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1、1.特气换瓶作业指导书特气换瓶作业指导书 1.适用范围与目的适用范围与目的 本作业指导书适用于上海盛韬科技有限公司气柜的操作。其目的是明确作业方法，安全 操作，尽快发现异常情况。操作人员需具备特气操作的基本规范知识，且经过培训，合格后 才可以操作此气柜。 2.换瓶周期换瓶周期 不定期（1） 当高压值（重量值）低于或等于最低值时实施； （2） 当气瓶内气体有效期限超期时实施。 3. 个人防护：个人防护：只有经过培训且合格的操作人员，才可以进行设备的操作。操作时应根据特 气的特性配备相应的防护用品。防护用品包括：呼吸器，防护眼镜，防护手套，防火衣服和 安全鞋。 4. 使用工具：使用工具：操作人员应
2、使用合适的工具进行钢瓶的拆卸和安装以及钢瓶的运输。准备好 下列工具：普通扳手、力矩扳手、清洁消毒纸、酒精、检漏液“SNOOP” 、垫 圈 。 5. 操作规范操作规范： A.注意事项注意事项 1.1 在调换钢瓶气体之前必须征得车间有关人员同意，必要时请车间停止工艺。 1.2 为确保设备和人员的安全，操作者必须按以下内容仔细完成，并按完成情况在特气钢 瓶更换操作步骤控制表 （帖在气柜门上）相应栏目上打“” 。 1.3 操作者必须清楚此气柜的设施是完好的。 1.4 操作者必须知晓所换气体的特性和遇到紧急情况时的处理方法。 1.5 切记换下的空钢瓶存有余量，要格外小心对待。 B.作业方法作业方法 1：
3、操作人员需进行双人配合操作，一名为主操手，主操手负责钢瓶更换时的所有操作；另 一人为操作监护人员， 负责记录操作执行的每个过程以及对主操人员的所有操作进行监护和 确认。 2 预备工作。备好一瓶新的相同气体，确认有效期限。 2.2.1 确认该气瓶的高压，表显示压力最小 10psi。 2.2.2 打开气柜检修窗。 2.2.3 完全关闭钢瓶阀门，关闭高压送气阀。 2.3：操作人员首先进入主画面，选择登录，并输入相应的密码，以登入系统，并选择操作。 2.4：选择要操作的面板，然后进入相应的面板，选择钢瓶更换。如果钢瓶在供应或备用状 态， 操作人员要首先将此面板切换到准备状态。 在准备状态下， 操作人员
4、可以选择换瓶吹扫。 2.5：在钢瓶吹扫画面下，选择自动吹扫，系统会提示操作人员关闭钢瓶阀。只有操作人员 确认后，系统才会依照钢瓶换瓶的吹扫流程进行特气的排放，钢瓶的测漏，PT 调零和换瓶 前吹。 在以上过程中，系统会对每个流程进行检测，以确保每个流程执行完整，正确。 2.51：特气排放时，气体从低压端排放。 2.52：钢瓶测漏：主要用来检测钢瓶阀是否安全关闭。 2.53：PT 调零：主要用来对 PT 进行零位检测和调整。 2.54：换瓶前吹：主要对高压隔离阀前端进行吹扫和气体的置换，以保证钢瓶拆下时，对操 作人员没有危害。钢瓶拆卸时，主操人员应配带呼吸器和其它安全防护用品。吹扫次数最少 为 3
5、0 次。操作人员可以根据特气的特性做适当的调整。 2.6：当钢瓶前吹结束后，系统会提醒操作人员更换钢瓶。在钢瓶更换过程中，会有微量的氮气从钢瓶接口外吹，以保证面板始终为正压状态，尽量减少可能的污染。 2.6.1 打开气柜门，卸下接口，盖上防尘帽和安全帽。 2.6.2 移出旧钢瓶，在旧钢瓶上帖上“空”标签，并在标签上写明名称、余量或余压、签名 等，避免混淆。 2.6.3 更换新钢瓶，确认新气瓶阀门是完好的且完全关闭的，取下安全帽。 2.6.4 确认新气瓶的 CGA 或 JIS 接口与气柜接口装置相配， 用酒精和清洁消毒纸清洗新钢瓶 阀门、接口和垫圈。使用垫圈的接头要用力矩扳手。 2.6.5 连接
6、新气瓶接口。 2.7：换瓶结束后，操作人员操作确认按钮，通知系统钢瓶更换结束。 2.8：系统会自动进行钢瓶接口处的保压，以检测钢瓶接口是否有泄露。对高压气体，系统还可以进行高压保压，保压时间最少为 1 小时（稳压时间为 20 分种） 。当所有测试都完成后，系统会自动执行换瓶后吹。如果保压无法通过，系统会提醒操作人员重新进行钢瓶的连接。 2.9：换瓶后吹：主要是对高压隔离阀到钢瓶接口部分的管路进行吹扫以达到洁净的要求。钢瓶后吹的最少为 30 次，对一些腐蚀性气体，可适当增加吹扫次数。 2.10： 供气准备： 换瓶结束后， 系统会提示操作人员打开钢瓶， 并将调压阀调到合适的位置， PT2 的压力应
7、该根据工艺设备的实际需求进行设定。当以上所有执行完后，系统会让操作人 员选 择是否将面板切换到准备状态或停用状态。切换到准备状态后系统可以随时切换到供 应状态或供气准备状态，以实现气体的供应。 2.11 通知车间有关人员可恢复工艺。 2.12 复查一下空钢瓶的闷头是否拧紧，摆放的位置是否安全。并做好现场的清洁工作。 2.常见故障排除（常见故障排除（Troubleshooting ） 序号序号 故障故障 故障原因分析故障原因分析 故障解决方法故障解决方法 1 UV/IR 报警 线路是否松动 把线压紧，按复位键 附近是否有人施工产生 火焰 消除火焰，按复位键 2 EMO 报警 线路是否松动 把线压
8、紧，按复位键 EMO 按钮是否被按下 把 EMO 按钮旋转复位，按复位键 3 RSD 线路是否松动或断线 把线压紧，断线接上，按复位键 是否有人远程操作 远程复位，按复位键 4 温感报警 线路是否松动 把线压紧，按复位键 是否有高温产生 消除高温源，按复位键 5 烟感报警 线路是否松动 把线压紧，按复位键 是否有烟雾产生 清除烟雾，按复位键 6 左盘面过流 量 线路是否松动 把线压紧，按复位键 是否有气体外泄 停机找出并修复漏点 供应管路是否断裂 停机修复管路 7 右盘面过流 量 线路是否松动 把线压紧，按复位键 是否有气体外泄 停机找出并修复漏点 供应管路是否断裂 停机修复管路 8 Z-pu
9、rge 报 警 线路是否松动 把线压紧，按复位键 N2打开N阀是否打开 2阀门，按复位键 调速阀是否损坏 更换调速阀 9 排风报警 线路是否松动 把线压紧，按复位键 检查抽风量是否太小 增加抽风量 风门是否打开 打开风门 10 气体泄漏 线路是否松动 把线压紧，按复位键 是否有气体外泄 停机找出并修复漏点 供应管路是否断裂 停机修复管路 11 仪表气不足 线路是否松动 把线压紧，按复位键 N2打开N阀是否打开 2阀门，按复位键 仪表气调压阀是否调节 过小 转动仪表气调压阀手柄把气压调大 12 左钢瓶压力 （PT1-L）低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 准备更换钢瓶 13
10、 左钢瓶压力 （PT1-L）低 低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 序号序号 故障故障 故障原因分析故障原因分析 故障解决方法故障解决方法 14 左输送压力 （PT2-L）低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 盘面调压阀是否调节过小 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调大 15 左输送压力 （PT2-L）低低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 盘面调压阀是否调节过小 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调大 16 左输送压力 （PT2-L）高 检查设定值是否正确 修改设定值 盘面调压阀是否调节过大 转动盘面调压阀
11、手柄把供气压 力调小 17 左输送压力 （PT2-L）高高 检查设定值是否正确 修改设定值 盘面调压阀是否调节过大 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调小 18 右钢瓶压力 （PT1-R）低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 准备更换钢瓶 19 右钢瓶压力 （PT1-R）低低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 20 右输送压力 （PT2-R）低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 盘面调压阀是否调节过小 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调大 21 右输送压力 （PT2-R）低低 检查设定值是否正确 修改设定值 检查钢瓶气量是否不足 更换钢瓶 盘面调压阀是否调节过小 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调大 21 右输送压力 （PT2-R）高 检查设定值是否正确 修改设定值 盘面调压阀是否调节过大 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调小 22 右输送压力 （PT2-R）高高 检查设定值是否正确 修改设定值 盘面调压阀是否调节过大 转动盘面调压阀手柄把供气压 力调小
