豎井頂部與管橋應設置自 動撒水設備。 自動撒水設備應符合 下規定： 一、設置密閉濕式撒水頭。 二 、 撒水頭應為快速反應型 （第一種感） ，該區 域任一點至撒水頭之 水平距在二點三公 尺以下 。 但設於防火構 造建築物，其水平距 ， 得增加為二點公 尺以下。 三 、 撒水密應為最遠距 設計
8、面積百八十平 方公尺條件下 ， 每平方 公尺每分鐘八公升以 上。 四 、 水源容應在最遠之三 十個撒水頭續放射 十分鐘之水以上。 五 、 密閉式撒水頭設置於下 回風層 ， 受第四十七 條第一項第二款至第 四款 、 第八款及第二項一、本條新增。 二、考潔淨區規模大 ， 照 潔淨區消防安全設備 設置指導綱 及美國國 家防火協會半導體製程 設備防護標準（NFPA 318）之規範，明定潔淨 區應設自動撒水設備。 5 集熱板等規定限制。 、 潔淨區自動撒水設備設 置受本標準第四編 限制。 排放可燃性氣體之排 氣導管如非燃材構 造，且排氣導管最大截面積 大於點四八平方公尺 時，導管內部應設置自動撒 水設備
9、，並符合下規定： 一 、 撒水密每平方公尺每 分 鐘 一 點 九 公 升 以 上 ， 水源容應在最遠 之五個撒水頭續放 射十分鐘之水以 上。 二 、 撒水頭水平間隔距在 點一公尺以下 ， 垂直 間隔距在三點七公 尺以下。 三 、 應設置獨分區之水 檢知裝置或具同等性 能之指示控制閥。 四 、 應設置排水裝置將消防 撒水排出風管內。 五 、 管內如有腐蝕性化學物 質者 ， 配管應使用耐腐 蝕性材。 第二百三十三條之 上回 風層、潔淨室、下回風層、 管橋應設置火警自動警報 設備 ， 並由緊急應變中心監 控。 前項火警自動警報設 備，依實際情況需要，就侷 限型、空氣取樣式擇一設 置 ， 各層設備型式
10、得獨設 置。 侷限型火警自動警報 設備應符合下規定： 一、設置偵煙式探測器。 二 、 探測器裝置位置準用第 一百一十五條規定 ， 但 潔淨室風機過器及 下回風層板提供潔一、本條新增。 二、明定潔淨區應設置火警 自動警報設備之區域 ， 並 得就侷限型 、 空氣取樣式 擇一設置。 三、鑑於空氣取樣式探測器 技術已臻成熟及標準 化，且國內半導體晶圓、 液晶顯示器面板等製造 廠區普遍設置使用 ， 爰 考美國國家防火協會火 警自動警報設備標準 （NFPA 72）規定訂定設 置空氣取樣式探測器相 關規定。 6 淨循環氣之孔 受第一百一十五條規 定限制。 空氣取樣式火警自動 警報設備依下規定設置： 一 、
11、空氣取樣式火警自動警 報設備潔淨區循環氣 徑中並於補充空 氣稀釋前 ， 提供至少小 於點遮蔽（% obs/m）敏之主動 式抽氣系統 。 設備應於 下位置擇一設置： （一） 下回風層格子板下 方。 （二） 潔淨循環氣與新鮮 空氣循環混氣前。 二 、 單一探測器組及取樣孔 之防護範圍 ， 應符合下 規定： （一） 設置於回風乾盤管前 系統 ， 每一探測器組防 護面積得超過十 平方公尺 ， 每一平方公 尺至少有一個取樣孔。 （二） 設置於下回風層格子 板下方系統 ， 每一探 測器組防護面積得 超過五百平方公尺 ， 每 十平方公尺至少有一 個取樣孔。 三、探測火災發生時，應能 發出警報並將警報訊 號傳
12、送至遠端進監 控管。 四、取樣管可分支。 五 、 最遠端空氣取樣孔之探 測反應時間得超過 一百二十秒。 、 具取樣管氣常之 監測功能。 前項空氣取樣式火警 自動警報設備竣工後 ， 應採 用殘、污染之煙霧， 以距每一根空氣採樣管7 之管末端採樣孔處噴放煙 霧試劑秒 ， 應在一百二十 秒內觸發第一段警報。 第二百三十三條之七 潔淨 室、上回風層、下回風層與 管橋應設置標示設備 ， 其設 置準用第一百四十條至 第一百五十條之規定。 潔淨室與下回風層因 生產製程機台之環境條件 需求 ， 標示設備與火警自動 警報設備之探測器設有 動燈者 ， 得予以減光或消 燈。 一、本條新增。 二、明定應設置出口標示
13、燈 、 避難方向指示燈等標 示設備。 第二百三十三條之八 潔淨 區符合下規定者 ， 免設排 煙設備： 一 、 設置空氣取樣式火警自 動警報設備。 二、設置自動撒水設備。 三、建築物結構為防火構 造。 四 、 該區域排氣風管為屬 燃材質。 五、該區域可燃、燃性液 體輸送管為屬材 質。但考製程相容 性，可使用雙套管，內 管為塑材 ， 外管為屬 燃材質。 、 管橋接側潔淨區之 通道開口具二小時防 火時效。 七 、 廠內二十四小時有人值 班應變。 一、本條新增。 二、考日本、美國、歐盟等 先進國家或區域標準 ， 針 對半導體晶圓 、 液晶顯示 器面板等製造廠區之潔 淨室 （區） 無設置排煙設 備之規定 ， 及考是場 所為維持其潔淨及製 程設備之特殊需求 ， 設置 排煙設備確有困難 ， 爰訂 定本條。 三、考潔淨室得免設置排 煙設備 ， 為提升是場所 消防安全 ， 訂定潔淨區應 設置空氣取樣式火警自 動警報設備 、 自動撒水設 備及建築物結構應為防 火構造等規定 ， 期發揮極 早偵知火災 、 侷限火勢等 功能。 第二百三十三條之九 下 區域免設消防安全設備： 一 、 高架地板與結構地板 或格子板間。 二 、 天花板上方至上回風層 結構地板間。 三、氣室。 一、本條新增。 二、考潔淨區廠房構造特 殊 ， 明定得免檢討設置消 防安全設備之區域。
