无尘室运转保养

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1、无尘室运转与维护管理无尘室运转与维护管理 简介：简介： 无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨；无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。 关键字：关键字：无尘室 污染源 运转管理 维护保养 一、污染源控制一、污染源控制 无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约 80%，如图 1所示。实验

2、数据显示，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图 2 为微尘粒子的传送路径。 对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四： 1.外部尘埃侵入之防止

3、： 无尘室适当之正压保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 2.室内发尘之防止： 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 3.室内发尘之不积留： 墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。 4.发生尘埃之排除： 换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。 人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。 表

4、1 自然界微尘粒子数 测量地点 微尘粒子数（个/ft）0.5m 大气层圈 100 田园地区（微风状态） 100，000300，000 住宅地区 100，000200，000 办公室（工作中） 200，000400，000 工业区 400，0001，000，000 正在吸烟的会议室 600，0001，000，000 二、无尘室运转管理二、无尘室运转管理 无尘室运转管理， 可依作业人员、 原物料、 设备及无尘室内所用东西等加以探讨， 并依计划 （planning） 、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之 PDCA 循环步骤执行。 1.作业人员之管理 前以提及在无尘室

5、内污染来源 80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下： （1）进入无尘室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态之观念。 （2）作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依无尘室进出标准流程进出无尘室，如图 3 所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。 （3）对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据，并加以教育与训练，内容如无尘室管理之一般常识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行

6、方式等，并经考试合格者方能进入无尘室工作。 （4）在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。 （5）在无尘室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项： a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。 b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。 c.与作业无关的私心谈话尽量避免。 d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表 2 所示为人体在不同动作时之发尘量。 e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。 f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。 （6）作业人员须经常保持干净之手，除

7、了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以防皮肤之剥离，男性须每天刮胡子。 （7）洁净衣要经常保持着衣之状态。 （8）下列所述者不能进入无尘室： a.非作业人员或事先未得许可者。 b.未照规定穿着洁净衣者。 c.刚做激烈运动流汗者。 d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。图 4 为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图，由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的 90 倍，直至 30分钟后才降至 15倍，此为为何无尘室禁止吸烟人员和吸烟未满 30 分钟不准进入的原因所在。故针对在无尘室作业人员之招募， 若能选择不吸烟者为对象，将可带来甚大利益。 0.3m 0.5m 无尘服 无尘服 一般

8、工作服 白衣形 全覆形 普通作业服 白衣形 全覆形 站立（静姿） 543，000 151，000 13，800 339，000 113，000 5，580 坐下（静姿） 44，800 142，000 14，800 302，000 112，000 7，420 腕上下 4，450，000 463，000 49，000 2，980，000 298，000 18，600 上身前屈 3，920，000 770，000 39，200 2，240，000 538，000 24，200 腕的自由运动 3，470，000 572，000 52，100 2，240，000 298，000 20，600 头的上下运

9、动 1，230，000 187，000 22，100 631，000 151，000 11，000 屈身 4，160，000 1，110，000 62，500 3，120，000 605，000 37，400 踏步 4，240，000 1，210，000 92，100 2，800，000 861，000 44，600 步行 5，360，000 1，290，000 157，000 2，920，000 1，010，000 56，000 单位：每分钟、每人 表 2 人体不同动作之微尘产生数 （9）有下列健康状态或体质者原则上不能进入无尘室： a.因日晒、湿诊而皮肤有问题者。 b.化学纤维或有机溶剂等

10、化学药品有过敏性体质者。 c.容易出受汗者。 d.比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者。 e.化妆或涂口红者。 f.有重大精神病、神经过敏或闭琐恐惧者。 g.因哮喘、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。 但对于有下列性格的人，则最适宜进入无尘室工作： a.做事细心有耐性者。 b.勤于整理整顿，经常自己注意身边清洁的人。 c.经常留意自己之健康者。 10.以下之物品不能带进无尘室： a)没有经过清洁过程之器材、零件物品、测定器等各种物品。 b)纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印数据等。 c)铅笔、橡皮擦、墨水等。 d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。 e)作业员个人用品如打火机、宝石、

11、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。 无尘室洁净度维持之最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行，提高无尘室内作业人之洁净度意识、反复教育，均为必须，表 3 所示为因作业人员之动作而产生污染的增加倍率。 转贴于 中国论文下载中心 http:/ 2.原物料、设备进出管理 除了人员进出无尘室须予于规范管理外， 愿物料及设备之进出也必须经过洁净程序， 方不至于影响无尘室之洁净度。其进无尘室之流程如表 4 所示。至于搬出则反方向而行，但不须经洁净程序。 原物料及设备进出用无尘室为无尘室等级 1000 或 10000 级之房间，工作人员于其室内清洁

12、设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无尘纸或不会脱落织毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入 35浓度的 IPA 或丙酮化学品，以增强去污能力，由于 IPA 及丙酮具挥发性，故此房间之排气效果须特别考虑。搬运设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。 3.无尘室内用品管理 无尘室内用品除了进出无尘室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。 洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不

13、附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。无尘室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底， 布质部分则采用与洁净服相同材质即可， 鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny1），在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用， 手套表面有粉质时须去除或停用， 原

14、则上不使用有粉之 Viny1 手套为佳。 洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘室内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约 0.2m 之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为 23 天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为无尘室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。 桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂（Epxoy）加工以防表面发尘。工作桌最好有打洞，边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者

15、为原则。但若一定须使用高脚椅时， 则要准备脚踏环。 桌及椅子之脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。 芯片盒为放置芯片之用， 材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗 （Teflon）等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折迭式，材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎， 车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。 推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者，且不得使用影印数据，若非万不得已须使用，则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背， 同时不可于室内撕破或将纸揉成一团， 避免造成环境之污染。 如表 5 所示为不同纸张材质发尘量之比较。 普通黑板及粉笔当然不能在高无

16、尘室内使用， 必要时可在更衣室等无尘室较低等级的区域使用白板。 无尘室内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。 表 5 不同纸张发尘量比较（略）（实验方法：将两者纸张相迭，而相互磨擦时所产生之纸尘量小于 0.5M 以上） 真空吸尘器， 其功能是在吸取无尘室内地板上、 下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬， 以达到清洁的目的， 由于真空吸尘器在作业时会有排气产生， 若未经处理，将严重影响无尘室之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有 HEPA 过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级无尘室均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气旦之控制避免使无尘室内之压力降低至规定范围以下。 至于真空吸尘器因属无尘室内专用，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的无尘室中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。 三、无尘室各系统维护保养管理