《单晶炉维护与修理》由会员分享，可在线阅读，更多相关《单晶炉维护与修理（7页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、单晶炉维修和保养规程1单晶炉维修和保养规程一、坩埚轴驱动部件的维修：坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要加强维护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况，以免因冷却水不充分而被烧坏，拆下后需垂吊放置；2、坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是关键的导向元件，应妥善维护，导柱须保持清洁，严禁灰尘、杂物附着，定期涂抹油脂，以防绣蚀。直线轴承出厂时已作充分润滑，必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真清洗后方可注入新油（见附图 9），发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损痕迹，
2、以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的，请勿装错；3、滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等传动部件，应经常保持清洁、润滑，严禁灰尘等脏物污染，以免零件损坏和失灵；4、坩埚轴快速升降传动涡轮，每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次，请定时清除波纹管中的杂物；二、谐波减速器的维修（见附图 M11）谐波减速器是由波发生器所产生的机械波，通过柔性齿轮变形，从而产生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构，使用中一般不加油，不必拆卸，在必要时，拆后装配务必将个零件清洗干净，其轴承内应涂 201 润滑脂，齿面应加 7011 特钟脂；三、籽晶提拉部件的维修（见附图 M17，M18）单晶炉维修和保养
3、规程21、籽晶提拉部件是单晶炉的关键部件，卷轮箱是核心部分，上面设有观察孔，用来观察内部卷轮及软轴钢丝绳的工作情况，卷轮箱左端联有超限位箱，用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏，卷轮箱的右端由双级减速器传递转知距，减速箱内的涡轮涡杆传动件，每三个月加注适量润滑油；2、不锈钢丝软轴定额承载 150Kg，每次开炉后，应检查承重头部钢丝绳是否烧损，如有烧损应将烧损部分及时去掉，外层编织层拉紧并打个节扣（有条件的可用氩弧焊封头），一根钢丝绳可供几次修整使用，但每次修整后，都应核实所剩钢丝绳长度是否能满足使用要求，否则应更换新的软轴钢丝绳；3、卷轮箱内的调整螺母（铜螺母）不得随意拆动，以免影响软轴的对中，
4、如果必须要拆卸时，装时一定要认真调整，最终保证软轴读中，软轴钢丝绳在保管、使用、维修安装中不准造成任何死弯现象，否则在运行中会引起抖动；四、水冷系统的维修每次装炉前要检查各水路是否畅通，关键部位的水温巡检传感器安装是否正常，拉单晶时，当水压报警时要及时处理，如有漏水时要及时采取措施，当发现结垢时，应先用醋酸进行除垢，然后用清水冲洗，最后用压缩空气吹尽余物；五、隔离阀的维修每次装炉前都要检查阀口密封圈是否完好，检查隔离阀操作是否轻松、无卡滞，如发现问题应及时排除；六、管道的维修单晶炉维修和保养规程3真空管道是联接主机与真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影响着设备的正常工作，因此，也应重视这方
5、面的维护，除尘器中的过滤网每 2-3 炉清理一次，抽气管道每 1 炉清理一次，管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速率及密封圈的寿命，应经常检查管道的冷却水，保证畅通；单晶炉维修和保养规程4单单晶炉常晶炉常见见故障故障现现象、原因及排除方法象、原因及排除方法故障现象产生原因排除方法1真空抽不到指标1、真空密封室密封不良2、球阀处密封松动或损坏3、真空泵有故障1、对真空室进行分段检验确定漏点，进行排除；（磁流体密封处加注磁液）2、调整球阀或更换密封圈；3、参阅真空泵说明书；2埚升不稳1、丝杆、螺母有污物，润滑不良；2、电磁阀离合器工作不良；3、齿轮带松动或齿合不良；4、给定电位器接触不良；5、测速
6、电机有问题；6、电机抖动，放大倍数过大；1、清洗丝杆丝母，加润滑油；2、调整电磁离合器，控制间隙至 0.4-0.6;3、调整齿行带，使其合理齿合；4、更换电位器；5、检查测速机刷头或更换电机；3埚转不稳1、坩埚轴有卡滞现象；2、楔形带有松动；3、测速机有问题；4、坩埚轴定位轴承工作不良；5、同第二项中的第 4、6 条1、清理波稳管中的杂物；2、调整楔形带张力；3、检查测速机刷头或更换电机；4、清洗润滑轴承或更换轴承；5、同第二项中的第 4、6 条；4籽晶轴升降不稳，有抖动现象1、卷丝轮与牵引套联接松动；2、钢丝绳有毛刺或拆痕；3、减速机润滑不良4、电刷环接触不良1、紧固2、更换软轴钢丝绳3、清
7、洗润滑4、清理、调整电刷环组件单晶炉维修和保养规程55、同第二项中的第二步、6 条6、计算机控速输出不稳5、同第二项中的第二步、6 条6、更换计算机5籽晶轴转动不稳1、 测速电机有问题2、 楔形带松动3、 支轴承工作不良4、 同第二项中的第二步、61、 检查测速机电刷头，或更换电机2、 调整楔形带张力3、 清洗润滑轴承或更换轴承4、 同第二项中的第二步、66飞车1、测速机电压开路1、查电刷环及线路7偷转1、12A8 控制器零点偏正；2、计算机控速有输出；1、调控制器零点2、将计算机控速输出 OP 回零8不转1、给定无输出；2、计算机有负信号输出（晶升）3、滑环开路；1、检查给定电源（印刷板）2
8、、将计算机 OP 回零3、维修滑环组件9重锤左右摆动1、软轴对中性差；2、籽晶提拉部件动平衡差；3、阻尼套松动或损坏；4、外界振动影响；5、与限位杆干涉；1、调整对中；2、调整配重使之达到平衡；3、调整更换阻尼套；4、排除外界振动影响；5、调整限位杆；10液面抖动1、按第 9 项各条检查调整；2、按第 2、3、4 项中各条调整3 热系统（托杆、埚托等）与坩埚杆联接松动；4、两抽气口抽气不匀；1、按相关方法处理；2、按相关方法处理；3、调整各联接使之紧固；4、检查清理抽气管道；单晶炉维修和保养规程65、外界震动影响；5、排除外界振动的影响；11等径过程中出现晶体扭曲现象1、按第 9 项各条检查调
9、整2、主机水平偏差过大；3、液面温度偏低，拉速过快；1、按相关方法处理；2、调整主机水平；3、加大温校量；12计长显示不准1、电刷环组件接触不良；2、计算机有问题；1、清理、调整电刷环组件；2、换计算机；13拉晶过程中速度记录曲线出现尖刺1、测速电机接触不良产生暂时飞车现象（尖刺向上）；2、力矩机电刷接触不良，产生暂时停车现象；检修调整刷头使之接触良好14欧陆显示断欧1、计算机控温输出（OP）较大；2、側取光断路；3、温度记录仪接口板故障；1、将计算机 OP 输出降至 800 字；2、检查接通侧取光；3、查接口板；15非故障报警传感器有问题检查传感器16加热过程中电流突然下降同步少一相1、交流
10、接触器头接触不良；2、同步变压器断头；1、换交流接触器；2、换同步变压器；17加热电压加至30V 突然回零1、可控硅断路；2、脉宽电容特性差；1、换可控硅；2、换电容；18过流1、加热器打火；2、氩气不纯拉弧；3、加热电极与炉体间绝缘性差；1、清理炉內个处；2、换相应绝缘件单晶炉维修和保养规程74、高温加热后，杂质挥发过多，拉晶过程中打火单单晶炉部件拆装晶炉部件拆装一、坩埚轴的拆装（参阅附图 M10）拆卸坩埚轴时，应先松开水套与水套固定座的联接螺钉，去掉轴挡圈，卸下水套固定座，然后松开圆螺母，卸下带轮，将磁流体密封部件整体取下，最后将坩埚轴上面整体抽出，装入时逆操作，只要注意轴承的润滑采用真空
11、脂润滑，水套座内的润滑可用一般润滑即可；二、电极的拆装（见附图 M12）由于电极材料为无氧铜，因此装时应特别小心，切勿重击，拆装电极时，首先卸掉水冷电缆及铜夹子，然后拆下水嘴座，松开压紧螺母，移去上部石英护套，将电极从上部抽出即可，装配时，可进行逆操作即可；三、卷丝轮的拆装卷丝轮轴的旋转密封采用的是磁流体密封，拆装卷丝轮时应尽可能不单晶炉维修和保养规程8要拆开磁流密封组件，1、拆去电机及减速箱（拆时做上相对位置记号，复位时按记号找正）；2、拆下软轴网丝绳压轮；3、卸下重锤及软轴钢丝绳；4、拆下卷轮箱左端限位箱；5、拆下左端盖及限位杆；6、拆下拖动限位杆的拖动圆盘；7、松开右端盖与卷轮箱的联接螺钉；8、将右端盖与卷丝轮一起从右端旋出；装配时逆操作；四、隔离阀的拆装拆卸隔离阀及转轴（勿伤阀盖密封面）1、拆开联接阀盖与转轴间的水管；2、拆下连接杆与转轴间的连接板；（拆换转轴间的密封圈时，可不必进行以上两步）3、松开左边轴端螺钉，并拆下支撑弯板；4、松开左边压紧螺母；5、拆去右端水嘴座及转臂；6、松开右端盖压紧螺钉；7、将转轴从右端抽出即可；装配时逆操作；
