《分子泵操作保养规程》由会员分享，可在线阅读，更多相关《分子泵操作保养规程（2页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、作业德信科技集团有限公司 ITO 厂版本3.0 文件编号QW-L3-209文件分子泵操作保养规程页次1/2实施日期2007.07.011、目的 通过对分子泵的了解，使操作使用人员，更好的维护设备，确保设备正常。 2、范围 适合于 ITO 厂所有分子泵。 3、职责 设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业，保证分子泵的正确使用和维护。 4、内容 4.1 操作要求 4.1.1 分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上，以防松弛造成漏气； 4.1.2 不能在大气状态下开分子泵，必须在达到 10Pa 时才能打开其相应的高阀，开启分子 泵； 4.1.3 当 M2（箱体 2）或 M7 的真空度始终抽不到位时
2、，应检查旋片泵的电磁阀工作是否正 常； 4.1.4 在开分子泵前必须打开冷却水阀；在分子泵的叶轮停止运转后，必须关闭冷却水阀； 4.1.5 每次停机后，务必清洁各分子泵的进气口处，使其保持干净，以避免不必要的损坏； 4.1.6 当出现报警信息“EF”时，应检查冷却水路是否通畅，可用气枪检查。确保水路顺畅后， 方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵，待后处理； 4.1.7 在分子泵出现问题而不能使用时，应暂停生产，手动充大气后，更换备用的分子泵； 4.1.8 当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常； 4.1.9 当分子泵出现故障时,须根据故障提示作
3、相应处理。 4.2 维护与保养 4.2.1 一级保养 4.2.1.1 经常保持分子泵外壳的清洁； 4.2.1.2 正常生产过程中须经常检查分子泵温度,听是否有异常震动和声音； 4.2.1.3 检查分子泵油位是否正常； 4.2.2 二级保养 4.2.2.1 分子泵工作 4000 工作时以上或一年必须换油一次 4.2.3 三级保养 4.2.3.1 检查泵的绝缘性能； 4.3 注意事项 4.3.1 分子泵油量 4.3.1.1 分子泵油量应处于油标上下限之限之间，不得低于油标下限，以保证轴承的良好 润滑，油标为红色标志线。 4.3.1.2 分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油。润滑
4、油应洁 净，严禁污物，杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。 4.3.1.3 更换润滑油时，油池应清洗干净：第一次使用时，泵工作 1000 小时后，即应更换； 正常工作后。每工作 4000 小时即应更换，即使工作时间不足 4000 小时，一年内 至少更换一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体，润滑油充注及 更新时间间隔应缩短。 4.3.2 泵污染 4.3.2.1 泵污染的标志是即使漏气和脱附气率没有长时间变化，甚至长时间烘烤也不能 恢复其真空性能，这时应对泵进行清洗，清洗需由专业技术人员处理，严禁不经作业德信科技集团有限公司 ITO 厂版本3.0 文件编号QW-L3-209文件分子泵操作保养规程页次2/2实施日期2007.07.01培训而私自拆泵。 4.3.3 冲击防护：分子泵是高旋转机械，动静片间间隙很小，不能抗过大的冲击。5、应用表单5.1设备维修及构件制作联系单QR-T3-0086、文件变更记载 6.1 第一次变更：2007 年 7 月 1 日。编 制 审 核 批 准
