常用的真空检漏法

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1、常用的真空检漏法常用的真空检漏法来源：真空技术网 作者：管理员 发布时间：2007-09-17检漏方法工作压力Pa现 象设 备最小可检漏率Pam3s静态升压法抽真空真空后封闭，压力上升真空真空计10-510-6放电管法放电颜色改变放电管10-310-4高频火花检漏器法10310-1亮点，放电颜色改变高频火花检漏器10-310-4热传导真空真空计法10310-1热偶或电阻真空真空计10-6电离真空真空计法10-210-6电离真空真空计10-9差动热传导真空真空计法10310-1热传导真空真空计差动组合10-7差动电离真空真空计法10-210-6电离真空真空计差动组合10-10有吸附阱的热传导真空

2、真空计法10310-3液氮冷却活性炭阱，热传导计10-7真空计法有吸附阱的电离真空真空计法10-210-6施用示漏物质真空真空计读数变化液氮冷却硅胶阱，冷阴极电离计10-1110-13氢钯法710110-5氢气通过钯管进入真空真空规，读数变化钯管，电离计10-710-11离子泵检漏法10-510-7 示漏物质使离子流变化 离子泵10-910-12卤素检漏仪内探头法1010-1 输出仪表读数变化 卤素检漏仪 10-710-9氯质谱检漏仪法10-2输出仪表读数及声响频率变化氦质谱检漏仪10-1210-14射频质谱计法10-210-4射频质谱计10-610-11回旋质谱计法10-310-7回旋质谱计

3、10-710-12质谱计法四极滤质器10-110-4施用示漏物质输出仪表读数变化 四极滤质器10-1010-11检漏方法工作条件现 象设 备灵敏度Pam3s备 注荧光法荧光材料，有机溶剂 荧光材料发光紫外线光源10-910-11放射性同位素背压法放射性气体，背压抽真空真空计数器输出信号背压室，闪烁计数器10-12背压数小时电子管慢性漏气的加速测定法背压室充氩气，电子管可为电离规仪表读数变化背压室，测量电路10-910-11背压数小时氦质谱检漏仪背压法背压室充氦气抽真真空空仪表读数及声响频率变化背压室，氦质谱检漏仪检漏方法工作条件现 象设 备最小可检漏率(Pam3s) 备 注水压法漏水人眼10-

4、3100-4压降法充 3105Pa 空气压力下降压力计110-3 听音法同上咝咝声人耳5lO-3可用听诊嚣超声法同上超声波超声波检测器110-3 气泡法同上水中气泡人眼10-510-6同上水中气泡人眼10-924h 积累同上涂沫肥皂液发生皂泡 人眼110-5 氮气检漏法充 3105Pa 氨气溴代麝香草酚兰试带变色人眼10-7观测 20s同上溴酚兰试纸变色人眼10-1124h 积累充 2.5105Pa 氨气 复合涂料显色人眼10-81.5 小时积累卤素检漏仪吸嘴法充卤素气体检漏仪读数变化伴有音响卤素检漏仪10-610-10可与空气混合充入放射性同位素气体法充放射性气体计数器信号变化闪烁计数器110-7 氦质谱检漏仪吸嘴法充氦气检漏仪读数变化伴有音响氦质谱检涌仪10-810-10气敏半导体检漏仪法充气敏气体检漏仪读数变化气敏半导体检漏仪