专业介绍(微电子制造工程)

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1、“微电子制造工程微电子制造工程”专业基本情况介绍专业基本情况介绍基本情况简介（师资情况、科研情况和学科建设情况等）基本情况简介（师资情况、科研情况和学科建设情况等）师资情况：师资情况：本所在“微电子制造工程”专业现有专职教师 26 人，博士导师 12 人，教授 16 人，副教授 5 人， 讲师 5 名。其中，中国工程院院士 1 人，特聘教授 2 人，教育部（跨）新世纪优秀人才 3 人，芙蓉学 者特聘教授 2 人。科研情况：科研情况：承担国家重大基金项目，重点项目，面上项目，973 项目，863 项目共 400 余项，近 5 年发表相关论文 300 多篇，获省部级一等奖、二等奖等十余项。 学科建

2、设情况：学科建设情况：本学科具有博士和硕士学位授予权，依托“高性能复杂制造”国家重点实验室，建立了光电子 器件制造实验室和微电子制造实验室，开辟了“先进电子制造” 、 “数字装备与计算制造”等新兴方向。 专业简介（专业方向、教学、实验条件等）专业简介（专业方向、教学、实验条件等）微电子制造工程专业学生毕业后可在微电子、电子、精密机械、MEMS、超精密制造、光电子、通信、计算 机、材料、航空航天等行业相关单位，从事微电子、光电子器件的工艺研究、制造设备研究，芯片封装设计及 制造等方面的应用研究、设计制造、工艺试验、技术开发、过程控制、运行管理、经营销售和科研教学工作， 并具有较强的社会适应和自我

3、发展能力。 微电子制造工程专业已有专业教学实验室 6 个、省部级重点实验室 2 个，具体情况如下：1）2003 年，光电 子制造实验室，投资约 70 万。2）2004 年，中南大学微纳制造技术与装备研究中心 。3）2005，光电检测实验 室 4）2006 年，新建微电子制造成实验室，投资约 150 万元。5）2007 年，中南大学ASM 微电子封装技术实 验室，投资约 50 万元。6）2008 年，IC 芯片制造实验室。 微电子制造工程专业已有的教学实验设备：超高真空计、净化涂胶台、测射台、涡轮分子泵、电子束蒸发器、 卧式平板等离子刻蚀机，键合机；光纤熔融拉锥机；光纤端面研磨机；光纤连接插芯的

4、研磨实验系统；干涉测 量仪；显微图像系统；插损回损测量仪课程简介（分专业方向介绍课程课程简介（分专业方向介绍课程必修、选修）必修、选修）1、半导体器件物理（必修） 本课程是一门微电子和电子信息科学与技术的基础课程，通过教学环节，使学生掌握微电子学中的半导体基 本原理、物理机制和特性，掌握各类常用半导体器件的工作原理、性能参数及其半导体材料参数、器件结构参 数和制造工艺参数之间的相互关系，学习半导体器件的基本设计方法，从而使学生能够为今后的电路设计（包 括集成电路在内）打下良好基础。 2、微电子制造学（必修） 本课程主要介绍由半导体器件技术、硅和硅片制备、测量学和缺陷检查、氧化、淀积、金属化、光

5、刻、刻蚀、 化学机械平坦化、离子注入、装配与封装等部分组成。通过本课程的学习，使学生掌握超大规模集成电路制造 所必需的基本理论、基本知识和基本技能，分析多种微电子制造的特点，了解微电子技术的现状、发展规律和 发展趋势，并能运用所学知识解决本专业涉及有关微电子制造方面的实际问题。 3、微电子封装工程（必修） 本课程是一门微电子工程的基础课程，通过教学等环节，使学生掌握微电子工程中的芯片封装基本理论知识， 建立微电子封装的基本概念与制造工艺流程、掌握其分析的基本理论方法和实验测试方法。为学生从事专业工 作、进一步深造学习奠定初步的微电子制造理论基础。 4、光纤通信器件与技术（选修） 本课程介绍了光

6、纤通信网络中所用的各种器件，包括光纤、光放大器、波长选择器、光开关及各种类型的集 成器件（玻璃集成器件、混合集成器件与单片集成器件） ，并从原理、结构、性能参数、材料、制造工艺、应用 以及今后的发展趋势等各方面进行了阐述。 5、MEMS 技术（选修）本课程内容由微系统技术简介、系统技术中的材料、各种微细加工方法及微系统和微细加工的检测技术等部 分组成。通过本课程的学习，使学生了解微系统技术的概念、现状与发展前景、掌握各种微细加工方法的原理、 主要特点、和典型应用，并能运用所学知识分析微细加工方面的实际问题，激发学生学习、研究微系统技术和 微细加工技术的热情。 6、集成电路工艺原理（选修） 本课

7、程主要介绍了以硅外延平面工艺为基础的，与微电子技术相关的器件（硅器件） 、集成电路（硅集成电 路）的制造工艺原理和技术；介绍了与光电子技术相关的器件（发光器件和激光器件） 、集成电路（光集成电路） 的制造工艺原理，主要介绍了最典型的化合物半导体砷化镓材料以及与光器件和光集成电路制造相关的工艺原 理和技术。 7、压电学与超声驱动（选修） 通过教学与实验环节，使学生掌握芯片封装设备机械组成，核心单元工作的基本理论知识，建立超声键合工 艺与装备的基本概念、掌握其分析的基本理论方法和实验测试方法；掌握压电材料基本知识，压电换能器振动 模态描述与分析方法，超声驱动装置的设计与装配工艺流程。为学生从事专业

8、工作、进一步深造学习奠定初步 的理论基础。 8、光电检测技术（选修） 本课程主要介绍光电检测系统的组成原理、工作特点及设计、分析、应用方法，突出理论联系实际，培养实 际应用能力。通过学习本课程, 使学生了解微电子与光电子的紧密联系，掌握实现光电检测的基本原理和基本 方法, 以达到使学生能够运用光电检测技术解决实际问题的目的。 9、可编程序控制器原理及应用（选修课） 本课程主要介绍可编程序控制器（PLC）的原理、构造、使用和设计方法。讲授 PLC 基本结构及工作原理； PLC 编程指令与编程方法；PLC 高速处理与中断技术；PLC 控制系统设计方法和典型应用；PLC 控制系统的软、 硬件调试方法等。就业前景及其它就业前景及其它本专业具有工学学士、工学硕士和工学博士学位的授予权，学生可以选择进一步深造。学生毕业后可在微电 子制造、光电子制造、MEMS 制造、精密机械、通信、航空航天等相关单位从事微电子、光电子器件的制造工艺 与装备研究、技术开发、技术管理、设备运行与维护、经营销售，和高等院校、科研院所的教学与科研工作。 本专业择业面广，市场需求量大，就业情景好。