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1、万级无尘室概念解说及万级无尘室构成无尘室可以分为很多等级，且无尘室的应用范围很广。这里无尘室设计净化专家康鼎净化带您了解一下万级无尘室的概念以及构成。无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2 里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围
2、内，而所给予特别设计之房间。世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】 ，可将无尘室分为六级。分别是 1 级、10 级、100 级、1000 级、10000 级、100000 级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为 0.5m，例如，1 级、10 级、100 级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于 1 颗、10 颗、100 颗，如果尘粒尺寸不是 0.5m，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10 级在 0.2m(尘粒尺寸在 0.2m 或更大下，密度不大于 75 颗/立方英尺)，1 级在
3、 0.1m(尘粒尺寸在 0.1m 或更大下，密度不大于 35 颗/立方英尺)。万级无尘室的构成1、隔间万级无尘室隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(airshower), 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无尘室的灰尘. 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果.2、风系统系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统.全新风空调箱结构FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器千级区过滤器采用 HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采
4、用 ULPA,过滤效率99.9995%3、水系统冰水系统分为一次侧和二次侧.一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在12-14度.4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量.5、其他系统不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统。
