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1、中国真空学会质螬与齄漏专委贪第十二届年会- 中蓍计量舅拭学会宾空按准专委会第七届年会真空计量、质谱和检漏的一些进展陈旭查良镇清华大学S o m ed e v e l o p m e n t so nv a c u u mm e t r o l o g y , m a s ss p e c t r o m e t r ya n dI e a kd e t e c t i o nC h e nX ua n dC h aL i a n g z h e nT s i n g h u aU n i v e r s i t y自从2 0 0 2 年召开中国真空学会第十一届质谱分析和检漏会议和中国计耸测试学
2、会第六届真空计量会议( 桂林会议) 以来，国内外真空计量、质谱和检漏领域均有新进展。2 0 0 3 年9 月2 2 2 4 日在北京由国际测量联合会( I n t e m a t i o n a lM e a s u r e m e n t c o n f e d e r a t i o n 简称I M E K O ) 压力和真空测量技术委员会( T C1 6 ) 首次在我国北京召开了国际压力和真空测餐会议，参加会议的代表来自美、英、德、意、韩、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中国等十五国，批发表论文5 4 篇，已由中国计量山版社川英文出版了三白余页的会议论文集。由兰州物理所、清华大
3、学和中国计颦院执笔、综述中国真空计鼙进展的论文作为大会综述报告在全体会议上发表，中文全文已刊登在“真空与低温”2 0 0 4 年第一期。 2 0 0 4 年6 月2 8 臼一7 月2 日在意大利的威尼斯城召开了第十六屑国际真空会议( I V C一1 6 ) 第十二届国际同体表面会议( I c S S 一1 2 ) 第八届国际纳米尺度科学与技术会议 ( N A N O - - 8 ) 和第十七届意大利真空会议( A I v 一1 7 ) 。这三年一届的国际盛会有1 5 0 0 人参加，设有真空科学与技术专门分会场，共发表口头和张贴真空论文1 0 8 篇，一定程度上反映了真空计量、质谱和检漏技术的
4、现状和新进展。近两年有机会访问了欧美的一些相关工厂和研究单位，包括德国联邦物理技术研究所( P T B ) 和意大利计量研究院( I M G C ) 的真空校准实验室、V a r i a n 公司在意大利利美国的J ：厂和I 美国A M E T E K 和IE x t r e l 两家生产四极质谱计的公司。本文将根据已了解的国内外真空计量、质谱和检漏领域的新进展，结台参加两个相关国际会议与对欧美的访闯作简要综述，由丁= 了解情况有限，希望起到“抛砖引玉”的作州。一、真空计最质最控制和加入W T O 促进了我国对计量和标准化的重视，有些部已经加人了对真空计量的投入，出现了一些可喜的进展和新成果。
5、我国已生产的各种类型真空计数援和质量均有提高。德国P T B 的K J o u s t e n 博士在l v C 一1 6 上做了“在分子流区域气体密度舴均匀性的测量与计算”报告，国际标准化组织( I S O ) 真空技术( T C1 1 2 ) 秘伟处现设在P T B 。意大利1 M G C 的C a l c a r t e l l 博士综述了意大利真空技术的发展，该所在电容薄膜规( C D G ) 铰准汞J 修正拟合模型等方面长期开展了深入的研究。韩国、墨州哥等国都加人了对真空计氧等的投入。真空计集成实现宽量程的发展趋势引人注目，目前已有宽达1 3 个昔科的这类商品山现。我国住加强基础研究
6、、提高真空计量和发展新品种、更积极的参加I S O T C1 1 2 活动等方面均需做山更人的努力。邀请撒告贵州贵m2 0 0 4 年9 ，r 二、质谱分析国内外对真空质谱重要性的认识进一步得到确认国内需求急剧增K = ，取得了多项有重要价值的成果。虽然我国曾在真空质谱仪器研究方面放步甚早，当前与人、中型质谱仪器的开发停滞不前的形势一样国产分压强质谱计的研究和生产已落入低谷，尽管还有些单位在困难条件F 坚持l ：作。这严峻形势擐近已开始引起注意。四极质谱计系列仍是主流产品。激烈的竞争促使了性能价格比的提高，在扩展质量范同、提高质鼙分辨本领、扩展压强范嗣( E x t e n d e dP r
7、e s s u r eR a n g e ) 、微刑化以及缩小体积减轻重量等方面不断取得新的突破。小型E 行时间质谱计( T O F M S ) 的发展取得了显著的进展。小型色谱质谱( G C M S ) 仪器的新进展值得重视。分压强质谱计的校准日茄受到重视，但目前尚术达到标准化的稗度，我国在这方面早已敞步，取得了阶段性成果。在国内真空质谱分析需求急剧增& 和国外产品竞相进入我国市场的条什F ，既是严峻的挑战，也有良蚶的发展机遇。三、检漏检漏已成为保证真空、常压以及高压器件和系统密封性必不可少的实川技术，在迅速发展确保密封性的系统1 ：程中成为最重要的检测手段，我国已有日益J “泛的虑H j
8、领域，还有很多尚待开发的处女地。在国际上各种类型先进的检漏仪器不断进入国内市场的同时，我国检渊仪器的开发利生产从来没有中断过，已经稳定的保持了民族：。f ：业的发展，并不断进取，采_ I = j 先进的技术。每次年会上都可高必地见到新产品和新型号仪器问世，涉及的厂家利单位也不断扩人。各种类型的质谱检漏仪，特别是便携式仪器在1 0 。2 - 1 0 。3P a m 3 s 检漏灵敏度范同内稳步提高的情况F ，主要朝便丁实用的方向继续发展。与此同时，为确保小型真空仪器的高可档性和艮哿命，采刚累积法实现1 0 。4 _ 1 0 。P a m s 超灵敏度检漏系统和披术正在发展，我国这方向的研究也不断
9、取得新进展。为满足I ：业检渊日益增K = 的需求，非质谱型一I ：业检测仪器的发展最值得引起国内的密切注意。利用石英渗氦及其温度效应和小型离子泵作为检测元件的I ：业便携式检测仪器成为I v c 一1 6 会议上真空仪器发展的新亮点，至少已有加热机英毛细管和利州硅基片上沉积S i 0 2 膜，通过半导体I ：艺制成S i 0 2 窗和热栅的两种商品批量生产，具有1 业检渊的灵敏度，可在人气压F 检渊。为保证检渊仪器的可靠性，微流量( 漏率) 的校准及参考漏孔的研制都取得r 持续稳定的进展，这方面国内取得了可喜的进展，灵敏度检渊的实时校准方法有白己的特色。四、总结真空计昔、质谱分析和检漏都是在。J ：业和科研广泛领域都有实刚价值的实川技术，我国存在着日靛J “泛的应州市场，学会已在推动其发展的进程中发挥了显并的作川，如能发扬我们L 形成的传统) ：进一一步发展和发挥年轻力姑的作，今后的前景一定是更光明的!请大家进一步补充不当之处请指正。2
