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1、1TFTTFT 技术及技术及 TFT-LCDTFT-LCD 产业发展状况产业发展状况初步调研报告初步调研报告目录目录一、引言一、引言.2二、二、TFT 及其技术特点及其技术特点.31、TFT（薄膜晶体管）.32、TFT 的技术特点.3三、三、TFT-LCD 的主要特点的主要特点.51、TFT-LCD 制作过程简介.52、TFT-LCD 的主要特点.6四、四、TFT-LCD 主要应用领域及各世代线产品定位主要应用领域及各世代线产品定位.71、TFT-LCD 的主要应用领域.72、TFT-LCD 各世代线产品定位.7五、五、TFT-LCD 产业链分析产业链分析.8六、国际六、国际 TFT-LCD
2、产业的发展情况产业的发展情况.81、全球 TFT-LCD 市场增长情况.92、TFT-LCD 市场的主要增长点.93、TFT-LCD 市场未来几年供求状况.104、TFT-LCD 生产线发展趋势.105、全球 TFT-LCD 产业竞争格局.11七、我国七、我国 TFT-LCD 产业的发展情况产业的发展情况.131、我国 TFT-LCD 产业整体发展情况.132、我国 TFT-LCD 产品市场发展情况.133、我国 TFT-LCD 生产线投资发展情况.14八、八、TFT-LCD 生产线及投资生产线及投资.151、TFT-LCD 生产线的技术特点.152、TFT-LCD 中小尺寸生产线现状分析.1
3、63、TFT-LCD 大尺寸生产线现状分析.194、TFT-LCD 生产线投资特点.202一、引言一、引言科学技术的发展日新月异，显示技术也在发生一场革命，特别是自 90 年代以来，随着技术的突破及市场需求的急剧增长，使得以液晶显示（LCD）为代表的平板显示（FPD）技术迅速崛起。FPD 市场规模正在快速发展，其年平均增长率远高于阴极射线管显示（CRT）市场，FPD 技术替代 CRT 技术的趋势十分明朗，可以说平板显示将成为 21 世纪显示技术的主流，其产业和市场在不断扩增之中。CRT（Cathode Ray Tube，阴极射线管）实际上是一种真空管（Vacuum Tube），已经有 100
4、多年的发展历史了。到 20 世纪 80 年代末、90 年代初才产生了 PDP（Plasma Display Panel，等离子显示面板），把 CRT 时代的一个真空管变成了真空管的阵列；其进一步的发展是 FED（Field Emission Display，场致发射显示）。20 世纪 90 年代初，人们尝试把真空管阵列做成非真空的，因此出现了以非晶硅（Amorphous Silicon, a-Si） TFT-LCD 为基础的平板显示（Flat Panel Display, FPD）技术。人们发现，非晶硅 TFT 有很多优点，所以发展迅速，很快就上升为显示领域的主流产业。目前，平板显示的状况主要
5、有两个特点：第一，非晶硅 TFT-LCD 作为主流技术，现在越做越大。第 8 代生产线现在已经开始量产；单个公司的经营规模，也从过去的一条线到现在十几条线，投资规模越来越大，甚至达到 100 亿美元左右的水平。第二，低世代（第 1 代第 4 代）的生产线都逐步向多晶硅转型。因为不管是将来的流媒体电视也好，还是手机的智能化、多媒体化也好，都对显示器件提出了很强的集成功能的要求，非晶硅很难做到系统集成。并且，高效率、开口率越来越小以及低电耗等要求目前只能用多晶硅技术来实现。而且，多晶硅在低世代产品（手机、照相机、掌上电脑的显示屏）领域的应用已经趋于成熟。目前竞争最激烈的平板显示器有四个品种：（1）
6、场致发射平板显示器（FED）；（2）等离子体平板显示器（PDP）；（3）有机薄膜电致发光器（OEL）；（4）薄膜晶体管液晶平板显示器（TFT-LCD）。下面将主要介绍 TFT-LCD 技术及产业发展情况。3二、二、TFT 及其技术特点及其技术特点1、TFT（薄膜晶体管）（薄膜晶体管）TFT（Thin Film Transistor）是指薄膜晶体管，意即每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息，是目前最好的 LCD 彩色显示设备之一，其效果接近 CRT显示器，是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。TFT 的每个像素点都是由集成在
7、自身上的 TFT 来控制，是有源像素点。因此，不但速度可以极大提高，而且对比度和亮度也大大提高了，同时分辨率也达到了很高水平。目前，绝大部分笔记本电脑厂商的产品都采用 TFT-LCD。早期的 TFT-LCD 主要用于笔记本电脑的制造。尽管在当时 TFT 相对于 DSTN 具有极大的优势，但是由于技术上的原因，TFT-LCD 在响应时间、亮度及可视角度上与传统的 CRT 显示器还有很大的差距。加上极低的成品率导致其高昂的价格，使得桌面型的 TFT-LCD 成为遥不可及的尤物。不过，随着技术的不断发展，良品率不断提高，加上一些新技术的出现，使得 TFT-LCD 在响应时间、对比度、亮度、可视角度方
8、面有了很大的进步，拉近了与传统 CRT 显示器的差距。如今，大多数主流 LCD 显示器的响应时间都提高到 50ms 以下，这些都为 LCD 走向主流铺平了道路。LCD 的应用市场潜力巨大。但就液晶面板生产能力而言，全世界的 LCD主要集中在中国台湾、韩国和日本三个主要生产基地。亚洲是 LCD 面板研发及生产制造的中心，而台、日、韩三大产地的发展情况各有不同。目前主流的TFT 面板有 a-Si（非晶硅薄膜晶体管）。2、TFT 的技术特点的技术特点 TFT 技术是二十世纪九十年代发展起来的，采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术，是液晶（LC）、无机和有机薄膜电致发光（EL和 OEL）
9、平板显示器的基础。TFT 是在玻璃或塑料基板等非单晶片上（也可以在晶片上）通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜，通过对膜的4加工制作大规模半导体集成电路（LSIC）。采用非单晶基板可以大幅度地降低成本，是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低成本方向的延伸。在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元（LC 或 OLED）开关性能的 TFT 比在硅片上制造大规模 IC 的技术难度更大。对生产环境的要求（净化度为 100 级），对原材料纯度的要求（电子特气的纯度为 99.999985%），对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成，是现代大生产的顶尖技术。其主要特点有： （1）大面积：九十年代初第一代大面积玻璃基板（300mm400mm）TFT-LCD 生产线投产，到 2000 年上半年玻璃基板的面积已经扩大到了680mm880mm，最近 950mm1200mm 的玻璃基板也将投入运行。原则上讲没有面积的限制。 （2）高集成度：用于液晶投影的 1.3 英寸 TFT 芯片的分辨率为 XGA 含有百万个象素。分辨率为 SXGA（12801024）的 16.1 英寸的 TFT 阵列非晶体硅的膜厚只有 50nm，以及 TAB ON GLASS 和 S
