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1、一、目的建立正确操作扩散设备的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。二、范围适用于电池生产线扩散工段，从扩散作业准备至结束所有生产操作步骤和要求。三、职责3.1 工艺技术人员3.1.1 负责扩散设备工序生产工艺运行的正常性、稳定性。3.1.2 负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。3.1.3 负责应对扩散设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。3.2 设备技术人员3.2.1 负责扩散设备开关机、故障分析、设备维护及检修。3.2.2 如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。3.2.3 负责部门内设备
2、运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障.3.3 生产人员3.3.1 负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。3.3.2 细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。3.3.3 配合、协助设备的日常维护工作。四、扩散工艺操作标准流程4.1 操作前准备工作4.1.1 正确穿戴方法及要求：4.1.2、扩散前工具的准备工具要求：舟叉、石英舟、石英吸笔 卸片盒（见下图）正确穿戴好洁净 服、帽子、鞋子、 汗布手套、乳胶 手套4.2 操作要求及步骤（若插卸片方式更改，再做修改）4.2.1 取
3、片从传递窗中取硅片到扩散工作台。 （注意：传递窗两边的门不能同时打开，每次只允许取一盒，不能叠放） 。4.2.2 插片4.2.2.1 硅片插入石英舟保持倾斜状，从炉尾到炉口，与石英舟的倾斜方向相同。4.2.2.2 插片前，注意区分扩散炉是左手设备，还是右手设备。4.2.2.3 取 2 盒硅片放到扩散工作台上，右边的那一盒翻转 1800。4.2.2.4 单面扩散，一个插槽插 2 片硅片。依次从左边、右边的硅片盒中取硅片，相应地插入一个插槽的左边和右边，必须确保没有滚轮痕迹的那一面作为扩散面。石英吸笔石英舟石英舟叉（含套管）传递窗一次拿一盒扩散工作台握 笔吸 片4.2.3 上舟用舟叉将插满硅片的石
4、英舟从扩散工作台装载到扩散炉的舟托上，注意舟在桨上的位置，从炉尾到炉口，硅片保持“”状，然后运行工艺流程，进舟。搬运过程中，石英舟外侧略微翘 4.2.4 工艺运行 4.2.4.1 检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/to port” （图一） 。把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置（图二）取 片插 片插片完成舟叉放进石英舟石英舟外侧先翘起图一 图二 4.2.4.2 在“Setup”界面选择“Boat”项（图三） ，选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 4.2.4.3 选择确定后，进入“boat acti
5、vation”界面（图四） ，点选“Set boat active for handling” 、 “Set boat to Ready for processing和Boat will be removed for unload ”复选框,再点击 “Next”按钮。图三 图四 4.2.4.4 进入“Handling information”界面（图五） ，把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择 Load position 为“Slider” ，再点击“Next”按钮。 4.2.4.5 进入“Process tube selection”界面（图六） ，选择需运行工艺的管号，在正常
6、情况下 1-4 管全 部选中，再点击“Next”按钮图五 图六 4.2.4.6 进入“Boat information”界面（图七） ， 在 Actual boat location 位置选择“Slider” ，在 Boat state 位置选择“Wait for tube” ，再点击“Next”按钮。4.2.4.7 进入“Process information”界面（图八） ，选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入 相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。图七 图八 4.2.4.8 进入“Summary”界面（图九） ，显示 8.3-8.8 每一步输入的信息，核对无误后
7、，点击“OK” ，信息 输入完成。 4.2.4.9 在“Job”页面点击然 “Run” 按钮（图十） ，回到自动运行状态。机械手自动送舟到 SiC 桨上， 开始运行工艺。图九 图十 4.2.4.10 当某一管的“Tube state” （图十一）显示蓝色时，需要人工输入信息，打开相应管的 CESAR 界 面。 4.2.4.11 在红色的对话框“Adjust temperature?”中（图十二）输入需要修改的温度或默认值，再在键盘 上点击“Enter”键。图十一 图十二4.2.4.12 在弹出的红色对话框“Adjust diffusion time?”中（图十三）输入需要修改的时间或默认值，
8、再在键盘上点击“Enter”键。 4.2.4.13 在弹出的红色对话框“Adjust drive in time?” （图十四）中输入需要修改的时间或默认值，再 在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕，桨自动送舟到石英管，开始扩散工艺。图十三 图十四 4.2.4.15 当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；冷却后“Slider”自动取舟到下料位置并伴有 蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。 4.2.4.16 同时 CMI 电脑弹出“Boat Info”界面（图十五） ，点击“Unload done”按钮，在软件中完成卸舟 信息。 4.2.4.17 进入“
9、Boat Info Mode Select”界面（图十六） ，选择“Wafer（Production wafer with host validation） ”项，点击“OK”按钮图十五 图十六 4.2.4.18 进入“Material Loading”界面（图十七） ，在“Boat”输入舟编号，在“Lot”输入舟相关的信 息，同时弹出“Recipe”项，选择相应的工艺名，点击“Load done”按钮，机械手自动上料，工艺运行开 始图十七4.2.5 下舟工艺流程结束，退出工艺，退舟，石英舟在桨上冷却 5mins，用舟叉将石英舟（含硅片） 挑下来，放在卸片台内再冷却 3mins,注意炉口、炉尾
10、的位置4.2.6 测量4.2.6.1 从炉尾到炉口，每舟依次取 6 片硅片，如果是单面扩散，取右边的硅片，注意取片的方式。然后用四探针测试仪测量方阻，测量顺序为从炉口到炉尾，每片硅片测 5 个点，4 个角和中心，注意测量的顺序，测量完，将测量的硅片还回，继续下一道工序。数据记录前，记录这一炉硅片的相关内容：流程卡号、设备号、工艺编号、硅片等级（合格品或等外品） 、硅片数量、流入流出时间、压差、扩散方式、日期、出炉时间等。用吸笔吸片取 片准备翻转翻转完毕装入片盒，确保底边在远离身体的一侧；单面扩散时，确保扩散面朝上将卸片盒拿到四探针测试仪处，从卸片盒中取出第一片硅片，将第一片硅片放在测片台上，按
11、 R/e按钮将电流值至 4.530mA（每 2h 校准一次）R/e 按钮切换读取稳定值并做数值记录按照从 1 到 5 的顺序，依次测量按上升按钮，等待探针上升自动停止后从测片台水平抽出硅片4.2.6.2 从卸片盒中取出第二片硅片，将第二片硅片放在测片台上。4.2.6.3 按下降按钮，等待探针下降自动停止后读取稳定值并做数值记录。4.2.6.4 按上升按钮，等待探针上升自动停止后从测片台水平抽出硅片。4.2.6.5 重复上述步骤测第三、四、五片硅片的方块电阻。4.2.6.6 将测试完的硅片放回至原来石英舟处，并根据实测的方块电阻调节扩散温度。 4.2.7 卸片、填写流程单按照从炉口到炉尾的顺序，
12、将硅片卸到硅片盒中，注意硅片方向，确保扩散面一致向上，填写标签，标签内容包括：流程卡号、单/双面扩散、硅片等级（合格品或等外品） 、已扩散、采用喷磷方式需注明。填写流程单，流程单的内容包括：流程卡号、设备号、工艺编号、硅片等级（合格品或等外品） 、硅片数量、流入流出时间、扩散方式、日期、出炉时间等。装好的硅片，送往下一道工序。用手取片 用手取片两片分开，注意左右不能混淆 右边的硅片准备翻转右边的硅片准备翻转完毕 右边的硅片从片盒周边倾斜放入右边的硅片放好 左边的硅片，保持原来的状态不变，准备放入片盒 左边的硅片从片盒周边倾斜放入 左边的硅片放好硅片全部卸完后，盖上片盒，贴上标签五、操作注意事项
13、5.1 在搬运硅片过程中注意轻拿轻放。5.2 石英制品必须使用舟叉进行相关操作，不得用手直接拿取。5.3 在拿取承载盒（含硅片）时只能一手拿一个，不得多拿。5.4 在测硅片方块电阻过程中动作要轻缓，绝对不能把四探针针头弄断。5.5 扩散前后若发现硅片表面颜色异常，及时通知工艺人员进行处理。5.6 填写流程卡和数据记录,内容完整、字迹清晰、数据准确。六、安全及5S注意事项6.1 工作中勤换乳胶手套。6.2 在工作中及时对滴落在扩散炉台面的偏磷酸做相关处理（用抹布粘酒精擦拭台面后丢入危险废弃物垃圾桶）。6.3 所有工夹具必须放置在规定地方。6.4 本班作业结束时必须清理工作现场，并为下班的顺畅运转做好充分的准备。6.5 做好每天的交接以及工夹具的点检工作。
